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產品簡介
鄭科探(tan) KT-Z1650CVD小型離子濺射(she)儀是一款(kuan)小型臺(tai)式蒸發(fa)功率可控蒸發(fa)鍍膜儀，儀器雖小功能(neng)齊全，配(pei)備有電壓(ya) 電流(liu)反饋,樣(yang)品臺(tai)旋(xuan)轉，樣(yang)品高度調節(jie)，及電動擋板功能(neng)。
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相(xiang)關文章| 品牌 | 鄭科探 | 樣品臺尺寸 | 氬氣mm |
|---|---|---|---|
| 控制方式 | 觸摸屏智能控制 | 樣品倉尺寸 | 50mm |
| 靶材尺寸 | 50mm | 靶材材質 | 金 鉑 銅 銀 |
| 價格區間 | 面議 | 產地類別 | 國產 |
| 應用領域 | 電子 |
鄭科探 KT-Z1650CVD小型離子濺射儀是一款小型(xing)臺式蒸發(fa)功率(lv)可控蒸發(fa)鍍膜(mo)儀，儀器雖小功能(neng)齊全，配備有電(dian)壓 電(dian)流反饋,樣品(pin)臺旋(xuan)轉，樣品(pin)高度調節(jie)，及(ji)電(dian)動(dong)擋板(ban)功能(neng)。
鄭科探 KT-Z1650CVD小型離子濺射儀通(tong)過定時調節預熱功率及蒸發功率，可對(dui)大部分金(jin)屬進(jin)行均勻蒸發沉積，真空腔室(shi)為透明石英玻璃減(jian)少樣品污染，樣品臺可旋轉以獲得更均勻的薄(bo)膜(mo)，可制備各種金(jin)屬薄(bo)膜(mo)和有機物薄(bo)膜(mo)。
設備名稱 | 小(xiao)型濺射儀 | 小(xiao)型蒸鍍儀 |
控制(zhi)方式 | 7寸人機界面(mian) 手動 自動模(mo)式切換(huan)控制 | 7寸人機(ji)界面(mian) 手動 自動模式切換控制(zhi) |
工作電源 | 直流濺射電(dian)源 | 直流熱(re)蒸發電(dian)源(yuan) |
鍍膜功能 | 0-999秒(miao)5段可變換功率及擋板(ban)位和樣(yang)品速度程序(xu) | 0-999秒5段可變(bian)換功率及擋板位和樣品速度程(cheng)序 |
功率 | ≤1000W | ≤1500W |
輸出(chu)電壓電流 | 電壓(ya)≤1000V 電流≤1A | 電壓≤12V 電流≤100A |
真空 | 機械泵 ≤5Pa（5分(fen)鐘） 分(fen)子泵≤5*10^-3Pa | |
腔體真空 | ≤30Pa | |
擋板類(lei)型(xing) | 電控 | |
真空腔(qiang)室 | 石英+不銹鋼腔體φ160mm x 170mm | 石英腔體φ160mm x 160mm |
樣品臺 | 可旋轉(zhuan)φ62 （可安裝φ50基底） | |
樣品臺轉速 | 8轉/分鐘 | |
樣品濺(jian)射源調(diao)節距離(li) | 40-105mm | 70-140mm |
蒸(zheng)發坩堝容積 |
| 3ML |
蒸(zheng)發溫(wen)度調(diao)節(jie) |
| ≤1600℃ |
真空測量 | 皮拉尼真空(kong)計（已安裝 測量(liang)范(fan)圍10E5Pa 1E-1Pa） | |
預留真(zhen)空接口 | KF25抽(chou)氣口(kou) KF16放氣口(kou) 6mm卡套進氣口(kou) | |
可選配(pei)擴(kuo)展 | 1 膜厚(hou)在線測試 2 分子泵(beng) | |
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