類型

加熱型350℃   或者加熱制冷型(xing) 室(shi)溫到350℃ 室溫(wen)到-190℃

腔體材(cai)質

304不銹鋼(gang)

腔體內尺寸

φ90x40mm

腔(qiang)體上(shang)視窗尺寸

Φ42mm（選配(pei)凹視窗Φ22mm）

腔(qiang)體(ti)抽氣口(kou)

KF16

腔(qiang)體進氣口(kou)

公制(zhi)3mm 6mm氣管接頭(tou) 英制1/8mm 1/4mm 氣(qi)管(guan)接頭可(ke)選

腔體出氣口

公制3mm 6mm氣管接頭 英制1/8mm 1/4mm 氣管接頭可選(xuan)

腔體正壓(ya)

≤0.05MPa

腔體真空度

機械泵≤5Pa （5分鐘）  分子泵≤5E-3Pa（30分(fen)鐘）

樣品臺

樣品(pin)臺材質(zhi)

304不銹鋼

樣品臺(tai)尺寸

26X26mm

樣品臺-視窗 距離

30mm（可選(xuan)凹視(shi)窗間距15mm）

樣品(pin)臺測(ce)溫傳感器(qi)

A    級PT100鉑電阻

樣品臺溫(wen)度

室(shi)溫到350℃（可選高低溫樣(yang)品(pin)臺 高溫(wen)350℃低(di)溫-190℃）

樣品臺測溫誤(wu)差

±0.2℃

樣品臺變(bian)溫速(su)率

高(gao)溫10℃/min   低溫5℃/min  最大值

溫控儀

溫(wen)度顯(xian)示

7寸人(ren)機界面

溫控類型

標準PID溫控 +自(zi)整定(ding)（可選30段編(bian)程控溫）

溫度(du)分(fen)辨率

0.1℃

溫控精度

±0.5℃

溫度信號(hao)輸入類型

PT100熱電阻 （可選 K    S  B型(xing)熱電偶）

溫控(kong)輸出(chu)

直流線性(xing)電(dian)源加(jia)熱（液(ye)氮流量(liang)線性(xing)控制(zhi)液(ye)氮制(zhi)冷）

輔助功(gong)能

溫度數據采集并(bing)導出 實時(shi)溫度曲線+歷史溫(wen)度曲線

探針

電(dian)信號(hao)接頭(tou)

配(pei)線轉接 BNC接頭 BNC三(san)同軸接頭(tou) SMA 接頭 香蕉(jiao)插頭 線(xian)長1.2米

電學(xue)性能

絕(jue)緣電阻 ≥4000MΩ     介質耐壓 ≤200V    電流噪聲 ≤10pA

探(tan)針數(shu)量

4探針(zhen)（可定(ding)做6探針(zhen)）

探針(zhen)材質

鍍金鎢(wu)針

探針(zhen)尖(jian)

10μm

探(tan)針移動平臺

X軸移動行程

12mm    ±6mm

X軸(zhou)控制精(jing)度

≤5μm

Y軸移動行程

12mm    ±6mm

Y軸控(kong)制精度(du)

≤5μm

Z軸移動(dong)行(xing)程

12mm    ±6mm

Z軸控制(zhi)精度

≤5μm

數碼顯(xian)微鏡

顯微鏡類別

物鏡(jing)放大(da)+電(dian)子放大

顯微鏡放大倍數

100倍

顯(xian)微鏡工作間距

50-150mm

相(xiang)機(ji)分(fen)辨率

1080P  60幀(zhen)  

相機信號輸(shu)出

HDMI輸(shu)出+USB輸出

LED可調光源(yuan)

LED光源(yuan)

顯示屏(ping)

5寸(cun) 屏幕一體(ti)(ti)機