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低溫真空探針臺鄭科探

產品簡介

低(di)溫真空探針(zhen)臺鄭科探主要應用(yong)于傳感(gan)器,半(ban)導體(ti),光電(dian)(dian),集成(cheng)電(dian)(dian)路以及封裝的測試。 廣泛(fan)應用(yong)于復雜、高速(su)器件的精密(mi)電(dian)(dian)氣測量的研發,旨(zhi)在確保質量及可(ke)靠性,并縮減研發時間和器件制造工藝的成(cheng)本。

產品型號:
更新時間:2024-03-29
廠商性質:生產廠家
訪問量:1489
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品牌鄭科探

低溫真空探針臺鄭科探主要應用于傳感器,半(ban)導體(ti),光電,集(ji)成電路以及封(feng)裝的測(ce)試。 廣泛應用于復(fu)雜(za)、高速(su)器件的(de)精密(mi)電氣測(ce)量(liang)的(de)研發,旨(zhi)在確(que)保質(zhi)量(liang)及可靠性(xing),并縮減研發時間和器件制造工藝的(de)成本(ben)。


    低溫真空探針(zhen)臺鄭科(ke)探的(de)承載臺為60x60不銹鋼臺面,臺面最高可升(sheng)溫到(dao)最高350℃。真(zhen)空(kong)(kong)腔體(ti)設(she)計有(you)進氣口和抽真(zhen)空(kong)(kong)接口。探針(zhen)臂(bei)為X/Y/Z三(san)軸移動,三(san)個(ge)方向(xiang)均(jun)可(ke)在真空環境下(xia)精(jing)密移位調節,其(qi)中(zhong)X方向(xiang)調節范圍:030mmy方(fang)向調節范(fan)圍:020mmz方向調節范圍:020mm;用(yong)戶可根據需(xu)要(yao)自行調(diao)節。使(shi)用(yong)時將(jiang)需(xu)檢測的器件固定在加(jia)熱臺(tai)上,再微調(diao)探針支架X/Y/Z 方向行程,通過顯微鏡(jing)觀(guan)察,使(shi)探針對準(zhun)檢(jian)(jian)測點后(hou),即(ji)可進行檢(jian)(jian)測


參數;

真空腔體(ti)


加熱型

冷熱型

腔體材質

304不銹(xiu)鋼(gang)

上蓋開(kai)啟

鉸鏈側開

加熱臺材質

304不銹鋼

內腔體尺寸

φ160x90mm

觀(guan)察窗尺(chi)寸

Φ70mm

加熱臺(tai)尺寸

φ60mm

觀察窗熱臺間距

75mm

加熱臺溫度

35-350℃

-196-350℃

加熱(re)臺溫控誤差

±1

真(zhen)空度

機械泵≤10Pa   分子泵≤10-3Pa

允許(xu)正壓

0.1MPa

真空抽氣口

KF25真空(kong)法蘭

氣體進氣口

3mm-6mm卡套(tao)接頭

電(dian)信號接(jie)頭

SMA轉BNC X 4

電學性能

絕緣電阻 ≥4000MΩ   介質耐壓 ≤500V  漏電流 ≤-10次方安培

探針數(shu)量

4探針

探針材(cai)質

鍍金鎢針

探針尖

10μm

探(tan)針移動平(ping)臺

X軸移動(dong)行程

30mm    ±15mm

X軸控制(zhi)精度

0.01mm

Y軸(zhou)移動行程(cheng)

13mm    ±12.5mm

Y軸控制精度(du)

0.01mm


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