產品中心
Product CenterCS200質量(liang)(liang)流量(liang)(liang)計氣體配比器,CS200采(cai)用(yong)*傳感器和溫度(du)補償(chang)技術,因此產(chan)(chan)品精(jing)度(du)可以(yi)達(da)到設定值(zhi)1%以(yi)內,并且低溫度(du)系數可以(yi)保證產(chan)(chan)品適應不同(tong)的環(huan)境溫度(du)。同(tong)時(shi),產(chan)(chan)品采(cai)用(yong)高速控制(zhi)算(suan)法使(shi)整個流量(liang)(liang)計的響應時(shi)間(jian)方面更加(jia)岀色(se)。全量(liang)(liang)程(cheng)范圍內,CS200C產(chan)(chan)品最快可在(zai)800ms以(yi)內達(da)到設定流量(liang)(liang),響應時(shi)間(jian)將(jiang)使(shi)用(yong)過程(cheng)中產(chan)(chan)生(sheng)的系統誤差(cha)最小化,所需流量(liang)(liang)更加(jia)精(jing)準。
article
相關文章品牌 | 鄭科探 | 價格區間 | 面議 |
---|---|---|---|
產品種類 | 其他 | 介質分類 | 氣體 |
產地類別 | 國產 | 應用領域 | 化工,電子 |
CS200質量流量計氣體配比器 KT-C4ZS模擬質量流量控制器 高精度型,快響應型 流量控制 流量檢測 國際兼容用于對氣體的質量流量進行精密地測量和控制。廣泛用于電子工藝設備、真空鍍膜、石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測量儀器、制氣配氣等行業
CS200氣體質(zhi)量流量控制器(qi)(qi),采用(yong)*傳感器(qi)(qi)和溫度(du)補償(chang)技(ji)術,因(yin)此產(chan)品(pin)(pin)(pin)精(jing)度(du)可以(yi)(yi)達(da)到(dao)設(she)定值1%以(yi)(yi)內,并且低溫度(du)系數可以(yi)(yi)保證產(chan)品(pin)(pin)(pin)適應不同(tong)的(de)環境溫度(du)。同(tong)時(shi),產(chan)品(pin)(pin)(pin)采用(yong)高速控制算法使整(zheng)個流量計的(de)響應時(shi)間方面更加岀色。全(quan)量程范圍內,CS200C產(chan)品(pin)(pin)(pin)最快可在800ms以(yi)(yi)內達(da)到(dao)設(she)定流量,響應時(shi)間將使用(yong)過程中產(chan)生的(de)系統誤(wu)差最小化,所需流量更加精(jing)準。
• 采用的(de)恒功率(lv)傳(chuan)感器原(yuan)理,在(zai)溫度變化時進行相應(ying)的(de)補償,從根本上抑制了流(liu)量計的(de)零漂現(xian)象,保證了傳(chuan)感器線性。
• CS200C產品采用專(zhuan)門的金屬(shu)表(biao)面處理技術(shu),與(yu)氣體接(jie)觸的表(biao)面金屬(shu)材料全部使用316LVV,CS200C產(chan)品(pin)金屬(shu)表(biao)面(mian)粗糙度更可達10RA以下,CS200D產品金屬(shu)表面(mian)粗糙(cao)度(du)可(ke)達25RA。
• CS200產品嚴(yan)格按照SEMI標準生產制造,尺寸符合(he)國際通用的(de)SEMI標(biao)準。
• CS200系(xi)列產(chan)品(pin)支持(chi)±8V~±16V雙電源(yuan), +14V~+28V單電源供電;數(shu)字,模(mo)擬輸入(ru)輸出(chu)。
• 產品(pin)支持RS485,DeviceNet通訊方式。
• 具有多氣體多量程功(gong)能(neng)(neng)、自動歸(gui)零功(gong)能(neng)(neng)、報(bao)警功(gong)能(neng)(neng)、軟(ruan)啟動功(gong)能(neng)(neng)、延遲功(gong)能(neng)(neng)及功(gong)能(neng)(neng)強大的免費客戶端使用軟(ruan)件(jian)。
技(ji)術(shu)參數
CS200 | ||||||
類(lei)型 | CS200-A | CS200-C | CS200-D | |||
閥類型 | 常開(100 SCCM≤流量規格≤5 SLM) 或常閉 | 無 | 常開(100 SCCM≤流量規格≤5 SLM) 或常閉 | 無(wu) | 常開(100 SCCM≤流量規格≤5 SLM) 或常閉 | 無(wu) |
流(liu)量規格(N2) | (0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM | (0~2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM | ||||
準確(que)度 | ±1.0% S.P. (≥35% F.S.) | |||||
線性 | ±0.5% F.S. | |||||
重復精度 | ±0.2% F.S. | |||||
響應(ying)時間 | ≤ 1sec | ≤ 0.8sec | ||||
工作壓(ya)差(cha)范圍 | 0.05~0.35MPa 流量規(gui)格≤10SLM | <0.02 MPa | 0.05~0.35MPa | <0.02 MPa | 0.05~0.35MPa | <0.02 MPa |
最大工作壓力(li) | 0.45MPa | |||||
溫度系數(shu) | 零點(dian): ≤±0.05% F.S./℃; | 零點(dian): ≤±0.02% F.S./℃; | ||||
耐壓強度 | 3MPa | |||||
漏(lou)率 | 1×10-10 Pa·m3 / sec He | 1×10-11 Pa·m3 / sec He | ||||
密封材(cai)料(liao) | 氟橡膠(jiao) | 金(jin)屬密(mi)封 | ||||
工作環境(jing)溫度 | (5~45)℃ | (0~50)℃ | ||||
輸入信號 | 數字: RS485 或 DeviceNet 或 ProfiBus | 無(wu) | 數字: RS485 | 無 | 數字: RS485 | 無 |
輸(shu)出信號 | 數字::RS485 或 DeviceNet 或 ProfiBus | |||||
零漂 | 在沒有零點校(xiao)正時<0.6%F.S./年 | |||||
電源(yuan) | ±8 ~ ±16 VDC (雙極(ji))或 +14 ~ +28 VDC (單極(ji)) | |||||
表面化學(xue)成分 | 常態 | Cr/Fe 比例 ≥2.0, CrO 厚(hou)度(du) ≥ 20 (埃) | 常態 | |||
表(biao)面粗糙度 | 25 Ra | 10 Ra | 25 Ra | |||
標準接頭(tou)形(xing)式 | 雙卡套 φ6;雙卡套 1/4′′;雙卡套 3/8′′;VCR1/4′′陽接頭;雙卡(ka)套φ3; | 雙(shuang)卡套φ3;雙卡套φ6;雙卡套 1/4;VCR1/4 陽接頭(tou); | ||||
電源接(jie)頭形式 | D 型 9 針陽接頭;D 型 15 針陽接頭(tou);DeviceNet 接頭(tou); ProfiBus 接頭(tou);模擬接頭(tou) | |||||
重量 | 1 Kg | 0.8Kg | 1.2Kg | 1Kg | 1.2Kg | 1Kg |