類型

加熱型350℃   或者(zhe)加熱制冷型 室(shi)溫到350℃ 室溫到-190℃

腔體材(cai)質(zhi)

304不銹鋼

腔體(ti)內尺寸(cun)

φ90x40mm

腔(qiang)體(ti)上(shang)視窗尺寸

Φ42mm（選(xuan)配(pei)凹視(shi)窗Φ22mm）

腔體抽氣口

KF16

腔(qiang)體(ti)進(jin)氣口

公制(zhi)3mm 6mm氣(qi)管接頭 英(ying)制1/8mm 1/4mm 氣管(guan)接頭可選

腔體(ti)出氣口(kou)

公制(zhi)3mm 6mm氣(qi)管接頭(tou) 英制1/8mm 1/4mm 氣管接頭可選

腔體正壓

≤0.05MPa

腔體(ti)真空度

機械泵≤5Pa （5分(fen)鐘）  分子泵≤5E-3Pa（30分鐘）

樣品臺

樣品(pin)臺材質

304不銹鋼

樣品臺尺(chi)寸(cun)

26X26mm

樣(yang)品臺(tai)-視(shi)窗(chuang) 距(ju)離

30mm（可選凹視窗(chuang)間距15mm）

樣品臺(tai)測(ce)溫傳感器

A    級PT100鉑(bo)電阻

樣品臺溫度

室溫到350℃（可選高低溫樣品臺 高溫350℃低(di)溫(wen)-190℃）

樣品臺測溫誤(wu)差

±0.2℃

樣(yang)品臺變(bian)溫速率(lv)

高溫10℃/min   低溫5℃/min  最大值

溫(wen)控(kong)儀

溫度顯示(shi)

7寸人(ren)機(ji)界面

溫控(kong)類型

標準PID溫控 +自(zi)整(zheng)定(ding)（可選30段編程控溫）

溫度分辨率

0.1℃

溫控精度(du)

±0.5℃

溫度信號輸(shu)入類型

PT100熱電(dian)阻 （可選 K    S  B型熱電偶）

溫(wen)控輸出

直流(liu)線(xian)性電源加熱（液氮流(liu)量線(xian)性控制(zhi)液氮制(zhi)冷）

輔(fu)助功能

溫度(du)數據(ju)采集(ji)并(bing)導出 實時溫度曲(qu)線+歷史溫度曲線

探針

電信號接頭

配線轉(zhuan)接(jie) BNC接頭(tou) BNC三(san)同軸接頭 SMA 接頭 香蕉(jiao)插頭(tou) 線長1.2米

電學性能

絕緣電(dian)阻(zu) ≥4000MΩ     介質耐壓 ≤200V    電流噪聲 ≤10pA

探針(zhen)數(shu)量

4探針(zhen)（可定做6探針(zhen)）

探針材質(zhi)

鍍金(jin)鎢針

探針尖

10μm

探針移動平臺

X軸移動行程(cheng)

12mm    ±6mm

X軸控制精(jing)度

≤5μm

Y軸移動行程

12mm    ±6mm

Y軸控制精度(du)

≤5μm

Z軸移(yi)動行程(cheng)

12mm    ±6mm

Z軸控制精度

≤5μm

數碼(ma)顯微鏡(jing)

顯微鏡類別

物鏡放大+電子放大

顯微鏡放大倍(bei)數

100倍

顯微(wei)鏡(jing)工作間距

50-150mm

相機(ji)分辨率(lv)

1080P  60幀  

相機信號(hao)輸(shu)出(chu)

HDMI輸出+USB輸出

LED可調光源

LED光源

顯示屏

5寸 屏(ping)幕一體機