微型探針臺主要應用于傳感器 半導體探針臺主要應用于傳感器，半導體，光電，集成電路以及封裝的測試。 廣泛應用于復雜、高速器件的精密電氣測量的研發，旨在確保質量及可靠性，并縮減研發時間和器件制造工藝的成本。

    探針臺主要(yao)應用于傳感(gan)器，半導體(ti)，光電，集成電路(lu)以及封裝的測試。 廣泛應用于(yu)復雜(za)、高(gao)速器件的精密電氣(qi)測量的研發(fa)，旨(zhi)在確保質量及可(ke)靠性，并縮減(jian)研發(fa)時(shi)間和器件制造工藝的成(cheng)本。
    該探針臺(tai)的承載臺(tai)為26X26mm不銹(xiu)鋼臺面，臺面可升溫到350℃。真空(kong)(kong)腔(qiang)體(ti)設計有進(jin)氣口和抽真空(kong)(kong)接口。探針臂(bei)為(wei)X/Y/Z三軸移動，三個方向均可在真空環境下精密移位調節，其中X方向調節范圍：0-13mm,y方向調節范圍：0-13mm；z方向調節范圍：0-13mm；用(yong)戶可根據(ju)需要自行調節(jie)。使(shi)用(yong)時將需檢測的(de)器件固定在加熱臺(tai)上，再微調探針支架X/Y/Z 方向(xiang)行(xing)程，通過顯微鏡觀察，使(shi)探針(zhen)對準檢測(ce)點后(hou)，即可進(jin)行(xing)檢測(ce)

三(san)：主(zhu)要技術要求微型探針臺主要應用于傳感器 半導體

1． 類型：高溫型(xing)：室(shi)溫～350℃ 低(di)溫型 -190℃:350℃   低溫型：室溫到(dao)-190℃

2． 腔體(ti)材質：304不銹鋼

3． 腔體內尺寸：φ90x40mm

4． 腔體(ti)上(shang)視(shi)窗尺寸(cun)：Φ42mm（選(xuan)配凹視窗Φ22mm）

5． 腔體抽(chou)氣口：KF16

6． 腔(qiang)體(ti)進氣口：公制3mm 6mm氣管接頭 英制1/8mm 1/4mm 氣管接頭可選

7． 腔體出氣口：公制3mm 6mm氣管接(jie)頭(tou) 英(ying)制(zhi)1/8mm 1/4mm 氣管接頭可選

8． 腔體正壓：≤0.05MPa

9． 腔體(ti)真(zhen)空度：機械泵≤5Pa （5分鐘） 分子泵(beng)≤5E-3Pa（30分鐘）

10． 樣品臺材質：304不銹鋼

11． 樣品(pin)臺尺寸：26X26mm

12． 樣品臺-視窗 距離(li)：30mm（可選凹視窗間距15mm）

13． 樣(yang)品臺測溫傳感器：*級PT100鉑電阻

14． 樣品臺(tai)溫度：室溫到(dao)350℃（可選高低(di)溫樣品臺(tai) 高溫350℃低(di)溫-190℃）

15． 樣品臺測(ce)溫(wen)誤差(cha)：±0.2℃

16． 樣品臺變(bian)溫速率(lv)：高(gao)溫10℃/min    低(di)溫5℃/min  最大值

17． 溫度顯示：7寸人機界面

18． 溫控類型：標準PID溫控 +自整定（可(ke)選(xuan)30段編程控溫）

19． 溫度分辨率：0.1℃

20． 溫控精度：±0.5℃

21． 溫度信號輸(shu)入(ru)類型：PT100熱電阻 （可選(xuan) K  S  B型熱電偶）

22． 溫控(kong)輸出：直流線(xian)(xian)性(xing)電源(yuan)加熱(re)（液氮流量線(xian)(xian)性(xing)控(kong)制液氮制冷）

23． 輔助功(gong)能：溫度(du)數據采集并(bing)導出(chu)  實時溫度曲線+歷史溫度曲線

24． 電信號(hao)接頭：配線轉(zhuan)接 BNC接頭   BNC三同軸接頭  SMA 接頭  香蕉插頭  線長1.2米

25． 電學性能：絕緣電阻 ≥4000MΩ   介質耐壓 ≤200V  電流噪聲 ≤10pA

26． 探(tan)針數量：4探(tan)針（可(ke)定做(zuo)6探(tan)針）

27． 探針(zhen)材質(zhi)：鍍金(jin)鎢(wu)針(zhen)

28． 探針尖：10μm

29． X軸移動行程：12mm    ±6mm

30． X軸控制精度：≤5μm

31． Y軸(zhou)移動行程：12mm    ±6mm

32． Y軸(zhou)控制精(jing)度：≤5μm

33． Z軸移動(dong)行程(cheng)：12mm    ±6mm

34． Z軸(zhou)控制(zhi)精(jing)度：≤5μm

35． 顯微鏡類別：物鏡放(fang)大(da)+電子放(fang)大(da)

36． 顯微鏡放大倍數：100倍

37． 顯微鏡(jing)工作間距(ju)：50-150mm

38． 相機分(fen)辨率：1080P  60幀

39． 相機信號(hao)輸出：HDMI輸出+USB輸出

40． LED可調光(guang)源：LED光源

41． 顯示屏：5寸 屏幕(mu)一體機

四：主要配置(zhi)要求

1．1臺 · KT-0904T-RL微(wei)型探針臺一(yi)臺

2．1臺(tai) · 觸摸屏(ping)溫控(kong)箱

3.  1個· 6mm聚四氟管(guan)

4.  1根  電源線(xian)

5:  2個  6mm金(jin)屬內襯

6： 1根  觸摸屏筆(bi)

7： 4個(ge)  SMA-香蕉插(cha)頭

8： 1根  功率輸出線

9:   6米  6mm水(shui)冷管

10： 1套  K型上蓋扳手(shou)、備用螺絲，內六(liu)角

選(xuan)配: 分子泵真空機組  機械泵