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Product Center小(xiao)型真(zhen)空探針(zhen)臺高溫熱臺KT-0904T-R主要用于為被測芯片提供(gong)一(yi)個高溫的變溫測量環(huan)境,以便測量分析溫度變化(hua)時芯片性能參數的變化(hua)。腔體內(nei)被測芯片在真(zhen)空環(huan)境中(zhong)有效避免(mian)易受氧化(hua)半導體器件(jian)接觸空氣所(suo)帶來的測試結果誤差。
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相關(guan)文章品牌 | 鄭科探 |
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小型真空探針臺高溫熱臺KT-0904T-R
高溫無氧化測試(shi):
當晶圓加熱至300℃,400℃,500℃甚至更高溫(wen)度時,氧化現象會(hui)
越來(lai)越明顯,并且溫度越高氧化越嚴重。過度氧化會導致晶(jing)圓電性誤
差,物理和機械(xie)形(xing)變。避免這(zhe)些需要把(ba)真空(kong)腔內的(de)氧氣在測試前用泵(beng)
抽(chou)走,并且保持整(zheng)個測(ce)試(shi)過程(cheng)(cheng)泵的運(yun)轉。晶圓測(ce)試(shi)過程(cheng)(cheng)中溫(wen)度(du)在(zai)(zai)低溫(wen)和高溫(wen)中變換(huan),因為熱脹冷(leng)縮現象,定位好的探針(zhen)與(yu)器件(jian)電(dian)極間(jian)會有(you)相對位移,這時需(xu)要針(zhen)座(zuo)的重新定位,探針(zhen)座(zuo)位于腔體(ti)外部,可(ke)(ke)以在(zai)(zai)不破(po)壞真空(kong)度(du)的同(tong)時調整(zheng)探針(zhen)達到理想位置進行測(ce)量(liang)。我們也可(ke)(ke)以選擇使用操(cao)作桿控制的自動化針(zhen)座(zuo)來調整(zheng)探針(zhen)的位置。
小型真空探針臺高溫熱臺KT-0904T-RL參數
真空腔(qiang)體(ti) | |
類型 | 加熱型350℃ 或者加(jia)熱(re)制冷型 室溫(wen)到(dao)350℃ 室(shi)溫到-190℃ |
腔(qiang)體(ti)材質 | 304不銹鋼 |
腔體內尺寸 | φ90x40mm |
腔體(ti)上視窗尺(chi)寸 | Φ42mm(選配(pei)凹視窗Φ22mm) |
腔體抽氣口 | KF16 |
腔體進氣口(kou) | 公制3mm 6mm氣管接頭 英制1/8mm 1/4mm 氣管接頭(tou)可(ke)選 |
腔體出氣口 | 公制(zhi)3mm 6mm氣管接頭 英制1/8mm 1/4mm 氣管(guan)接(jie)頭可選 |
腔體正壓 | ≤0.05MPa |
腔體真空度 | 機械泵(beng)≤5Pa (5分鐘) 分子泵≤5E-3Pa(30分鐘(zhong)) |
樣品臺(tai) | |
樣品臺材質 | 304不銹(xiu)鋼 |
樣品臺尺(chi)寸 | 26X26mm |
樣品臺-視窗 距(ju)離 | 30mm(可選(xuan)凹視窗間距15mm) |
樣品臺(tai)測溫傳感器 | A 級PT100鉑電(dian)阻 |
樣品臺溫度 | 室溫(wen)到(dao)350℃(可選高(gao)低溫(wen)樣(yang)品臺 高溫350℃低溫(wen)-190℃) |
樣(yang)品臺測溫(wen)誤差(cha) | ±0.2℃ |
樣品臺變(bian)溫速率 | 高溫(wen)10℃/min 低溫5℃/min 最大值 |
溫控儀(yi) | |
溫(wen)度顯示 | 7寸人(ren)機界面(mian) |
溫控(kong)類型(xing) | 標準PID溫(wen)控 +自整定(可選30段(duan)編程控溫) |
溫度分(fen)辨率 | 0.1℃ |
溫控(kong)精度 | ±0.5℃ |
溫(wen)度信(xin)號輸入類型 | PT100熱電阻 (可選 K S B型熱電偶) |
溫控輸出(chu) | 直(zhi)流(liu)線性電(dian)源加(jia)熱(re)(液氮流(liu)量(liang)線性控制液氮制冷) |
輔助功能 | 溫度數據采集并導出 實時溫度曲線+歷(li)史溫度曲(qu)線 |
探針 | |
電(dian)信號接頭 | 配線轉接 BNC接頭 BNC三(san)同軸(zhou)接頭(tou) SMA 接頭(tou) 香(xiang)蕉插(cha)頭 線(xian)長1.2米(mi) |
電(dian)學性能 | 絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質耐壓 ≤200V 電流噪聲 ≤10pA |
探針數量 | 4探(tan)針(zhen)(可(ke)定做6探針) |
探針材質 | 鍍金鎢針 |
探針尖(jian) | 10μm |
探針(zhen)移(yi)動平(ping)臺 | |
X軸移動行程 | 12mm ±6mm |
X軸控制(zhi)精度 | ≤5μm |
Y軸移(yi)動行程(cheng) | 12mm ±6mm |
Y軸控制精度 | ≤5μm |
Z軸移(yi)動行程 | 12mm ±6mm |
Z軸控制精度 | ≤5μm |
數碼(ma)顯微(wei)鏡 | |
顯(xian)微鏡類別(bie) | 物鏡(jing)放大(da)+電子放大 |
顯微鏡放大(da)倍數 | 100倍 |
顯(xian)微鏡工作(zuo)間(jian)距 | 50-150mm |
相(xiang)機(ji)分辨率 | 1080P 60幀 |
相機(ji)信(xin)號輸出 | HDMI輸(shu)出+USB輸出 |
LED可調光源 | LED光(guang)源 |
顯示屏 | 5寸(cun) 屏幕一體機 |