類型

加熱型(xing)350℃   或者加熱(re)制冷(leng)型(xing) 室(shi)溫到350℃ 室溫到-190℃

腔體(ti)材(cai)質(zhi)

304不銹鋼(gang)

腔體內尺寸

φ90x40mm

腔體上視窗尺寸

Φ42mm（選(xuan)配凹視窗(chuang)Φ22mm）

腔(qiang)體抽氣口

KF16

腔體進氣口

公制3mm 6mm氣管(guan)接頭 英制1/8mm 1/4mm 氣管接頭(tou)可選(xuan)

腔體(ti)出氣(qi)口

公制3mm 6mm氣(qi)管接(jie)頭 英制1/8mm 1/4mm 氣(qi)管接頭可(ke)選

腔體正壓(ya)

≤0.05MPa

腔體真空度(du)

機械泵(beng)≤5Pa （5分鐘）  分(fen)子(zi)泵≤5E-3Pa（30分鐘）

樣品(pin)臺(tai)

樣(yang)品(pin)臺材(cai)質

304不銹鋼(gang)

樣品臺尺寸

26X26mm

樣(yang)品臺-視(shi)窗 距離

30mm（可選凹視窗間距15mm）

樣品臺測溫傳感器

A    級PT100鉑電阻

樣品臺溫度

室溫到350℃（可(ke)選高低溫樣品臺(tai) 高溫350℃低溫-190℃）

樣品臺(tai)測溫(wen)誤差

±0.2℃

樣品臺(tai)變溫速率

高(gao)溫10℃/min   低溫5℃/min  最大值(zhi)

溫控儀

溫度(du)顯(xian)示

7寸人機界面

溫控(kong)類型

標(biao)準(zhun)PID溫控 +自(zi)整定（可(ke)選30段編(bian)程控溫(wen)）

溫(wen)度分辨率

0.1℃

溫控精度

±0.5℃

溫度信號輸(shu)入類型

PT100熱電阻 （可選(xuan) K    S  B型熱電偶）

溫控輸出(chu)

直流線性電源加(jia)熱（液氮(dan)流量線性控(kong)制液氮(dan)制冷）

輔助功能

溫度數據采集(ji)并導(dao)出 實時溫度(du)曲線+歷史(shi)溫度曲線(xian)

探針(zhen)

電信(xin)號接頭(tou)

配(pei)線轉接 BNC接頭 BNC三同軸接頭(tou) SMA 接(jie)頭 香蕉插頭 線長1.2米

電學性能

絕緣電阻 ≥4000MΩ     介質耐(nai)壓(ya) ≤200V    電流噪聲 ≤10pA

探針數量

4探針（可定(ding)做6探針）

探針材質

鍍金鎢針

探(tan)針尖

10μm

探針(zhen)移(yi)動(dong)平臺

X軸移動行程

12mm    ±6mm

X軸控(kong)制(zhi)精度(du)

≤5μm

Y軸移動(dong)行程

12mm    ±6mm

Y軸控(kong)制精度

≤5μm

Z軸移動(dong)行(xing)程

12mm    ±6mm

Z軸控制精度

≤5μm

數碼顯微鏡

顯微鏡(jing)類別

物鏡放大(da)+電子放大

顯微鏡放大倍(bei)數

100倍(bei)

顯微鏡工作間距(ju)

50-150mm

相(xiang)機分辨率

1080P  60幀  

相機信號輸出

HDMI輸(shu)出+USB輸出

LED可調光源

LED光(guang)源

顯(xian)示屏

5寸 屏幕一體機