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產品簡介
真空測量探針(zhen)臺探針(zhen)臺主要應(ying)用于傳感器(qi)，半(ban)導(dao)體(ti)，光電(dian)(dian)(dian)，集成電(dian)(dian)(dian)路以及封裝的(de)(de)測試。 廣泛應(ying)用于復雜(za)、高(gao)速器(qi)件(jian)的(de)(de)精(jing)密電(dian)(dian)(dian)氣(qi)測量的(de)(de)研發(fa)，旨在確保質量及可靠性，并(bing)縮減研發(fa)時(shi)間和器(qi)件(jian)制(zhi)造工藝的(de)(de)成本。
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真空測量探針臺探針臺主要應用于傳感(gan)器(qi)，半導體(ti)，光電，集(ji)成電路以及封裝的測試(shi)。 廣泛應用于復雜、高速(su)器件的精密電氣(qi)測量(liang)的研(yan)(yan)發(fa)，旨在確(que)保質量(liang)及可靠性，并縮減(jian)研(yan)(yan)發(fa)時間和器件制造工藝(yi)的成本。
該真空測量探針臺的承載臺為60x60不銹鋼臺面，臺面最(zui)高可升溫到最(zui)高350℃。真空腔體設計有進氣口和抽(chou)真空接口。探針臂為X/Y/Z三(san)軸移(yi)動，三(san)個(ge)方向均可在真空環境下精(jing)密(mi)移(yi)位調節，其中(zhong)X方向(xiang)調(diao)節范圍(wei)：0－30mm；y方向調節范圍：0－20mm；z方向調節范(fan)圍：0－20mm；用(yong)戶可根據(ju)需要自(zi)行調節。使用(yong)時(shi)將需檢測(ce)的器件固定在加(jia)熱臺上(shang)，再微(wei)調探(tan)針(zhen)支架(jia)X/Y/Z 方向行程，通過顯微鏡觀察，使探針對準檢測點后，即可進行檢測
真空腔體(ti) | ||
加熱型 | 冷熱(re)型 | |
腔(qiang)體材質 | 304不銹鋼 | |
上蓋開啟(qi) | 鉸鏈側開(kai) | |
加熱臺材質 | 304不銹鋼(gang) | |
內(nei)腔體尺寸(cun) | φ160x90mm | |
觀察窗尺寸 | Φ70mm | |
加(jia)熱臺尺寸 | φ60mm | |
觀察窗熱臺間(jian)距 | 75mm | |
加熱臺溫度 | 35-350℃ | -196-350℃ |
加熱臺溫控誤差 | ±1℃ | |
真空(kong)度 | 機械泵≤10Pa 分子泵≤10-3Pa | |
允許(xu)正(zheng)壓(ya) | ≤0.1MPa | |
真空抽氣口 | KF25真空法蘭 | |
氣(qi)(qi)體(ti)進氣(qi)(qi)口 | 3mm-6mm卡(ka)套接頭 | |
電信(xin)號(hao)接(jie)頭 | SMA轉BNC X 4 | |
電學(xue)性能 | 絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質耐壓 ≤500V 漏電流 ≤-10次方安培 | |
探針數量 | 4探針 | |
探(tan)針材質(zhi) | 鍍金鎢針(zhen) | |
探(tan)針尖(jian) | 10μm | |
探針移動平(ping)臺 | ||
X軸(zhou)移動行程 | 30mm ±15mm | |
X軸控(kong)制精度 | ≤0.01mm | |
Y軸(zhou)移動行程(cheng) | 13mm ±12.5mm | |
Y軸控制精度 | ≤0.01mm | |
Z軸移動行程 | 13mm ±12.5mm | |
Z軸控制精度 | ≤0.01mm | |
電子顯微鏡 | ||
顯微(wei)鏡類別 | 物鏡 | |
物鏡倍數 | 0.7-4.5倍 | |
工作間距 | 90mm | |
相機(ji) | sony 高清(qing) | |
像素(su) | 1920※1080像素 | |
圖像接口 | VGA | |
LED可調光(guang)源 | 有 | |
顯示屏 | 8寸 | |
放大(da)倍(bei)數 | 19-135倍,視場范圍15×13-2.25×1.7mm，最小可分辨0.08mm | |
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