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當前位置:首頁產品中心材料樣品檢測真空探針臺KT-0904T-R小型(xing)真空探針臺高溫熱(re)臺

小型真空探針臺高溫熱臺

產品簡介

小(xiao)型真(zhen)空探針(zhen)臺高溫熱臺KT-0904T-R主要用于為被測芯片提供(gong)一(yi)個高溫的變溫測量環(huan)境,以便測量分析溫度變化(hua)時芯片性能參數的變化(hua)。腔體內(nei)被測芯片在真(zhen)空環(huan)境中(zhong)有效避免(mian)易受氧化(hua)半導體器件(jian)接觸空氣所(suo)帶來的測試結果誤差。

產品型號:KT-0904T-R
更新時間:2024-03-27
廠商性質:生產廠家
訪問量:1859
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品牌鄭科探

小型真空探針臺高溫熱臺KT-0904T-R

高溫無氧化測試(shi):
當晶圓加熱至300,400,500甚至更高溫(wen)度時,氧化現象會(hui)
越來(lai)越明顯,并且溫度越高氧化越嚴重。過度氧化會導致晶(jing)圓電性誤
差,物理和機械(xie)形(xing)變。避免這(zhe)些需要把(ba)真空(kong)腔內的(de)氧氣在測試前用泵(beng)
抽(chou)走,并且保持整(zheng)個測(ce)試(shi)過程(cheng)(cheng)泵的運(yun)轉。晶圓測(ce)試(shi)過程(cheng)(cheng)中溫(wen)度(du)在(zai)(zai)低溫(wen)和高溫(wen)中變換(huan),因為熱脹冷(leng)縮現象,定位好的探針(zhen)與(yu)器件(jian)電(dian)極間(jian)會有(you)相對位移,這時需(xu)要針(zhen)座(zuo)的重新定位,探針(zhen)座(zuo)位于腔體(ti)外部,可(ke)(ke)以在(zai)(zai)不破(po)壞真空(kong)度(du)的同(tong)時調整(zheng)探針(zhen)達到理想位置進行測(ce)量(liang)。我們也可(ke)(ke)以選擇使用操(cao)作桿控制的自動化針(zhen)座(zuo)來調整(zheng)探針(zhen)的位置。



小型真空探針臺高溫熱臺KT-0904T-RL參數


真空腔(qiang)體(ti)

類型

加熱型350   或者加(jia)熱(re)制冷型 室溫(wen)到(dao)350 室(shi)溫到-190

腔(qiang)體(ti)材質

304不銹鋼

腔體內尺寸

φ90x40mm

腔體(ti)上視窗尺(chi)寸

Φ42mm(選配(pei)凹視窗Φ22mm

腔體抽氣口

KF16

腔體進氣口(kou)

公制3mm 6mm氣管接頭 英制1/8mm 1/4mm 氣管接頭(tou)可(ke)選

腔體出氣口

公制(zhi)3mm 6mm氣管接頭 英制1/8mm 1/4mm 氣管(guan)接(jie)頭可選

腔體正壓

0.05MPa

腔體真空度

機械泵(beng)≤5Pa 5分鐘)  分子泵≤5E-3Pa30分鐘(zhong))

樣品臺(tai)

樣品臺材質

304不銹(xiu)鋼

樣品臺尺(chi)寸

26X26mm

樣品臺-視窗 距(ju)離

30mm(可選(xuan)凹視窗間距15mm

樣品臺(tai)測溫傳感器

A    PT100鉑電(dian)阻

樣品臺溫度

室溫(wen)到(dao)350℃(可選高(gao)低溫(wen)樣(yang)品臺 高溫350℃低溫(wen)-190℃)

樣(yang)品臺測溫(wen)誤差(cha)

±0.2

樣品臺變(bian)溫速率

高溫(wen)10/min   低溫5/min  最大值

溫控儀(yi)

溫(wen)度顯示

7寸人(ren)機界面(mian)

溫控(kong)類型(xing)

標準PID溫(wen)控 +自整定(可選30段(duan)編程控溫)

溫度分(fen)辨率

0.1

溫控(kong)精度

±0.5

溫(wen)度信(xin)號輸入類型

PT100熱電阻 (可選 K    S  B型熱電偶)

溫控輸出(chu)

直(zhi)流(liu)線性電(dian)源加(jia)熱(re)(液氮流(liu)量(liang)線性控制液氮制冷)

輔助功能

溫度數據采集并導出 實時溫度曲線+歷(li)史溫度曲(qu)線

探針

電(dian)信號接頭

配線轉接 BNC接頭 BNC三(san)同軸(zhou)接頭(tou) SMA 接頭(tou) 香(xiang)蕉插(cha)頭 線(xian)長1.2米(mi)

電(dian)學性能

絕緣電阻 4000MΩ     介質耐壓 200V    電流噪聲 10pA

探針數量

4探(tan)針(zhen)(可(ke)定做6探針)

探針材質

鍍金鎢針

探針尖(jian)

10μm

探針(zhen)移(yi)動平(ping)臺

X軸移動行程

12mm    ±6mm

X軸控制(zhi)精度

5μm

Y軸移(yi)動行程(cheng)

12mm    ±6mm

Y軸控制精度

5μm

Z軸移(yi)動行程

12mm    ±6mm

Z軸控制精度

5μm

數碼(ma)顯微(wei)鏡

顯(xian)微鏡類別(bie)

物鏡(jing)放大(da)+電子放大

顯微鏡放大(da)倍數

100

顯(xian)微鏡工作(zuo)間(jian)距

50-150mm

相(xiang)機(ji)分辨率

1080P  60  

相機(ji)信(xin)號輸出

HDMI輸(shu)出+USB輸出

LED可調光源

LED光(guang)源

顯示屏

5寸(cun) 屏幕一體機


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