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Product Center桌面小型(xing)蒸(zheng)(zheng)鍍(du)(du)(du)儀(yi)電阻(zu)式(shi)熱(re)蒸(zheng)(zheng)發鍍(du)(du)(du)膜機 電阻(zu)式(shi)熱(re)蒸(zheng)(zheng)發鍍(du)(du)(du)膜機是鄭州科探(tan)儀(yi)器設(she)備有限(xian)公司生產(chan),臺式(shi)設(she)計、軟件自(zi)動操(cao)控、高性(xing)價比,非常適合實驗(yan)室科研使用
品牌 | 鄭科探 | 產地類別 | 國產 |
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應用領域 | 綜合 |
桌面小型蒸鍍儀
工藝控制:PC/PLC機(ji)制的(de)自動控(kong)制、數據處理、工藝(yi)記憶(yi)儲存;
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原位監控(kong):石英晶振監測(ce)(QCM),光學監測(ce)(ce),殘余(yu)氣體(ti)分析,其(qi)他原位監測(ce)(ce)技術(shu)或控制(zhi);
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襯(chen)底(di)固(gu)定:單襯(chen)底(di)固(gu)定,客戶化襯(chen)底(di)固(gu)定方式;
- 襯底(di)夾具:加熱,冷卻,偏置(zhi),旋(xuan)轉等;
- 保護(hu)樣品(pin):配有(you)樣品(pin)擋板(ban),可手(shou)動或自動開/關擋(dang)板,達到及時遮擋(dang)樣品效(xiao)果;
不同真空度 不同鍍(du)膜時間鍍(du)銅樣品圖
原樣品沒有鍍膜 115A 100秒 機械泵
115A 100秒 分子泵抽12分鐘 115A 120秒 分(fen)子泵抽20分(fen)鐘
真空度越(yue)高 越(yue)不易氧化 越(yue)接近金(jin)屬本色
桌(zhuo)面小型(xing)蒸鍍儀KT-Z1650CVD
控(kong)制方式 | 7寸人機(ji)界面 手動 自動模式切(qie)換(huan)控制 |
加(jia)熱方式 | 數(shu)字式(shi)功率調(diao)整器 |
鍍膜(mo)功能 | 0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序 |
最大功率 | ≤1200W |
最大輸出(chu)電壓電流(liu) | 電壓≤12V 電流≤120A |
真空度 | 機械泵 ≤5Pa(5分鐘) 分子泵≤10^-3Pa |
擋(dang)板類型 | 電控 |
真空腔室 | 石英+不銹鋼腔體φ160mm x 160mm |
樣品(pin)臺 | 可旋轉φ62 (最大可安裝φ50基底) |
樣品臺轉速(su) | 8轉/分鐘 |
樣品蒸發源調節(jie)距離 | 70-140mm |
蒸發(fa)溫度調節 | ≤1800℃ |
支(zhi)持蒸(zheng)發坩堝類型(xing) | 鎢絲藍 帶坩堝鎢絲藍 鎢舟 碳繩 |
預(yu)留真(zhen)空接(jie)口 | KF25抽氣口 KF16真空計接口 KF16放氣口 6mm卡套進氣口 |
可選配擴展 | 機械真空泵(可抽真空 5分鐘<5Pa) 數顯真空計(測量范圍大氣壓到0.1Pa) 分子泵機組(可抽真空20分鐘≤5x10-3Pa) |