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當前位置:首頁產品中心實驗室氣體配比器質量流量計KT-C4ZSCS200質量流量計(ji)氣體配比器(qi)

CS200質量流量計氣體配比器

產品簡介

CS200質量(liang)(liang)流量(liang)(liang)計氣體配比器,CS200采(cai)用(yong)*傳感器和溫度(du)補償(chang)技術,因此產(chan)(chan)品精(jing)度(du)可以(yi)達(da)到設定值(zhi)1%以(yi)內,并且低溫度(du)系數可以(yi)保證產(chan)(chan)品適應不同(tong)的環(huan)境溫度(du)。同(tong)時(shi),產(chan)(chan)品采(cai)用(yong)高速控制(zhi)算(suan)法使(shi)整個流量(liang)(liang)計的響應時(shi)間(jian)方面更加(jia)岀色(se)。全量(liang)(liang)程(cheng)范圍內,CS200C產(chan)(chan)品最快可在(zai)800ms以(yi)內達(da)到設定流量(liang)(liang),響應時(shi)間(jian)將(jiang)使(shi)用(yong)過程(cheng)中產(chan)(chan)生(sheng)的系統誤差(cha)最小化,所需流量(liang)(liang)更加(jia)精(jing)準。

產品型號:KT-C4ZS
更新時間:2024-03-29
廠商性質:生產廠家
訪問量:1081
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品牌鄭科探價格區間面議
產品種類其他介質分類氣體
產地類別國產應用領域化工,電子

CS200質量流量計氣體配比器 


CS200質量流量計氣體配比器 KT-C4ZS模擬質量流量控制器 高精度型,快響應型 流量控制 流量檢測 國際兼容用于對氣體的質量流量進行精密地測量和控制。廣泛用于電子工藝設備、真空鍍膜、石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測量儀器、制氣配氣等行業

CS200氣體質(zhi)量流量控制器(qi)(qi),采用(yong)*傳感器(qi)(qi)和溫度(du)補償(chang)技(ji)術,因(yin)此產(chan)品(pin)(pin)(pin)精(jing)度(du)可以(yi)(yi)達(da)到(dao)設(she)定值1%以(yi)(yi)內,并且低溫度(du)系數可以(yi)(yi)保證產(chan)品(pin)(pin)(pin)適應不同(tong)的(de)環境溫度(du)。同(tong)時(shi),產(chan)品(pin)(pin)(pin)采用(yong)高速控制算法使整(zheng)個流量計的(de)響應時(shi)間方面更加岀色。全(quan)量程范圍內,CS200C產(chan)品(pin)(pin)(pin)最快可在800ms以(yi)(yi)內達(da)到(dao)設(she)定流量,響應時(shi)間將使用(yong)過程中產(chan)生的(de)系統誤(wu)差最小化,所需流量更加精(jing)準。

采用的(de)恒功率(lv)傳(chuan)感器原(yuan)理,在(zai)溫度變化時進行相應(ying)的(de)補償,從根本上抑制了流(liu)量計的(de)零漂現(xian)象,保證了傳(chuan)感器線性。

• CS200C產品采用專(zhuan)門的金屬(shu)表(biao)面處理技術(shu),與(yu)氣體接(jie)觸的表(biao)面金屬(shu)材料全部使用316LVVCS200C產(chan)品(pin)金屬(shu)表(biao)面(mian)粗糙度更可達10RA以下,CS200D產品金屬(shu)表面(mian)粗糙(cao)度(du)可(ke)達25RA

• CS200產品嚴(yan)格按照SEMI標準生產制造,尺寸符合(he)國際通用的(de)SEMI標(biao)準。

• CS200系(xi)列產(chan)品(pin)支持(chi)±8V~±16V雙電源(yuan), +14V~+28V單電源供電;數(shu)字,模(mo)擬輸入(ru)輸出(chu)。

產品(pin)支持RS485DeviceNet通訊方式。

具有多氣體多量程功(gong)能(neng)(neng)、自動歸(gui)零功(gong)能(neng)(neng)、報(bao)警功(gong)能(neng)(neng)、軟(ruan)啟動功(gong)能(neng)(neng)、延遲功(gong)能(neng)(neng)及功(gong)能(neng)(neng)強大的免費客戶端使用軟(ruan)件(jian)。

技(ji)術(shu)參數

CS200

類(lei)型

CS200-A

CS200-C

CS200-D

閥類型

常開(100 SCCM≤流量規格≤5 SLM)

或常閉

常開(100 SCCM≤流量規格≤5 SLM)

或常閉

無(wu)

常開(100 SCCM≤流量規格≤5 SLM)

或常閉

無(wu)

流(liu)量規格(N2)

(05,10,20,30,50,100,200,300,500)   SCCM
  (0
1,2,3,5,10,20,30,50) SLM

(02,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500)   SCCM
  (0
1,2,3,5,10,20,30) SLM

準確(que)度

±1.0% S.P. (≥35% F.S.)
  ±0.35% F.S.(
35% F.S.)

線性

±0.5% F.S.

重復精度

±0.2% F.S.

響應(ying)時間

≤ 1sec

≤ 0.8sec

工作壓(ya)差(cha)范圍

0.050.35MPa 流量規(gui)格≤10SLM
  0.1
0.35MPa 10<流量規格≤30SLM
  0.2
0.45MPa 30<流量規(gui)格≤50SLM

0.02 MPa

0.050.35MPa
 
流量規格≤10SLM
  0.1
0.35MPa
 
流量規格>10SLM

0.02 MPa

0.050.35MPa
 
流量規格≤10SLM
  0.1
0.35MPa
 
流量規格>10SLM

0.02 MPa

最大工作壓力(li)

0.45MPa

溫度系數(shu)

零點(dian): ≤±0.05% F.S./
 
調(diao)節時(shi): ≤±0.1% F.S./ 流量規格≤30SLM
 
調(diao)節時: ≤±0.2% F.S./ 流量規格>30SLM

零點(dian): ≤±0.02% F.S./
 
調節時: ≤±0.05% F.S./

耐壓強度

3MPa

漏(lou)率

1×10-10 Pa·m3 / sec He

1×10-11 Pa·m3 / sec He

密封材(cai)料(liao)

氟橡膠(jiao)

金(jin)屬密(mi)封

工作環境(jing)溫度

545

050

輸入信號

數字: RS485 DeviceNet ProfiBus
 
模擬:(05)VDC (420)mA (020)mA

無(wu)

數字: RS485
 
DeviceNet
 
ProfiBus
 
模擬(ni):(05)VDC
 
(420)mA
 
(020)mA

數字: RS485
 
DeviceNet
 
ProfiBus
 
模擬(ni):(05)VDC
 
(420)mA
 
(020)mA

輸(shu)出信號

數字::RS485 DeviceNet ProfiBus
 
模擬:(05)VDC 或(huo)(420)mA (020)mA

零漂

在沒有零點校(xiao)正時<0.6%F.S./

電源(yuan)

±8 ±16 VDC (雙極(ji)) +14 +28 VDC (單極(ji))

表面化學(xue)成分

常態

Cr/Fe 比例 ≥2.0, CrO 厚(hou)度(du) ≥ 20 (埃)

常態

表(biao)面粗糙度

25 Ra

10 Ra

25 Ra

標準接頭(tou)形(xing)式

雙卡套 φ6;雙卡套 1/4′′;雙卡套 3/8′′VCR1/4′′陽接頭;雙卡(ka)套φ3
 
雙(shuang)卡套 1/8′′VCO   1/4";φ6(內(nei))x1 軟(ruan)管接頭; φ5(內(nei))x1.5 軟管接頭;
  φ4(
)x1 軟管接(jie)頭;雙卡(ka)套φ10mmA 型密封接頭;

雙(shuang)卡套φ3;雙卡套φ6;雙卡套 1/4VCR1/4 陽接頭(tou);
  1.5′′C
型密(mi)封接頭;1.5′′ W型密(mi)封接(jie)頭

電源接(jie)頭形式

D 9 針陽接頭;D 15 針陽接頭(tou);DeviceNet 接頭(tou); ProfiBus 接頭(tou);模擬接頭(tou)

重量

1 Kg

0.8Kg

1.2Kg

1Kg

1.2Kg

1Kg

 

 


 


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