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產品簡介
小型(xing)離子濺(jian)射儀 鄭州科(ke)探儀器 噴金(jin)儀 廠(chang)家供應通(tong)過定時調節預(yu)濺(jian)射功(gong)率(lv)及薄膜(mo)沉積(ji)功(gong)率(lv)，可對大部分金(jin)屬進行(xing)均(jun)勻(yun)物(wu)理(li)沉積(ji)，真空(kong)腔室為透(tou)明石(shi)英玻(bo)璃減少(shao)樣(yang)品污染，樣(yang)品臺可旋轉以(yi)獲得更均(jun)勻(yun)的薄膜(mo)，可制備(bei)各種金(jin)屬薄膜(mo)
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相(xiang)關文章| 品牌 | 鄭科探 | 濺射氣體 | 根據需求氣體 |
|---|---|---|---|
| 樣品臺尺寸 | φ50mm | 控制方式 | 觸摸屏智能控制 |
| 樣品倉尺寸 | φ160x160mm | 靶材尺寸 | 50mm |
| 靶材材質 | 金 鉑 銅 銀 | 價格區間 | 1-5萬 |
| 產地類別 | 國產 | 應用領域 | 化工,電子 |
小型離子濺射儀 鄭州科探儀器KT-1650PVD是一款小型臺式濺射功率可控磁控濺射儀，儀器雖小功能齊全，配備有電壓 電流反饋,樣品臺旋轉，樣品高度調節，及電動擋板功能。
小型離子濺射儀 鄭州科探儀器KT-1650PVD 通過定時(shi)調節預濺射功率及薄(bo)膜沉(chen)積(ji)功率，可(ke)對(dui)大部分金屬(shu)進行(xing)均勻物理沉(chen)積(ji)，真空腔(qiang)室為透明石英玻璃(li)減少樣品(pin)(pin)污(wu)染，樣品(pin)(pin)臺可(ke)旋轉以獲得更均勻的薄(bo)膜，可(ke)制(zhi)備各(ge)種金屬(shu)薄(bo)膜。
技術參數；
控制(zhi)方式 | 7寸(cun)人機界面(mian) 手動 自動模式切換控制 |
濺(jian)射電(dian)源 | 直流濺射電源 |
鍍膜功(gong)能 | 0-999秒5段可(ke)變換功率及擋板位(wei)和樣品速度程序 |
功率 | ≤1000W |
輸出(chu)電壓電流 | 電壓≤1000V 電流≤1A |
真空 | 機械(xie)泵 ≤5Pa（5分(fen)(fen)鐘） 分(fen)(fen)子泵≤5*10^-3Pa |
濺射真空 | ≤30Pa |
擋板類型 | 電控 |
真(zhen)空腔室(shi) | 石英+不銹鋼腔體(ti)φ160mm x 170mm |
樣(yang)品臺 | 可旋(xuan)轉(zhuan)φ62 （可安(an)裝φ50基底(di)） |
樣(yang)品臺轉速 | 8轉/分鐘 |
樣品濺射源調節距離 | 40-105mm |
真空測量 | 皮拉尼真空計（已安裝 測量范圍10E5Pa 1E-1Pa） |
預留真空接口(kou) | KF25抽氣(qi)口 KF16放氣(qi)口 6mm卡套進氣(qi)口 |
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