實驗室微型四探針真空探針臺主(zhu)要應用(yong)于(yu)傳感器(qi)，半導體(ti)，光電，集成電路以及封裝的測試。 廣泛(fan)應用(yong)于(yu)復雜、高速器(qi)件的精密電氣測量(liang)的研(yan)(yan)發，旨在確保質(zhi)量(liang)及可靠性(xing)，并縮減研(yan)(yan)發時間和(he)器(qi)件制造工藝的成本(ben)。

   該實驗室(shi)微型四探針(zhen)真空(kong)探針(zhen)臺的承載臺(tai)為60x60不(bu)銹鋼臺(tai)面，臺(tai)面最高可(ke)升溫到最高350℃。真(zhen)空腔體設計(ji)有進(jin)氣(qi)口和抽真(zhen)空接口。探(tan)針(zhen)(zhen)臂為X/Y/Z三(san)軸移動，三(san)個方(fang)向均(jun)可(ke)在(zai)(zai)真(zhen)空環(huan)境下精(jing)密移位調(diao)節，其中X方(fang)向調(diao)節范(fan)圍：0－30mm；y方(fang)向調(diao)節范(fan)圍：0－20mm；z方(fang)向調(diao)節范(fan)圍：0－20mm；用(yong)戶(hu)可(ke)根(gen)據需要(yao)自行(xing)(xing)調(diao)節。使用(yong)時將需檢(jian)測(ce)的器件固定(ding)在(zai)(zai)加熱臺(tai)上，再微調(diao)探(tan)針(zhen)(zhen)支架X/Y/Z 方(fang)向行(xing)(xing)程(cheng)，通過顯微鏡觀察(cha)，使探(tan)針(zhen)(zhen)對準檢(jian)測(ce)點后，即可(ke)進(jin)行(xing)(xing)檢(jian)測(ce)