類型

加熱(re)型(xing)350℃    或(huo)者加熱(re)制冷(leng)型(xing) 室溫到350℃ 室溫到-190℃

腔體材質

304不(bu)銹鋼

腔體內尺寸

φ90x40mm

腔(qiang)體上(shang)視窗(chuang)尺(chi)寸

Φ42mm（選配凹視(shi)窗(chuang)Φ22mm）

腔體(ti)抽氣口(kou)

KF16

腔體進氣口

公制3mm 6mm氣管(guan)(guan)接頭 英制1/8mm 1/4mm 氣管(guan)(guan)接頭可選(xuan)

腔體出(chu)氣口

公(gong)制3mm 6mm氣(qi)管(guan)接(jie)頭(tou) 英制1/8mm 1/4mm 氣(qi)管(guan)接(jie)頭(tou)可選(xuan)

腔體正(zheng)壓

≤0.05MPa

腔體真空(kong)度

機械泵≤5Pa （5分(fen)鐘）  分(fen)子泵≤5E-3Pa（30分(fen)鐘）

樣品臺

樣品(pin)臺材質

304不(bu)銹鋼(gang)

樣品(pin)臺尺寸(cun)

26X26mm

樣品臺(tai)-視窗 距離

30mm（可選(xuan)凹(ao)視窗間(jian)距15mm）

樣品(pin)臺測溫傳感器

A    級PT100鉑(bo)電阻(zu)

樣品臺溫度(du)

室溫(wen)(wen)到(dao)350℃（可選(xuan)高低(di)溫(wen)(wen)樣(yang)品臺(tai) 高溫(wen)(wen)350℃低(di)溫(wen)(wen)-190℃）

樣品(pin)臺測溫(wen)誤(wu)差

±0.2℃

樣品臺變溫速率

高(gao)溫10℃/min    低溫5℃/min  最大值

溫控(kong)儀

溫度顯示

7寸人機界面(mian)

溫控類(lei)型

標準PID溫控 +自整定（可(ke)選30段(duan)編程控溫）

溫度分辨(bian)率

0.1℃

溫(wen)控精度

±0.5℃

溫(wen)度信號輸入(ru)類型

PT100熱電阻 （可選 K    S  B型熱電偶）

溫控輸(shu)出(chu)

直流(liu)線性(xing)電(dian)源加熱（液(ye)氮流(liu)量(liang)線性(xing)控制液(ye)氮制冷）

輔(fu)助功(gong)能

溫(wen)度數據采集并導出 實時溫(wen)度曲(qu)線+歷史溫(wen)度曲(qu)線

探(tan)針(zhen)

電(dian)信(xin)號接頭

配(pei)線轉接(jie)(jie)(jie) BNC接(jie)(jie)(jie)頭(tou)  BNC三(san)同軸接(jie)(jie)(jie)頭(tou) SMA 接(jie)(jie)(jie)頭(tou) 香蕉插頭(tou) 線長1.2米

電學性(xing)能

絕(jue)緣(yuan)電阻 ≥4000MΩ     介質(zhi)耐壓 ≤200V    電流噪聲 ≤10pA

探針數量(liang)

4探針（可定做(zuo)6探針）

探針材質

鍍(du)金鎢針

探針(zhen)尖

10μm

探針移動(dong)平臺

X軸移動行(xing)程

12mm    ±6mm

X軸控(kong)制(zhi)精度

≤5μm

Y軸移動(dong)行程

12mm    ±6mm

Y軸控制精度

≤5μm

Z軸移(yi)動行程

12mm    ±6mm

Z軸控制精度(du)

≤5μm

數碼(ma)顯(xian)微鏡

顯微鏡類(lei)別

物鏡放(fang)大(da)+電子(zi)放(fang)大(da)

顯微鏡放大倍數(shu)

100倍

顯(xian)微鏡工作間(jian)距

50-150mm

相機分辨率(lv)

1080P  60幀   

相(xiang)機信號輸出

HDMI輸(shu)出+USB輸(shu)出

LED可調(diao)光源

LED光源

顯示屏

5寸 屏幕一(yi)體機(ji)