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Product Center低(di)溫真空探針(zhen)臺鄭科探主要應用(yong)于傳感(gan)器,半(ban)導體(ti),光電(dian)(dian),集成(cheng)電(dian)(dian)路以及封裝的測試。 廣泛(fan)應用(yong)于復雜、高速(su)器件的精密(mi)電(dian)(dian)氣測量的研發,旨(zhi)在確保質量及可(ke)靠性,并縮減研發時間和器件制造工藝的成(cheng)本。
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相(xiang)關文章(zhang)品牌 | 鄭科探 |
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低溫真空探針臺鄭科探主要應用于傳感器,半(ban)導體(ti),光電,集(ji)成電路以及封(feng)裝的測(ce)試。 廣泛應用于復(fu)雜(za)、高速(su)器件的(de)精密(mi)電氣測(ce)量(liang)的(de)研發,旨(zhi)在確(que)保質(zhi)量(liang)及可靠性(xing),并縮減研發時間和器件制造工藝的(de)成本(ben)。
低溫真空探針(zhen)臺鄭科(ke)探的(de)承載臺為60x60不銹鋼臺面,臺面最高可升(sheng)溫到(dao)最高350℃。真(zhen)空(kong)(kong)腔體(ti)設(she)計有(you)進氣口和抽真(zhen)空(kong)(kong)接口。探針(zhen)臂(bei)為X/Y/Z三(san)軸移動,三(san)個(ge)方向(xiang)均(jun)可(ke)在真空環境下(xia)精(jing)密移位調節,其(qi)中(zhong)X方向(xiang)調節范圍:0-30mm;y方(fang)向調節范(fan)圍:0-20mm;z方向調節范圍:0-20mm;用(yong)戶可根據需(xu)要(yao)自行調(diao)節。使(shi)用(yong)時將(jiang)需(xu)檢測的器件固定在加(jia)熱臺(tai)上,再微調(diao)探針支架X/Y/Z 方向行程,通過顯微鏡(jing)觀(guan)察,使(shi)探針對準(zhun)檢(jian)(jian)測點后(hou),即(ji)可進行檢(jian)(jian)測
參數;
真空腔體(ti) | ||
加熱型 | 冷熱型 | |
腔體材質 | 304不銹(xiu)鋼(gang) | |
上蓋開(kai)啟 | 鉸鏈側開 | |
加熱臺材質 | 304不銹鋼 | |
內腔體尺寸 | φ160x90mm | |
觀(guan)察窗尺(chi)寸 | Φ70mm | |
加熱臺(tai)尺寸 | φ60mm | |
觀察窗熱臺間距 | 75mm | |
加熱臺溫度 | 35-350℃ | -196-350℃ |
加熱(re)臺溫控誤差 | ±1℃ | |
真(zhen)空度 | 機械泵≤10Pa 分子泵≤10-3Pa | |
允許(xu)正壓 | ≤0.1MPa | |
真空抽氣口 | KF25真空(kong)法蘭 | |
氣體進氣口 | 3mm-6mm卡套(tao)接頭 | |
電(dian)信號接(jie)頭 | SMA轉BNC X 4 | |
電學性能 | 絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質耐壓 ≤500V 漏電流 ≤-10次方安培 | |
探針數(shu)量 | 4探針 | |
探針材(cai)質 | 鍍金鎢針 | |
探針尖 | 10μm | |
探(tan)針移動平(ping)臺 | ||
X軸移動(dong)行程 | 30mm ±15mm | |
X軸控制(zhi)精度 | ≤0.01mm | |
Y軸(zhou)移動行程(cheng) | 13mm ±12.5mm | |
Y軸控制精度(du) | ≤0.01mm |