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產品簡介
DS300質(zhi)量流(liu)量控制器氣(qi)(qi)體(ti)(ti)配比器 DS300壓(ya)(ya)(ya)力(li)式(shi)氣(qi)(qi)體(ti)(ti)質(zhi)量流(liu)量控制器是針對半導(dao)體(ti)(ti)行業開發的一款適用于(yu)半導(dao)體(ti)(ti)裝備的氣(qi)(qi)體(ti)(ti)質(zhi)量流(liu)量控制器，用于(yu)半導(dao)體(ti)(ti)器件的刻(ke)蝕、濺射等工(gong)藝。DS300采用基于(yu)壓(ya)(ya)(ya)力(li)原(yuan)理(li)的流(liu)量傳感(gan)器技術(shu)和高精度(du)壓(ya)(ya)(ya)電(dian)閥控制技術(shu)使產品具(ju)有零漂小，精度(du)高，響應速度(du)快，壓(ya)(ya)(ya)力(li)不敏感(gan)的特點，產品所有與(yu)氣(qi)(qi)體(ti)(ti)接觸的表(biao)面均為不銹鋼金(jin)屬(shu)，金(jin)屬(shu)表(biao)面狀況(kuang)符(fu)合SEMI標準(zhun)的要求(qiu)。
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相關(guan)文章| 品牌 | 鄭科探 | 價格區間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 產品種類 | 其他 | 介質分類 | 氣體 |
| 產地類別 | 國產 | 應用領域 | 化工,電子 |
DS300壓力式氣(qi)體質(zhi)量(liang)流(liu)(liu)量(liang)控(kong)制(zhi)器是(shi)針對半導體行業開發的(de)一款適用于(yu)半導體裝備的(de)氣(qi)體質(zhi)量(liang)流(liu)(liu)量(liang)控(kong)制(zhi)器，用于(yu)半導體器件(jian)的(de)刻蝕、濺射等工(gong)藝。DS300采(cai)用基于(yu)壓力原(yuan)理的(de)流(liu)(liu)量(liang)傳感器技術和高精度壓電(dian)閥(fa)控(kong)制(zhi)技術使(shi)產(chan)品具有零漂小，精度高，響應(ying)速度快，壓力不(bu)敏(min)感的(de)特(te)點(dian)，產(chan)品所(suo)有與(yu)氣(qi)體接觸的(de)表面均為(wei)不(bu)銹鋼金(jin)(jin)屬，金(jin)(jin)屬表面狀況符合SEMI標準的(de)要求(qiu)。
DS300質量流量控制器氣體配比器
• 控制精度高，精度可達±1.0% S.P.(≥10%F.S.)。
• 響應速度快，響應時間≤ 0.5sec。
• 采用基于壓力原理的流量傳感器技術，使產品具有壓力不敏感特性，能夠適用較大的氣源壓力波動。
• DS300采用有效(xiao)的機(ji)械加工技(ji)術與表(biao)面處(chu)理(li)技(ji)術解決深(shen)小孔(kong)不能或者很難(nan)電(dian)拋光(guang)(EP)的難(nan)題(ti)，實現孔(kong)徑(jing)相對較小(孔(kong)徑(jing)<1mm)、深(shen)徑(jing)比相對較大(da)(>10)的不銹鋼小孔(kong)、深(shen)盲孔(kong)以及(ji)交(jiao)叉孔(kong)的表(biao)面電(dian)化(hua)學(xue)拋光(guang)處(chu)理(li)，*符合SEMI標準要求。
技術參數
DS300C | |
| 類型 | DS300C |
閥類型 | 常閉 |
流量規格(N2) | (0～30,50,100,200,300,500) SCCM |
準確度 | ±1% S.P. (≥10% F.S.) |
線性 | ±0.5% F.S. |
重復精度 | ±0.2% F.S. |
響應時間 | ≤ 0.5sec |
進口壓力 | 240～450KPa 流量規格≤5SLM |
出口壓力 | ≤1.2KPa 流量規格≤5SLM |
溫度系數 | 零點：≤±0.02% F.S./℃； |
耐壓 | 3 MPa |
漏率 | 1×10-11 Pa·m3 / sec He |
密封材料 | 金屬密封 |
最大工作壓力 | 0.45MPa |
工作環境溫度 | （10～45）℃ |
輸入信號 | 數字：RS485 或 DeviceNet |
輸出信號 | 數字：RS485 或 DeviceNet |
零漂 | 在(zai)沒有零點校正時＜0.6%F.S./年(nian) |
電源 | ±8～±16 VDC (雙(shuang)極) 或(huo) +14～+28 VDC (單(dan)極) |
表面化學成分 | Cr/Fe比例≥2.0； |
表面粗糙度 | Ra 5μinch |
標準接頭形式 | VCR1/4陽接頭； |
電源接頭形式 | D型9針陽接頭； |
重量 | 1.2Kg |
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