類型

高溫型室溫到350℃

高(gao)低溫(wen)型(xing) 室溫到(dao)350℃  室(shi)溫到-196℃

腔體(ti)材質(zhi)

304不銹鋼 6061鋁合金 可選(xuan)

腔體(ti)內尺寸

127mmX57mmX20mm

腔體(ti)外尺寸

150mmX80mmX32mm

腔體(ti)重(zhong)量

不銹鋼材質 約1.5KG     鋁合金材質 約0.5KG

腔體上(shang)視窗(chuang)尺寸

Φ42mm（可選配凹視窗用于減(jian)少窗口(kou)和樣品之(zhi)間(jian)距離(li)）

腔體抽氣口(kou)

KF16法蘭（其余接口規格可轉接）

腔體(ti)真空測量(liang)口(kou)

KF16法蘭(lan)（其余接口規格可轉接）

腔體進氣口

6mm快擰 或 6mm快(kuai)插

腔體冷卻方式

腔體水冷+上蓋氣冷

腔體(ti)水冷接口(kou)

腔體正壓

≤0.05MPa

腔(qiang)體(ti)真空度

機械泵≤5Pa （5分鐘(zhong)）  分子泵≤5E-3Pa（30分(fen)鐘）

樣品臺

樣品臺(tai)材(cai)質

不銹(xiu)鋼 銀銅合金 純銀塊

銀(yin)銅合金 純銀塊

樣(yang)品臺(tai)尺寸(cun)

26x26mm

樣品臺(tai)加熱(re)方式(shi)

電阻加熱

電阻加熱(re) 液氮制冷(leng)

樣品臺-視窗 距離

11mm（可選配凹(ao)視窗用于減少(shao)窗口(kou)和樣品之間(jian)距(ju)離到6mm）

樣品臺測(ce)溫傳感器

PT100型熱電阻(zu)

樣品(pin)臺溫度

室溫(wen)到400℃

室溫到(dao)400℃  室溫到-196℃

樣品臺測溫誤差

±0.5℃

樣品臺升溫速率(lv)

高溫(wen)100℃/min  低溫7℃/min

溫控儀

溫度顯(xian)示

7寸人機界面

溫控類型

標準PID溫控 +自整定(ding)

溫度分辨率

0.1℃

溫控精度(du)

±0.5℃

溫度信號輸(shu)入類型

PT100 （可選K  S  B型熱電偶）

溫控(kong)輸出(chu)

直流線性電源加熱

直流線性(xing)電(dian)源加(jia)熱+液氮流速(su)控(kong)制器

輔(fu)助功能

溫度數據采集并導出 實時溫度曲線+歷史溫度曲線 可擴展真空讀(du)數接口

溫控器尺寸

32cmX170cmX380cm

溫(wen)控器重量

約5.6KG

探針

電信(xin)號接頭

配線轉接 BNC接(jie)頭   BNC三(san)同軸接頭  SMA 接頭 香蕉插頭 線長1.2米

電學性能

絕緣(yuan)電阻 ≥4000MΩ     介質耐壓 ≤200V    電流噪聲(sheng) ≤10pA

探針(zhen)數量(liang)

4探針(zhen)（可擴展5探針）

探針材質

鍍金(jin)鎢針(zhen) （其他材質可選）

探針尖

10μm

手(shou)動探針移動平臺(tai)

X軸移動行程

20mm    ±10mm（需手動推動滑臺）

X軸控制精(jing)度

≥500μm

R軸移動行程

120°    ±60°（需手動(dong)旋轉探(tan)針桿）

R軸控制精(jing)度

≥500μm

Z軸(zhou)移動行程

2mm    ±1mm

Z軸(zhou)控制精度

≤50μm（需手動螺(luo)紋調節探針桿）