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小型離子濺射儀磁控鄭科探

產品簡介

鄭科(ke)探KT-1650PVD 小(xiao)型離子濺射(she)儀(yi)磁(ci)控鄭科(ke)探,儀(yi)器雖小(xiao)功(gong)能齊(qi)全,配備有(you)電(dian)(dian)壓 電(dian)(dian)流(liu)反饋,樣品(pin)臺旋(xuan)轉,樣品(pin)高度調節(jie),及電(dian)(dian)動擋板功(gong)能。通過定時調節(jie)預濺射(she)功(gong)率及薄膜沉積功(gong)率,可(ke)對大部(bu)分金屬(shu)(shu)進行(xing)均(jun)勻(yun)物(wu)理沉積,真空腔室為(wei)透明石英玻璃減少(shao)樣品(pin)污染,樣品(pin)臺可(ke)旋(xuan)轉以獲得(de)更均(jun)勻(yun)的薄膜,可(ke)制備各種金屬(shu)(shu)薄膜。

產品型號:
更新時間:2024-03-27
廠商性質:生產廠家
訪問量:1323
詳(xiang)細介紹(shao)在線留言
品牌鄭科探濺射氣體根據需求氣體
樣品臺尺寸φ50mm控制方式觸摸屏智能控制
樣品倉尺寸50mm靶材尺寸50mm
靶材材質金 鉑 銅 銀價格區間面議
產地類別國產應用領域電子

鄭科探KT-1650PVD  小型離子濺射儀磁控鄭科探,儀器雖小功能齊全,配備有電壓 電流反饋,樣品臺旋轉,樣品高度調節,及電動擋板功能。通過定時調節預濺射功率及薄膜沉積功率,可對大部分金屬進行均勻物理沉積,真空腔室為透明石英玻璃減少樣品污染,樣品臺可旋轉以獲得更均勻的薄膜,可制備各種金屬薄膜。



鄭科探 小型離子濺射儀磁控鄭科探 詳細介紹;



控制方式(shi)

7寸人機界面 手動 自動模式切換控制

濺射電源

直(zhi)流濺(jian)射電(dian)源(yuan)

鍍膜功能

0-999秒5段可變換功率及擋(dang)板(ban)位和樣品(pin)速度程序

功率(lv)

≤1000W

輸出電壓電流

電(dian)壓≤1000V  電(dian)流≤1A

極限真空

機械泵 ≤5Pa(5分(fen)鐘)   分(fen)子泵≤5*10^-3Pa

濺射真空

≤30Pa

擋(dang)板(ban)類型

電控(kong)

真空腔(qiang)室

石英+不銹(xiu)鋼腔(qiang)體φ160mm x 170mm

樣(yang)品臺(tai)

可旋轉φ62  (可安裝φ50基(ji)底)

樣(yang)品臺轉速

8轉/分鐘

樣品(pin)濺射源調(diao)節(jie)距離

40-105mm

真空(kong)測(ce)量

皮(pi)拉尼(ni)真空(kong)計(ji)(已安(an)裝 測量范圍10E5Pa  1E-1Pa)

預留真(zhen)空接口

KF25抽氣口(kou)    KF16放氣口(kou)   6mm卡套進氣口(kou)



公(gong)(gong)司(si)與國內(nei)高校,科研院(yuan)所有多層次的(de)(de)合(he)作關(guan)系,建有開放實驗室(shi),相關(guan)領域的(de)(de)教授、工程師、博士(shi)參與公(gong)(gong)司(si)產(chan)(chan)品(pin)的(de)(de)研究和開發(fa)。我們秉承(cheng)公(gong)(gong)司(si)的(de)(de)發(fa)展(zhan)理念,依靠(kao)嚴謹的(de)(de)技術研發(fa)能力,科學合(he)理的(de)(de)生(sheng)產(chan)(chan)工藝,精(jing)益(yi)求(qiu)精(jing)的(de)(de)制造要求(qiu),全心全意做好產(chan)(chan)品(pin)質量和服務工作,科探(tan)儀(yi)器時刻懷(huai)著一(yi)顆真誠的(de)(de)心期待(dai)與您(nin)的(de)(de)合(he)作。





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