微型真空探針冷熱臺探針臺主(zhu)要應用于傳感(gan)器(qi)，半導體，光電(dian)，集成電(dian)路以及封裝(zhuang)的測(ce)試。 廣泛(fan)應用于復(fu)雜、高(gao)速器(qi)件的精密電(dian)氣測(ce)量的研發，旨在確保質量及可(ke)靠(kao)性，并(bing)縮(suo)減研發時(shi)間和器(qi)件制造(zao)工藝(yi)的成本。

  該微型真空探針冷熱臺探(tan)針臺的承載(zai)臺為60x60不(bu)銹鋼臺面，臺面最高(gao)可(ke)(ke)(ke)升溫到最高(gao)350℃。真空(kong)腔體設計有進(jin)氣(qi)口和抽真空(kong)接口。探(tan)針臂為X/Y/Z三(san)軸(zhou)移(yi)動，三(san)個方向(xiang)均可(ke)(ke)(ke)在(zai)真空(kong)環境(jing)下(xia)精密移(yi)位調(diao)節(jie)，其中X方向(xiang)調(diao)節(jie)范(fan)圍：0－30mm；y方向(xiang)調(diao)節(jie)范(fan)圍：0－20mm；z方向(xiang)調(diao)節(jie)范(fan)圍：0－20mm；用戶可(ke)(ke)(ke)根據(ju)需要(yao)自(zi)行調(diao)節(jie)。使用時將(jiang)需檢測的器件固定(ding)在(zai)加熱(re)臺上，再微調(diao)探(tan)針支架(jia)X/Y/Z 方向(xiang)行程，通過顯(xian)微鏡觀察(cha)，使探(tan)針對(dui)準檢測點后，即可(ke)(ke)(ke)進(jin)行檢測

技術參數；