類(lei)型

高溫型室(shi)溫到350℃

高低溫型 室(shi)溫(wen)到350℃  室溫到-196℃

腔體(ti)材(cai)質

304不銹鋼 6061鋁合金 可選

腔體(ti)內尺寸(cun)

127mmX57mmX20mm

腔體外(wai)尺寸(cun)

150mmX80mmX32mm

腔體重量

不銹鋼材(cai)質 約(yue)1.5KG     鋁合(he)金材質 約(yue)0.5KG

腔(qiang)體上(shang)視窗尺(chi)寸

Φ42mm（可選(xuan)配凹視窗用于減少窗口(kou)和樣品之間(jian)距離）

腔體抽氣(qi)口

KF16法蘭（其余接口規格可轉接）

腔體真空測量口

KF16法蘭(lan)（其余接口規格(ge)可轉(zhuan)接）

腔體(ti)進(jin)氣(qi)口

6mm快擰 或(huo) 6mm快插

腔體冷卻方式(shi)

腔體水冷+上蓋(gai)氣冷

腔體水(shui)冷接口

腔(qiang)體正(zheng)壓

≤0.05MPa

腔體真(zhen)空度

機(ji)械泵≤5Pa （5分(fen)鐘）  分子泵≤5E-3Pa（30分鐘）

樣品臺(tai)

樣品臺(tai)材質

不銹鋼 銀銅合金 純(chun)銀(yin)塊

銀銅合金 純銀(yin)塊

樣品(pin)臺尺寸

26x26mm

樣品臺加熱(re)方式

電(dian)阻加熱

電阻加熱 液(ye)氮制冷

樣品臺(tai)-視窗 距離(li)

11mm（可(ke)選配凹視窗(chuang)用于(yu)減少窗(chuang)口(kou)和樣品之間距(ju)離到6mm）

樣品(pin)臺測溫傳感器(qi)

PT100型熱電阻

樣(yang)品臺溫度

室(shi)溫到400℃

室(shi)溫到400℃  室(shi)溫(wen)到-196℃

樣(yang)品臺測溫(wen)誤差

±0.5℃

樣品臺升溫速率

高(gao)溫100℃/min    低溫7℃/min

溫控(kong)儀

溫(wen)度顯示

7寸人機界面

溫控類型

標(biao)準PID溫控 +自整定(ding)

溫度(du)分辨率

0.1℃

溫控精度

±0.5℃

溫度(du)信(xin)號輸入類型(xing)

PT100 （可選(xuan)K  S  B型熱(re)電偶）

溫控輸出(chu)

直流(liu)線性電源加熱(re)

直(zhi)流線性電源加熱+液氮流速控制器

輔助功(gong)能

溫度數據采集(ji)并(bing)導出 實時溫度曲線+歷(li)史溫度曲線 可擴展真空讀(du)數接口

溫控(kong)器(qi)尺寸(cun)

32cmX170cmX380cm

溫控器重(zhong)量

約5.6KG

探針

電信號接(jie)頭

配線轉接 BNC接頭   BNC三同軸接(jie)頭  SMA 接頭 香(xiang)蕉插頭 線長(chang)1.2米

電(dian)學(xue)性能

絕緣(yuan)電阻 ≥4000MΩ     介質耐壓 ≤200V    電流噪聲 ≤10pA

探針數量(liang)

4探針（可擴展5探針）

探針材質

鍍金鎢針 （其(qi)他材質可選(xuan)）

探(tan)針尖(jian)

10μm

手動(dong)(dong)探針移(yi)動(dong)(dong)平臺

X軸移動行程

20mm    ±10mm（需手動(dong)推動(dong)滑臺）

X軸(zhou)控制(zhi)精(jing)度

≥500μm

R軸移(yi)動行(xing)程(cheng)

120°    ±60°（需手動旋轉探針(zhen)桿）

R軸控制精度(du)

≥500μm

Z軸移(yi)動行程

2mm    ±1mm

Z軸控制精度

≤50μm（需手(shou)動螺紋調節探針(zhen)桿）