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當前位置:首頁產品中心材料樣品處理小型濺射儀KT-Z1650PVD桌(zhuo)面式磁控濺射(she)儀(yi)

桌面式磁控濺射儀

產品簡介

桌面式磁(ci)控(kong)濺射儀KT-Z1650PVD,外形小巧(qiao)方便(bian)移動(dong),觸摸屏控(kong)制工(gong)藝記憶儲存,自動(dong)電動(dong)擋板閥(fa)保護樣(yang)品,石英腔室更(geng)加潔凈方便(bian)清(qing)潔。

產品型號:KT-Z1650PVD
更新時間:2024-03-27
廠商性質:生產廠家
訪問量:1504
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品牌鄭科探濺射氣體根據需求通氣
樣品臺尺寸50mm控制方式觸摸屏智能控制
樣品倉尺寸φ160x160mm靶材尺寸50mm
靶材材質金 鉑 銅 銀 等價格區間面議
產地類別國產應用領域化工,綜合

桌面式磁控濺射儀KT-Z1650PVD離(li)子濺射(she)儀為(wei)一種(zhong)有(you)著緊湊結構的(de)桌上型(xing)鍍(du)(du)膜(mo)系統,對于掃描電鏡成像(xiang)中非導電樣(yang)(yang)品(pin)高質(zhi)量鍍(du)(du)膜(mo)尤為(wei)適用。試(shi)(shi)樣(yang)(yang)干燥清潔為(wei)離(li)子濺射(she)鍍(du)(du)膜(mo)的(de)基本要求。在必要時,交換試(shi)(shi)樣(yang)(yang)與陰(yin)(yin)極的(de)位置利用火(huo)花放(fang)電從而對試(shi)(shi)樣(yang)(yang)表面(mian)進行(xing)清潔,之后試(shi)(shi)樣(yang)(yang)復(fu)原(yuan),再(zai)進行(xing)濺射(she)鍍(du)(du)膜(mo)。鐵、鎳、銅鉛等(deng)為(wei)離(li)子濺射(she)儀常用的(de)陰(yin)(yin)極材料(liao),有(you)時電剛金、鉑、鈀、銦和其他金屬也(ye)能夠作為(wei)陰(yin)(yin)極材料(liao),氧氣為(wei)離(li)子濺射(she)儀常用的(de)反(fan)應(ying)氣體。

*外形小巧方便移動

*觸摸屏控制(zhi),工藝(yi)記憶儲存方(fang)便鍍相同(tong)樣品

*自(zi)動(dong)化電動(dong)擋板,能(neng)自(zi)動(dong)打開關(guan)閉,保證鍍(du)樣(yang)時間和(he)保護(hu)樣(yang)品

*石英+不銹(xiu)鋼腔體,方(fang)便觀(guan)察和清洗(xi)

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桌面式磁控濺射儀KT-Z1650PVD廠家供應技術參數;

控制方式

7寸(cun)人機界面 手動(dong)(dong) 自動(dong)(dong)模式切(qie)換控制

濺射電(dian)源(yuan)

直流濺射電源

鍍膜功能

0-999秒(miao)5段可變(bian)換功率及擋板(ban)位(wei)和樣品(pin)速度程序(xu)

功率

≤1000W

輸出電壓電流

電壓≤1000V  電流≤1A

真空(kong)

機械泵(beng) ≤5Pa(5分鐘)   分子(zi)泵(beng)≤5*10^-3Pa

濺射(she)真(zhen)空

≤30Pa

擋板類型

電控

真空腔(qiang)室(shi)

石英+不銹(xiu)鋼(gang)腔(qiang)體φ160mm x 170mm

樣品臺

可(ke)旋轉φ62  (可(ke)安裝(zhuang)φ50基底)

樣(yang)品臺轉(zhuan)速(su)

8轉/分鐘

樣品濺射源調節距離

40-105mm

真空測量

皮拉(la)尼真空計(已(yi)安裝(zhuang) 測量范(fan)圍(wei)10E5Pa  1E-1Pa)

預留真空接口

KF25抽氣口    KF16放(fang)氣口   6mm卡套進氣口





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