高溫蒸鍍儀，KT-Z1650CVD，石(shi)英＋不銹鋼腔體，觸摸屏控(kong)制(zhi)，工藝儲(chu)存功能(neng)，自動電控(kong)擋板保護(hu)樣品

在(zai)厚度(du)為2nm (20埃)或(huo)更厚時膜是連續的(de)。通常的(de)沉積形(xing)式是加熱(re)碳或(huo)石墨棒。棒具(ju)有(you)(you)特定的(de)形(xing)狀以達到(dao)最大(da)電流(liu)密度(du)，使得(de)它具(ju)有(you)(you)足夠的(de)溫度(du)來引起蒸發。基于(yu)這點，出現了細小的(de)、亮的(de)、熱(re)的(de)碳顆(ke)粒。此系統需要用(yong)擴散泵(beng)或(huo)渦輪分(fen)子泵(beng)達到(dao)1x10-4 mbar或(huo)更高(gao)的(de)真空(kong)度(du)。
渦輪分子泵(beng)在K950X中作(zuo)為(wei)標準(zhun)配置，此泵(beng)作(zuo)為(wei)機械真空(kong)泵(beng)的(de)后級泵(beng)，真空(kong)為(wei)全自動控制(zhi)，真空(kong)度優于1x10-5 mbar。可進行預熱及除氣控制(zhi)，同時用(yong)瞬時蒸發(fa)開關(guan)使(shi)脈(mo)沖(chong)蒸發(fa)在用(yong)戶控制(zhi)下進行。
標準的旋轉樣(yang)品臺可進行(xing)傾斜調節，非常(chang)容(rong)易(yi)適應各種樣(yang)品座。

以下(xia)是不同(tong)真空度 不同(tong)鍍膜時間鍍銅樣品圖

  原樣品沒有鍍膜                        115A 100秒 機械泵

115A 100秒 分子泵抽12分鐘      115A 120秒 分(fen)子(zi)泵抽20分(fen)鐘(zhong)

真空度越(yue)高 越(yue)不易氧(yang)化 越(yue)接近金屬本色

高溫蒸鍍儀KT-Z1650CVD