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Product Center小型離子濺(jian)射(she)儀/噴金(jin)儀 廠家供應通(tong)過定(ding)時調節(jie)預濺(jian)射(she)功(gong)率(lv)及薄(bo)(bo)膜沉積(ji)功(gong)率(lv),可對大部(bu)分金(jin)屬進行均勻物(wu)理(li)沉積(ji),真(zhen)空(kong)腔室(shi)為透明石英玻璃(li)減少樣品(pin)污染,樣品(pin)臺可旋轉以獲(huo)得更均勻的薄(bo)(bo)膜,可制備各種金(jin)屬薄(bo)(bo)膜。
品牌 | 鄭科探 | 濺射氣體 | 根據需求氣體 |
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樣品臺尺寸 | φ50mm | 控制方式 | 觸摸屏智能控制 |
樣品倉尺寸 | 50mm | 靶材尺寸 | 50mm |
靶材材質 | 金 鉑 銅 銀 | 價格區間 | 面議 |
產地類別 | 國產 | 應用領域 | 電子 |
小型離子濺射儀/噴金儀 廠家供應KT-1650PVD是一款小型臺式濺射功率可控磁控濺射儀,儀器雖小功能齊全,配備有電壓 電流反饋,樣品臺旋轉,樣品高度調節,及電動擋板功能。
小型離子濺射儀/噴金儀 廠家供應通過定時調節預濺射功率及薄膜沉積功率,可對大部分金屬進行均勻物理沉積,真空腔室為透明石英玻璃減少樣品污染,樣品臺可旋轉以獲得更均勻的薄膜,可制備各種金屬薄膜。
技術參數;
控制方(fang)式 | 7寸(cun)人機界面(mian) 手動 自動模式(shi)切換(huan)控制(zhi) |
濺射電源 | 直流濺射電源 |
鍍(du)膜(mo)功能 | 0-999秒5段可變換(huan)功率及擋板位和樣品速度程序(xu) |
功(gong)率 | ≤1000W |
輸出電壓電流 | 電壓≤1000V 電流(liu)≤1A |
真空 | 機械泵(beng) ≤5Pa(5分(fen)鐘) 分(fen)子泵(beng)≤5*10^-3Pa |
濺(jian)射真(zhen)空 | ≤30Pa |
擋板類(lei)型 | 電控 |
真(zhen)空腔室 | 石(shi)英+不銹鋼腔體φ160mm x 170mm |
樣品臺 | 可旋轉φ62 (可安(an)裝φ50基底) |
樣(yang)品(pin)臺轉速(su) | 8轉/分(fen)鐘 |
樣品濺射(she)源(yuan)調節距離 | 40-105mm |
真(zhen)空測量 | 皮拉尼真空(kong)計(已安裝(zhuang) 測量范圍10E5Pa 1E-1Pa) |
預留真空接口 | KF25抽氣口(kou) KF16放氣口(kou) 6mm卡套進氣口(kou) |
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