類型

高溫型室(shi)溫到350℃

高低(di)溫型 室溫(wen)到350℃  室溫到-196℃

腔體(ti)材(cai)質(zhi)

304不銹鋼 6061鋁合金 可選

腔體內尺寸

127mmX57mmX20mm

腔體外尺寸

150mmX80mmX32mm

腔體(ti)重量(liang)

不銹鋼材質 約1.5KG     鋁合金材質 約(yue)0.5KG

腔體上(shang)視(shi)窗尺寸

Φ42mm（可(ke)選(xuan)配凹視窗用(yong)于(yu)減少窗口和樣品之間距離）

腔(qiang)體抽氣口(kou)

KF16法蘭（其余接口規格可(ke)轉接）

腔體(ti)真空(kong)測量口

KF16法蘭（其余接口(kou)規格可轉接）

腔體進氣口

6mm快擰 或 6mm快插

腔(qiang)體冷(leng)卻方式

腔體水(shui)冷+上蓋(gai)氣冷

腔體水冷接口(kou)

腔體(ti)正壓

≤0.05MPa

腔體(ti)真空度

機械泵≤5Pa （5分(fen)鐘）  分子(zi)泵≤5E-3Pa（30分鐘(zhong)）

樣品臺

樣(yang)品臺材質

不銹(xiu)鋼 銀銅合金(jin) 純銀塊

銀銅合金 純銀塊

樣品臺尺寸

26x26mm

樣品(pin)臺加熱方式

電阻(zu)加熱

電阻加熱(re) 液氮制(zhi)冷

樣品(pin)臺-視窗(chuang) 距離

11mm（可選配凹(ao)視窗(chuang)用于(yu)減少窗(chuang)口和樣品之(zhi)間距離到6mm）

樣品臺(tai)測溫傳感器

PT100型熱(re)電阻

樣品臺溫度

室溫到400℃

室溫到400℃  室(shi)溫到-196℃

樣品(pin)臺測溫(wen)誤差

±0.5℃

樣(yang)品臺(tai)升溫速率

高(gao)溫100℃/min 最(zui)大值(zhi)   低溫7℃/min

溫控(kong)儀

溫度(du)顯示

7寸(cun)人機界(jie)面

溫控類型

標準PID溫控 +自(zi)整定

溫(wen)度分辨率

0.1℃

溫(wen)控精度

±0.5℃

溫度信號輸入類(lei)型(xing)

PT100 （可選K  S  B型(xing)熱電偶(ou)）

溫控(kong)輸出

直流線(xian)性電源加熱

直(zhi)流線性電(dian)源(yuan)加熱+液氮流速(su)控制(zhi)器

輔助功能(neng)

溫度數據(ju)采(cai)集(ji)并導出 實(shi)時溫度曲線(xian)+歷史(shi)溫度曲(qu)線(xian) 可擴(kuo)展真空讀數接口

溫控器尺寸(cun)

32cmX170cmX380cm

溫控器重量

約5.6KG

探針(zhen)

電信(xin)號接頭(tou)

配線轉接 BNC接頭(tou)   BNC三同(tong)軸接頭  SMA 接頭 香(xiang)蕉插頭 線長1.2米

電學(xue)性能

絕緣電阻(zu) ≥4000MΩ     介質(zhi)耐壓 ≤200V    電流噪聲 ≤10pA

探針數量(liang)

4探針（可擴展5探針）

探針材質(zhi)

鍍(du)金鎢針 （其他材質(zhi)可(ke)選）

探(tan)針尖(jian)

10μm

手(shou)動(dong)探(tan)針移(yi)動(dong)平臺

X軸移動行程

20mm    ±10mm（需手動(dong)(dong)推動(dong)(dong)滑(hua)臺）

X軸控制精度

≥500μm

R軸移(yi)動(dong)行程

120°    ±60°（需手動旋轉探針桿）

R軸控制精度

≥500μm

Z軸(zhou)移動(dong)行程(cheng)

2mm    ±1mm

Z軸控制精度

≤50μm（需手動螺紋(wen)調節探針桿）