桌面小型離子濺射儀，

離(li)子濺(jian)(jian)(jian)(jian)射(she)(she)(she)(she)儀為(wei)(wei)(wei)一種有著緊湊結構的桌上型鍍(du)膜(mo)(mo)系(xi)統，對于(yu)掃描(miao)電(dian)(dian)鏡(jing)成像(xiang)中非導(dao)電(dian)(dian)樣(yang)(yang)品高質(zhi)量鍍(du)膜(mo)(mo)尤為(wei)(wei)(wei)適用(yong)。試樣(yang)(yang)干燥(zao)清潔為(wei)(wei)(wei)離(li)子濺(jian)(jian)(jian)(jian)射(she)(she)(she)(she)鍍(du)膜(mo)(mo)的基本要(yao)求。在必要(yao)時，交換試樣(yang)(yang)與陰極(ji)的位(wei)置利用(yong)火花放電(dian)(dian)從而(er)對試樣(yang)(yang)表面進行清潔，之(zhi)后試樣(yang)(yang)復原(yuan)，再(zai)進行濺(jian)(jian)(jian)(jian)射(she)(she)(she)(she)鍍(du)膜(mo)(mo)。鐵、鎳、銅鉛等為(wei)(wei)(wei)離(li)子濺(jian)(jian)(jian)(jian)射(she)(she)(she)(she)儀常用(yong)的陰極(ji)材(cai)(cai)料(liao)，有時電(dian)(dian)剛金、鉑、鈀(ba)、銦和其(qi)他金屬也能(neng)夠作為(wei)(wei)(wei)陰極(ji)材(cai)(cai)料(liao)，氧氣為(wei)(wei)(wei)離(li)子濺(jian)(jian)(jian)(jian)射(she)(she)(she)(she)儀常用(yong)的反應氣體。

離子濺射儀在掃描電鏡（SEM）的樣品噴金方便為專用的儀器，樣品的導電性及導熱性可以非常有效的提供，使恒沉積速率得到確保，使等離子體對樣品的熱影響和離子轟擊損傷減少，使掃描電鏡觀測結果得到了較為顯著的提高。

桌面小型離子濺射儀技術參數；