硅基叉指電極微型探針臺KT-Z4019MRL4T  

電化學傳感器通過與被測目標分析物發生反應，并產生與目標分析物濃度成比例的電信號來工作。典型的電化學傳感器由傳感電極和反電極組成，并有一個薄電解層隔開。在環境監測中，可以在電化學傳感器的電極之間生長可與目標分析物發生反應并發生阻值變化的捕獲物，通過檢測捕獲物的電阻值變化，實現檢測環境中大部分有毒有害生物化學物質的目的。電化學傳感器通常具有操作簡單、儀器成本低等特點。除此之外，電化學傳感器可以與各種的微機電系統制造技術聯用，從而實現大規模的批量生產，并且可以實現小型化從而降低成本。
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叉指電極結構
        微(wei)間距(ju)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)叉(cha)(cha)(cha)指(zhi)(zhi)(zhi)(zhi)(zhi)電(dian)(dian)(dian)極(ji)是一種為常用的(de)(de)(de)(de)(de)(de)微(wei)間距(ju)電(dian)(dian)(dian)極(ji)結構，它被廣泛的(de)(de)(de)(de)(de)(de)應用于(yu)非破壞性(xing)測試、電(dian)(dian)(dian)子通訊(xun)、化(hua)(hua)學測試等多個領域(yu)(yu)。 一般(ban)來說，不(bu)同(tong)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)應用領域(yu)(yu)對于(yu)叉(cha)(cha)(cha)指(zhi)(zhi)(zhi)(zhi)(zhi)電(dian)(dian)(dian)極(ji)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)形(xing)狀、幾何學尺(chi)寸、加(jia)(jia)工工藝、材料的(de)(de)(de)(de)(de)(de)選擇、建(jian)模分(fen)析、系(xi)統集成以(yi)及(ji)數據(ju)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)分(fen)析都有(you)不(bu)同(tong)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)要(yao)求(qiu)，因(yin)此對于(yu)不(bu)同(tong)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)領域(yu)(yu)我(wo)們應該區分(fen)對待(dai)。如圖所示(shi)，列出(chu)了(le)幾種常見的(de)(de)(de)(de)(de)(de)叉(cha)(cha)(cha)指(zhi)(zhi)(zhi)(zhi)(zhi)電(dian)(dian)(dian)極(ji)結構，基本的(de)(de)(de)(de)(de)(de)結構有(you)圓形(xing)、矩形(xing)等，而每(mei)條叉(cha)(cha)(cha)指(zhi)(zhi)(zhi)(zhi)(zhi)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)形(xing)狀除簡單的(de)(de)(de)(de)(de)(de)矩形(xing)外(wai)，也(ye)可有(you)圓形(xing)或矩形(xing)突起。在(zai)這里(li)，我(wo)們要(yao)根據(ju)環境(jing)監測的(de)(de)(de)(de)(de)(de)具體(ti)要(yao)求(qiu)，針對叉(cha)(cha)(cha)指(zhi)(zhi)(zhi)(zhi)(zhi)電(dian)(dian)(dian)極(ji)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)結構形(xing)狀進行(xing)分(fen)析說明和(he)(he)終的(de)(de)(de)(de)(de)(de)結構選擇，確定具體(ti)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)設計參(can)數根據(ju)微(wei)弱信(xin)(xin)號(hao)檢測的(de)(de)(de)(de)(de)(de)相關原理，在(zai)低頻信(xin)(xin)號(hao)測量時(shi)，電(dian)(dian)(dian)阻(zu)值越(yue)高(gao)，其(qi)相應的(de)(de)(de)(de)(de)(de)電(dian)(dian)(dian)阻(zu)熱(re)噪(zao)(zao)(zao)聲(sheng)和(he)(he)閃爍(shuo)噪(zao)(zao)(zao)聲(sheng)也(ye)就越(yue)高(gao)，不(bu)利于(yu)信(xin)(xin)號(hao)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)提取和(he)(he)檢測[1]。所以(yi)，可以(yi)通過減(jian)少敏(min)(min)(min)感(gan)(gan)膜(mo)(mo)電(dian)(dian)(dian)阻(zu)值的(de)(de)(de)(de)(de)(de)方法，實現對氣體(ti)敏(min)(min)(min)感(gan)(gan)傳(chuan)感(gan)(gan)器(qi)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)信(xin)(xin)號(hao)噪(zao)(zao)(zao)聲(sheng)比(bi)(bi)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)提高(gao)，從而減(jian)小噪(zao)(zao)(zao)聲(sheng)對測量信(xin)(xin)號(hao)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)干擾。根據(ju)電(dian)(dian)(dian)阻(zu)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)計算公式(shi)，影響(xiang)阻(zu)值變(bian)化(hua)(hua)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)因(yin)素主要(yao)有(you)電(dian)(dian)(dian)阻(zu)率、電(dian)(dian)(dian)阻(zu)長度(du)(du)及(ji)橫截面積等。一般(ban)情況下，氣體(ti)敏(min)(min)(min)感(gan)(gan)材料薄膜(mo)(mo)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)電(dian)(dian)(dian)阻(zu)率較高(gao)，因(yin)此減(jian)小敏(min)(min)(min)感(gan)(gan)膜(mo)(mo)電(dian)(dian)(dian)阻(zu)值的(de)(de)(de)(de)(de)(de)方法是增(zeng)加(jia)(jia)敏(min)(min)(min)感(gan)(gan)膜(mo)(mo)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)厚(hou)度(du)(du)或者(zhe)是增(zeng)大敏(min)(min)(min)感(gan)(gan)膜(mo)(mo)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)寬(kuan)長比(bi)(bi)。但是，敏(min)(min)(min)感(gan)(gan)膜(mo)(mo)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)厚(hou)度(du)(du)太大會(hui)降低氣體(ti)敏(min)(min)(min)感(gan)(gan)傳(chuan)感(gan)(gan)器(qi)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)響(xiang)應時(shi)間。因(yin)此，綜合考慮到響(xiang)應時(shi)間和(he)(he)信(xin)(xin)噪(zao)(zao)(zao)比(bi)(bi)，需要(yao)設計優化(hua)(hua)氣體(ti)敏(min)(min)(min)感(gan)(gan)傳(chuan)感(gan)(gan)器(qi)中微(wei)電(dian)(dian)(dian)極(ji)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)厚(hou)度(du)(du)和(he)(he)長寬(kuan)比(bi)(bi)。

硅基叉指電極微型探針臺KT-Z4019MRL4T 參數