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Product Center桌面式磁(ci)控(kong)濺射儀KT-Z1650PVD,外形小巧(qiao)方便(bian)移動(dong),觸摸屏控(kong)制工(gong)藝記憶儲存,自動(dong)電動(dong)擋板閥(fa)保護樣(yang)品,石英腔室更(geng)加潔凈方便(bian)清(qing)潔。
品牌 | 鄭科探 | 濺射氣體 | 根據需求通氣 |
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樣品臺尺寸 | 50mm | 控制方式 | 觸摸屏智能控制 |
樣品倉尺寸 | φ160x160mm | 靶材尺寸 | 50mm |
靶材材質 | 金 鉑 銅 銀 等 | 價格區間 | 面議 |
產地類別 | 國產 | 應用領域 | 化工,綜合 |
桌面式磁控濺射儀KT-Z1650PVD離(li)子濺射(she)儀為(wei)一種(zhong)有(you)著緊湊結構的(de)桌上型(xing)鍍(du)(du)膜(mo)系統,對于掃描電鏡成像(xiang)中非導電樣(yang)(yang)品(pin)高質(zhi)量鍍(du)(du)膜(mo)尤為(wei)適用。試(shi)(shi)樣(yang)(yang)干燥清潔為(wei)離(li)子濺射(she)鍍(du)(du)膜(mo)的(de)基本要求。在必要時,交換試(shi)(shi)樣(yang)(yang)與陰(yin)(yin)極的(de)位置利用火(huo)花放(fang)電從而對試(shi)(shi)樣(yang)(yang)表面(mian)進行(xing)清潔,之后試(shi)(shi)樣(yang)(yang)復(fu)原(yuan),再(zai)進行(xing)濺射(she)鍍(du)(du)膜(mo)。鐵、鎳、銅鉛等(deng)為(wei)離(li)子濺射(she)儀常用的(de)陰(yin)(yin)極材料(liao),有(you)時電剛金、鉑、鈀、銦和其他金屬也(ye)能夠作為(wei)陰(yin)(yin)極材料(liao),氧氣為(wei)離(li)子濺射(she)儀常用的(de)反(fan)應(ying)氣體。
*外形小巧方便移動
*觸摸屏控制(zhi),工藝(yi)記憶儲存方(fang)便鍍相同(tong)樣品
*自(zi)動(dong)化電動(dong)擋板,能(neng)自(zi)動(dong)打開關(guan)閉,保證鍍(du)樣(yang)時間和(he)保護(hu)樣(yang)品
*石英+不銹(xiu)鋼腔體,方(fang)便觀(guan)察和清洗(xi)
桌面式磁控濺射儀KT-Z1650PVD廠家供應技術參數;
控制方式 | 7寸(cun)人機界面 手動(dong)(dong) 自動(dong)(dong)模式切(qie)換控制 |
濺射電(dian)源(yuan) | 直流濺射電源 |
鍍膜功能 | 0-999秒(miao)5段可變(bian)換功率及擋板(ban)位(wei)和樣品(pin)速度程序(xu) |
功率 | ≤1000W |
輸出電壓電流 | 電壓≤1000V 電流≤1A |
真空(kong) | 機械泵(beng) ≤5Pa(5分鐘) 分子(zi)泵(beng)≤5*10^-3Pa |
濺射(she)真(zhen)空 | ≤30Pa |
擋板類型 | 電控 |
真空腔(qiang)室(shi) | 石英+不銹(xiu)鋼(gang)腔(qiang)體φ160mm x 170mm |
樣品臺 | 可(ke)旋轉φ62 (可(ke)安裝(zhuang)φ50基底) |
樣(yang)品臺轉(zhuan)速(su) | 8轉/分鐘 |
樣品濺射源調節距離 | 40-105mm |
真空測量 | 皮拉(la)尼真空計(已(yi)安裝(zhuang) 測量范(fan)圍(wei)10E5Pa 1E-1Pa) |
預留真空接口 | KF25抽氣口 KF16放(fang)氣口 6mm卡套進氣口 |