類型

高溫(wen)型室溫(wen)到350℃

高(gao)低溫(wen)型 室溫(wen)到(dao)350℃   室溫(wen)到(dao)-196℃

腔體(ti)材質

304不(bu)銹(xiu)鋼 6061鋁合(he)金(jin) 可選(xuan)

腔體內尺寸

127mmX57mmX20mm

腔體外(wai)尺寸

150mmX80mmX32mm

腔體重量

不銹鋼材(cai)質 約1.5KG     鋁合金材(cai)質 約0.5KG

腔體上(shang)視窗尺寸

Φ42mm（可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離(li)）

腔體抽(chou)氣口(kou)

KF16法(fa)蘭（其余接口(kou)規格可轉接）

腔(qiang)體真空測量(liang)口

KF16法蘭（其(qi)余接口規(gui)格可轉接）

腔(qiang)體進氣口(kou)

6mm快擰(ning) 或 6mm快插(cha)

腔體冷(leng)卻方式

腔體水(shui)冷(leng)+上蓋氣冷(leng)

腔體水冷接口

腔體正壓(ya)

≤0.05MPa

腔體(ti)真(zhen)空度

機械泵≤5Pa （5分鐘）  分子(zi)泵≤5E-3Pa（30分鐘）

樣品臺

樣品臺材(cai)質

不銹鋼 銀銅合金 純(chun)銀塊(kuai)

銀銅合金 純銀塊

樣(yang)品臺尺寸

26x26mm

樣品臺(tai)加熱方式

電阻加熱

電(dian)阻(zu)加熱(re) 液氮制冷

樣品臺(tai)-視窗 距離

11mm（可選配凹視窗用于減少窗口和(he)樣品之間距離到(dao)6mm）

樣品臺測溫(wen)傳感器(qi)

PT100型熱電(dian)阻

樣品臺(tai)溫(wen)度

室溫到400℃

室(shi)溫到400℃   室(shi)溫到-196℃

樣品臺測溫(wen)誤差

±0.5℃

樣品臺升溫(wen)速率

高(gao)溫100℃/min    低(di)溫7℃/min

溫控儀

溫(wen)度顯示(shi)

7寸人機界面(mian)

溫控類型

標(biao)準PID溫控 +自整(zheng)定

溫度分(fen)辨率

0.1℃

溫控精度(du)

±0.5℃

溫度(du)信號輸入類型

PT100 （可選K  S  B型熱電偶(ou)）

溫控輸出(chu)

直流(liu)線性電源加(jia)熱

直流(liu)線(xian)性電源加熱+液氮流(liu)速控制器

輔助功能

溫(wen)度數(shu)據(ju)采(cai)集并(bing)導出 實時溫(wen)度曲線(xian)+歷史溫(wen)度曲線(xian) 可擴展真空讀數(shu)接口

溫(wen)控(kong)器(qi)尺寸

32cmX170cmX380cm

溫控器(qi)重量

約5.6KG

探針(zhen)

電信號接頭

配線(xian)轉接(jie) BNC接(jie)頭(tou)   BNC三(san)同軸接(jie)頭(tou)  SMA 接(jie)頭(tou) 香蕉插頭(tou) 線(xian)長1.2米

電(dian)學性能

絕緣(yuan)電阻 ≥4000MΩ     介質(zhi)耐(nai)壓 ≤200V    電流噪聲 ≤10pA

探針數(shu)量

4探針（可擴(kuo)展(zhan)5探針）

探針(zhen)材質

鍍金鎢針 （其他(ta)材質可選）

探針尖

10μm

手動探針移動平臺

X軸移動行(xing)程

20mm    ;±10mm（需手動(dong)推動(dong)滑臺）

X軸控制精度(du)

≥500μm

R軸(zhou)移動行程

120°    ±60°（需手動旋(xuan)轉探針(zhen)桿）

R軸控制精度

≥500μm

Z軸(zhou)移動行程

2mm    ±1mm

Z軸控(kong)制精度

≤50μm（需手動螺紋調(diao)節探針桿）