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Product Center鄭科探 離子濺射(she)儀(yi) 鍍金設備(bei) 廠家(jia)直供KT-1650PVD是一款小(xiao)型(xing)臺式濺射(she)功(gong)率可控磁控濺射(she)儀(yi),儀(yi)器(qi)雖小(xiao)功(gong)能齊全(quan),配備(bei)有電壓 電流反(fan)饋,樣品臺旋轉(zhuan),樣品高度(du)調(diao)節,及電動擋板功(gong)能。
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相關文章(zhang)品牌 | 鄭科探 | 濺射氣體 | 根據需求氣體 |
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樣品臺尺寸 | φ50mm | 控制方式 | 觸摸屏智能控制 |
樣品倉尺寸 | 50mm | 靶材尺寸 | 50mm |
靶材材質 | 金 鉑 銅 銀 | 價格區間 | 面議 |
產地類別 | 國產 | 應用領域 | 電子 |
小(xiao)型濺射(she)儀(yi)
鄭科探 離子濺射儀 鍍金設備 廠家直供KT-1650PVD是一款小型臺式濺射功率可控磁控濺射儀,儀器雖小功能齊全,配備有電壓 電流反饋,樣品臺旋轉,樣品高度調節,及電動擋板功能。通過定時調節預濺射功率及薄膜沉積功率,可對大部分金屬進行均勻物理沉積,真空腔室為透明石英玻璃減少樣品污染,樣品臺可旋轉以獲得更均勻的薄膜,可制備各種金屬薄膜。
鄭科探 離子濺(jian)射(she)儀 鍍金設備 廠(chang)家直供
控(kong)制(zhi)方式 | 7寸人機界面(mian) 手動(dong) 自動(dong)模(mo)式切換控(kong)制 |
濺射電源(yuan) | 直流濺射電源 |
鍍(du)膜(mo)功能(neng) | 0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序 |
功率(lv) | ≤1000W |
輸出(chu)電壓電流(liu) | 電壓≤1000V 電流≤1A |
真(zhen)空 | 機械泵 ≤5Pa(5分鐘) 分子泵≤5*10^-3Pa |
濺射真空 | ≤30Pa |
擋板類型 | 電控 |
真(zhen)空腔室 | 石英+不銹鋼腔體φ160mm x 170mm |
樣品臺 | 可旋轉φ62 (可安裝φ50基底) |
樣(yang)品臺轉速 | 8轉/分鐘 |
樣品濺射(she)源調節距(ju)離 | 40-105mm |
真空(kong)測量 | 皮拉尼真空計(已安裝 測量范圍10E5Pa 1E-1Pa) |
預(yu)留真空(kong)接(jie)口(kou) | KF25抽氣口 KF16放氣口 6mm卡套進氣口 |