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產品簡介
高精度大型真空探針(zhen)臺，移(yi)動滑塊(kuai)精度0.01mm，探針(zhen)尖10μm，鍍金鎢針(zhen)，物鏡放大倍數19-135倍
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相關(guan)文章(zhang)| 品牌 | 鄭科探 |
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高精度大型真空探針臺，移動滑(hua)塊精度0.01mm，探針尖10μm，鍍金鎢針，物鏡放大倍數(shu)19-135倍
-196℃到400℃(液氮(dan))；
超高(gao)溫度分辨(bian)率(lv)；
低溫具有*穩定性
當晶圓加熱至300℃,400℃,500℃甚至更(geng)高溫(wen)度(du)時(shi)，氧化(hua)(hua)現象會越(yue)來越(yue)明顯，并且(qie)溫(wen)度(du)越(yue)高氧化(hua)(hua)越(yue)嚴重。過度(du)氧化(hua)(hua)會導致(zhi)晶圓電性誤差(cha)，物理和機械形(xing)變。避免這些需要把真空腔(qiang)內的氧氣在測試前用泵抽走，并且(qie)保持整個測試過程泵的運轉。
晶(jing)圓(yuan)測試過(guo)程(cheng)中溫度在低溫和高溫中變(bian)換，因為(wei)熱脹冷縮現(xian)象，定位(wei)好的探(tan)針(zhen)與器件電極間會有相(xiang)對位(wei)移(yi)，這時需要針(zhen)座(zuo)(zuo)的重新定位(wei)，針(zhen)座(zuo)(zuo)位(wei)于(yu)腔(qiang)體外部。我(wo)們也可以選(xuan)擇(ze)使(shi)用操(cao)作桿控(kong)制的自動化針(zhen)座(zuo)(zuo)來調整(zheng)探(tan)針(zhen)的位(wei)置。
高精度大型真空探針臺
真空腔體 | |
腔(qiang)體材質 | 304不銹(xiu)鋼 |
上蓋開啟 | 鉸鏈側(ce)開 |
加熱(re)臺材(cai)質(zhi) | 304不銹鋼 |
內(nei)腔(qiang)體尺寸 | φ160x90mm |
觀察窗尺寸 | Φ70mm |
加熱臺尺寸 | φ60mm |
觀察窗(chuang)熱臺(tai)間距 | 75mm |
加熱臺溫度 | ﹣196~350℃ |
加(jia)熱臺溫控誤差(cha) | ±1℃ |
真(zhen)空度 | 機械泵≤10Pa 分子泵≤10-3Pa |
允許正(zheng)壓 | ≤0.1MPa |
真空(kong)抽氣口 | KF25真(zhen)空法蘭 |
氣(qi)體(ti)進(jin)氣(qi)口(kou) | 3mm-6mm卡套接頭 |
電信號接頭(tou) | SMA轉BNC X 4 |
電學(xue)性能 | 絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質耐壓 ≤500V |
探針數量 | 4探針 |
探針材(cai)質 | 鎢針 |
探針尖(jian) | 10μm |
探針移動平臺 | |
X軸(zhou)移(yi)動(dong)行程 | 30mm ±15mm |
X軸(zhou)控制(zhi)精度 | ≤0.01mm |
Y軸移(yi)動行(xing)程 | 13mm ±12.5mm |
Y軸控制精(jing)度 | ≤0.01mm |
Z軸移動行程 | 13mm ±12.5mm |
Z軸控(kong)制精度 | ≤0.01mm |
電子顯微鏡 | |
顯微鏡類別 | 物(wu)鏡 |
物(wu)鏡倍數 | 0.7-4.5倍 |
工作間(jian)距 | 90mm |
相(xiang)機(ji) | sony 高清 |
像素(su) | 1920※1080像(xiang)素(su) |
圖像(xiang)接口 | VGA |
LED可調光(guang)源 | 有 |
顯示屏 | 8寸(cun) |
放大倍數(shu) | 19-135倍,視(shi)場范圍(wei)15×13-2.25×1.7mm，最小可(ke)分(fen)辨0.08mm |
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