產品中心
Product Center
產品簡介
高真(zhen)空大型探針臺，采用304不銹鋼腔體(ti)，樣品(pin)臺溫度-196℃到400℃，觀察窗尺寸(cun)直(zhi)徑70mm，
| 品牌 | 鄭科探 |
|---|
高真空大型探針臺，采用304不(bu)銹鋼腔體，樣品臺溫度(du)-196℃到400℃，觀察窗尺寸(cun)直(zhi)徑70mm，
預算及產品品質一(yi)直是(shi)困擾用戶的兩個難題。鄭科探(tan)推(tui)出的KT-Z160T-RL大(da)型探(tan)針臺(tai)具有(you)探(tan)針臂精(jing)度小于0.01mm，探(tan)針尖10μm，配(pei)有(you)電子(zi)顯微鏡放大(da)倍(bei)數19-135倍(bei)。20升液(ye)氮可連續使(shi)用30個小時。價格(ge)相對合理。
因(yin)為晶圓在低溫大(da)氣環境測(ce)(ce)試(shi)時，空(kong)氣中的水汽(qi)會凝結(jie)在晶圓上(shang)，會導(dao)致漏電(dian)過大(da)或者探針無法接觸(chu)電(dian)極而使(shi)測(ce)(ce)試(shi)失敗(bai)。避(bi)免這些需要把真空(kong)腔內的水汽(qi)在測(ce)(ce)試(shi)前(qian)用泵抽走，并(bing)且保持整個測(ce)(ce)試(shi)過程(cheng)泵的運轉(zhuan)。
高真空大型探針臺
真空腔體 | |
腔體材質(zhi) | 304不銹鋼 |
上(shang)蓋開(kai)啟 | 鉸鏈(lian)側開 |
加熱(re)臺材質 | 304不(bu)銹鋼 |
內(nei)腔(qiang)體尺寸 | φ160x90mm |
觀察(cha)窗(chuang)尺寸 | Φ70mm |
加熱臺尺寸 | φ60mm |
觀(guan)察(cha)窗熱臺間距 | 75mm |
加熱臺溫度 | ﹣196~350℃ |
加熱臺溫控誤差 | ±1℃ |
真(zhen)空(kong)度(du) | 機械泵≤10Pa 分子泵≤10-3Pa |
允許正(zheng)壓 | ≤0.1MPa |
真空抽氣口 | KF25真空(kong)法蘭 |
氣體(ti)進(jin)氣口 | 3mm-6mm卡套接頭 |
電信號接頭(tou) | SMA轉BNC X 4 |
電學性能 | 絕(jue)緣(yuan)電(dian)阻 ≥4000MΩ 介質耐壓 ≤500V |
探(tan)針數量(liang) | 4探(tan)針 |
探針材質 | 鎢針 |
探針尖 | 10μm |
探針移動(dong)平臺 | |
X軸(zhou)移動行程(cheng) | 30mm ±15mm |
X軸控制精度 | ≤0.01mm |
Y軸移動行程 | 13mm ±12.5mm |
Y軸控制精度(du) | ≤0.01mm |
Z軸移動行(xing)程 | 13mm ±12.5mm |
Z軸控(kong)制精(jing)度 | ≤0.01mm |
電子顯(xian)微鏡 | |
顯微鏡類別 | 物鏡 |
物鏡倍數(shu) | 0.7-4.5倍 |
工作間距 | 90mm |
相(xiang)機 | sony 高清(qing) |
像素 | 1920※1080像素 |
圖像接口 | VGA |
LED可調光源(yuan) | 有(you) |
顯示屏 | 8寸 |
放(fang)大倍數 | 19-135倍,視場范圍(wei)15×13-2.25×1.7mm，最小可分辨0.08mm |
當前位置：
上一個：
返回列表
