類型(xing)

高(gao)溫型(xing)室溫到350℃

高(gao)低溫(wen)型 室溫(wen)到(dao)350℃  室溫到-196℃

腔體材(cai)質

304不銹鋼 6061鋁合金 可(ke)選

腔體內尺寸

127mmX57mmX20mm

腔體外尺寸

150mmX80mmX32mm

腔體(ti)重(zhong)量(liang)

不銹鋼材質(zhi) 約1.5KG     鋁合金材質 約0.5KG

腔體上視窗(chuang)尺寸(cun)

Φ42mm（可選配(pei)凹視窗用于減少窗口(kou)和樣品之(zhi)間距離）

腔(qiang)體抽氣口(kou)

KF16法(fa)蘭（其余(yu)接口規格可轉接）

腔體(ti)真(zhen)空(kong)測量口

KF16法蘭（其余接(jie)口規格(ge)可轉接(jie)）

腔體進氣口

6mm快擰 或 6mm快插

腔體(ti)冷(leng)卻方(fang)式

腔(qiang)體水(shui)冷+上(shang)蓋(gai)氣冷(leng)

腔體水(shui)冷(leng)接口

腔體正(zheng)壓(ya)

≤0.05MPa

腔體真空度

機械(xie)泵≤5Pa （5分鐘）  分子(zi)泵≤5E-3Pa（30分鐘）

樣品臺

樣品臺材質

不銹鋼 銀銅合金 純銀塊

銀銅合金(jin) 純銀塊

樣品臺(tai)尺寸

26x26mm

樣品臺加(jia)熱方式

電阻加熱

電(dian)阻加熱 液氮(dan)制冷

樣品臺-視窗 距離

11mm（可選配凹視(shi)窗(chuang)用(yong)于減少窗(chuang)口和樣品之間距(ju)離(li)到6mm）

樣(yang)品臺測溫(wen)傳感器

PT100型熱電阻

樣品臺溫度(du)

室溫到(dao)400℃

室(shi)溫(wen)到400℃  室溫到-196℃

樣品(pin)臺測溫誤差

±0.5℃

樣品(pin)臺升(sheng)溫速率

高(gao)溫100℃/min  低溫7℃/min

溫控儀

溫度(du)顯示(shi)

7寸人機界面

溫控類(lei)型

標準PID溫控(kong) +自整定

溫度分(fen)辨率(lv)

0.1℃

溫控精度

±0.5℃

溫度信(xin)號輸入類型

PT100 （可(ke)選K  S  B型(xing)熱電偶）

溫控輸出

直流線(xian)性電源加熱

直流線性電源加熱+液(ye)氮流速控(kong)制(zhi)器

輔助功能

溫度數據采(cai)集并導出 實時(shi)溫(wen)度(du)曲線+歷(li)史(shi)溫度曲(qu)線 可擴展真空讀數接口

溫控(kong)器尺(chi)寸

32cmX170cmX380cm

溫(wen)控器重量

約5.6KG

探針

電信(xin)號接頭

配線轉接 BNC接頭   BNC三同軸接頭  SMA 接頭 香蕉(jiao)插頭 線長1.2米

電(dian)學性能(neng)

絕(jue)緣電阻(zu) ≥4000MΩ     介質(zhi)耐(nai)壓 ≤200V    電流噪聲 ≤10pA

探針數量

4探針（可擴展(zhan)5探針）

探針材質

鍍金(jin)鎢針(zhen) （其他材質可選(xuan)）

探針尖

10μm

手動探針移動平臺

X軸移動行程

20mm    ±10mm（需手動推動滑(hua)臺(tai)）

X軸控(kong)制精度

≥500μm

R軸(zhou)移(yi)動行程

120°    ±60°（需手動(dong)旋轉探針桿(gan)）

R軸控(kong)制精度

≥500μm

Z軸移動行程

2mm    ±1mm

Z軸(zhou)控制精度

≤50μm（需手動螺紋(wen)調節(jie)探針桿）