類型

高溫(wen)型室溫(wen)到(dao)350℃

高低溫型 室溫到350℃   室溫到-196℃

腔體(ti)材質

304不(bu)銹鋼(gang) 6061鋁合金 可選

腔體內尺寸(cun)

127mmX57mmX20mm

腔體(ti)外尺寸

150mmX80mmX32mm

腔體重量(liang)

不銹(xiu)鋼材(cai)質(zhi) 約1.5KG     鋁(lv)合金材(cai)質(zhi) 約0.5KG

腔(qiang)體上視(shi)窗尺寸

Φ42mm（可選配凹視窗(chuang)用于減少(shao)窗(chuang)口和(he)樣品之間距離）

腔體抽氣口

KF16法蘭（其余(yu)接(jie)口規格可(ke)轉(zhuan)接(jie)）

腔體真空測量口

KF16法蘭（其余接口規格可轉接）

腔體進氣口(kou)

6mm快(kuai)(kuai)擰 或(huo) 6mm快(kuai)(kuai)插(cha)

腔體冷卻方式(shi)

腔(qiang)體水冷(leng)+上蓋氣冷(leng)

腔體水(shui)冷接口

腔體正壓

≤0.05MPa

腔體真空度

機械泵≤5Pa （5分(fen)鐘(zhong)）  分(fen)子泵≤5E-3Pa（30分(fen)鐘(zhong)）

樣品臺

樣品臺材質

不(bu)銹鋼 銀銅合金 純銀塊

銀銅(tong)合金 純銀塊(kuai)

樣品臺尺寸(cun)

26x26mm

樣品臺加(jia)熱方式(shi)

電(dian)阻加熱

電阻加熱 液氮制(zhi)冷

樣品臺(tai)-視窗 距離

11mm（可選配凹視窗用于減少窗口(kou)和(he)樣品之間(jian)距離到6mm）

樣品臺(tai)測溫傳感器

PT100型熱電阻

樣品臺溫度

室溫到400℃

室(shi)溫(wen)到(dao)400℃   室(shi)溫(wen)到(dao)-196℃

樣品臺測溫誤(wu)差(cha)

±0.5℃

樣品臺升溫速率(lv)

高溫100℃/min    低(di)溫7℃/min

溫控儀

溫度顯示

7寸人機界(jie)面

溫控(kong)類型

標(biao)準PID溫(wen)控(kong) +自整定

溫(wen)度分(fen)辨率(lv)

0.1℃

溫(wen)控精度(du)

±0.5℃

溫度信(xin)號輸入類型

PT100 （可選(xuan)K  S  B型熱電偶）

溫(wen)控輸出

直(zhi)流(liu)線性電(dian)源加熱(re)

直流(liu)線性電源加(jia)熱+液氮(dan)流(liu)速控制器

輔助(zhu)功(gong)能

溫度(du)(du)數據采集(ji)并導出 實時溫度(du)(du)曲(qu)線+歷史溫度(du)(du)曲(qu)線 可擴展(zhan)真空讀(du)數接口

溫(wen)控(kong)器尺寸

32cmX170cmX380cm

溫控器(qi)重量

約5.6KG

探針

電(dian)信號接頭

配(pei)線(xian)轉接(jie) BNC接(jie)頭   BNC三同軸接(jie)頭  SMA 接(jie)頭 香(xiang)蕉插(cha)頭 線(xian)長1.2米

電學性能

絕緣電阻 ≥4000MΩ     介質耐壓 ≤200V    電流噪聲 ≤10pA

探針數(shu)量

4探針（可擴(kuo)展5探針）

探針(zhen)材(cai)質

鍍(du)金鎢針 （其他材質可選）

探(tan)針(zhen)尖

10μm

手動(dong)探針移動(dong)平臺

X軸移動行程(cheng)

20mm    ±10mm（需(xu)手動(dong)推動(dong)滑(hua)臺）

X軸控制(zhi)精(jing)度(du)

≥500μm

R軸移動(dong)行程(cheng)

120°    ±60°（需手動旋轉(zhuan)探針桿）

R軸控(kong)制精(jing)度

≥500μm

Z軸移動行程(cheng)

2mm    ±1mm

Z軸控制(zhi)精(jing)度

≤50μm（需(xu)手動螺紋調節探針桿）