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產品簡介
粉末(mo)坩堝蒸(zheng)(zheng)鍍(du)儀(yi)KT-Z1650CVD是我公司專(zhuan)為(wei)科研院(yuan)所(suo)及實驗室(shi)用(yong)戶群體設計開發的一款小(xiao)型高(gao)真空蒸(zheng)(zheng)發鍍(du)膜(mo)系統。蒸(zheng)(zheng)發源可兼容金屬(shu)、有機物蒸(zheng)(zheng)發、金屬(shu)粉末(mo)等。配有樣(yang)品擋(dang)板，可手動或自動開/關擋(dang)板，達(da)到(dao)及時遮擋(dang)樣(yang)品效果；觸摸屏控制，操作(zuo)簡單，更有工藝(yi)儲(chu)存等功能。
| 品牌 | 鄭科探 | 產地類別 | 國產 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 化工,電子 |
粉末坩堝蒸鍍儀
鉻是受歡迎的金屬之一。鉻是一種銀色，有光澤，堅硬，含雜質的鉻硬而脆，具有很高的耐腐蝕性。它的熔點為1857℃，密度為7.2g / cm3，。它的名字來自希臘語“chroma"，意思是顏色，因為它的顏色非常豐富。它廣泛用于汽車工業，形成輪子和保險杠上的閃亮涂層。
熔點（°C）1857 密度（g / cm3）固態7.19 液體6.9 沸點： 2672.0 ℃ 熱導率：90.7W/m.K (300K)
鉻粉末 
鉻顆粒
-熱蒸發源：電阻式熱蒸發舟，交流電源、坩堝蒸發；
-
腔(qiang)體：不銹(xiu)鋼(gang)或石英腔(qiang)體可供客戶選擇；
-
泵：前級干泵，分子泵；
- Load Lock
樣品傳輸腔室(shi)：手動(dong)或(huo)自動(dong)傳輸，高真空，支持多種樣品襯底(選配)；
-
工藝控制：PC/PLC機制(zhi)的自動控制(zhi)、數(shu)據(ju)處理、工(gong)藝記(ji)憶儲存；
-
襯底固定(ding)：單襯底固定(ding)，客戶(hu)化襯底固定(ding)方式；
- 襯底夾具(ju)：加熱，冷(leng)卻，偏置(zhi)，旋轉等；
- 保護樣(yang)品：配有樣(yang)品擋板，可手動或自動開/關擋板，達到及時遮擋樣品效果；
以下為(wei)蒸發鍍膜(mo)設備的示(shi)意(yi)圖：
以下是不同真空度 不同鍍膜時間碳紙鍍銅樣品圖
原樣品沒有鍍膜 
115A 100秒 機械泵
115A 100秒 分子泵抽12分鐘 
115A 120秒 分子(zi)泵抽20分鐘(zhong)
真空度越(yue)高 越(yue)不易氧(yang)化 越(yue)接近金屬本色(se)
粉末坩堝蒸鍍儀KT-Z1650CVD技術資料
控制方式(shi) | 7寸人(ren)機(ji)界面 手動 自動模式切換(huan)控制 |
加熱(re)方式 | 數字式功率調整器 |
鍍膜功能(neng) | 0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序 |
最大功(gong)率 | ≤1200W |
最大(da)輸出(chu)電壓電流 | 電壓≤12V 電流≤120A |
真(zhen)空度(du) | 機械泵 ≤5Pa（5分鐘） 分子泵≤10^-3Pa |
擋板類(lei)型 | 電(dian)控 |
真(zhen)空腔室(shi) | 石英+不銹鋼腔體φ160mm x 160mm |
樣品臺 | 可旋轉φ62 （最大可安裝φ50基底） |
樣品(pin)臺轉速(su) | 8轉/分鐘 |
樣品蒸發源調節(jie)距離 | 70-140mm |
蒸發溫(wen)度調節(jie) | ≤1800℃ |
支持蒸發坩(gan)堝類型 | 鎢絲藍 帶坩堝鎢絲藍 鎢舟 碳繩 |
預留(liu)真(zhen)空接口 | KF25抽氣口 KF16真空計接口 KF16放氣口 6mm卡套進氣口 |
可選配擴展 | 機械真空泵（可抽真空 5分鐘＜5Pa） 數顯真空計（測量范圍大氣壓到0.1Pa） 分子泵機組（可抽真空20分鐘≤5x10-3Pa） |
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