產品中心
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產品簡介
桌面式小型(xing)磁控(kong)濺射儀，體型(xing)小，觸摸屏控(kong)制，配有(you)電(dian)動擋板，更帶有(you)記憶儲存功能方(fang)便操作
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相關文(wen)章| 品牌 | 鄭科探 | 濺射氣體 | 氬氣 |
|---|---|---|---|
| 樣品臺尺寸 | 50mm | 樣品倉尺寸 | 160mm |
| 靶材尺寸 | 50mm | 價格區間 | 面議 |
| 產地類別 | 國產 | 應用領域 | 綜合 |
桌面式小型磁控濺射儀
KT-Z1650PVD真(zhen)空鍍膜(mo)機(ji)已通過分銷商銷往許多大學和(he)研究中(zhong)心，并得到了很(hen)好的(de)參(can)考和(he)反饋。
儀器描(miao)述：該產品為臺式磁控濺射鍍膜機，能夠在非導電或導電不良的樣品上涂布金（Au），鈀（Pd），鉑（Pt）和金/鈀（Au / Pd）的薄膜。 在較短時間內即可形成具有細粒度的均勻薄膜，使樣品適用于掃描電子顯微鏡（SEM）分析。儀器結構緊湊，全自動控制，設計符合人體工程學，所得結果一致，可重復性高。
桌面式小型磁控濺射儀技術參數；
控制(zhi)方式 | 7寸人機界(jie)面(mian) 手動 自動模式切換控制 |
濺射(she)電源 | 直流濺射電源 |
鍍(du)膜功(gong)能 | 0-999秒5段(duan)可變換(huan)功(gong)率及擋(dang)板位和(he)樣品速(su)度程序 |
功率 | ≤1000W |
輸(shu)出(chu)電壓電流(liu) | 電壓(ya)≤1000V 電流≤1A |
真空 | 機械泵(beng) ≤5Pa（5分鐘） 分子泵(beng)≤5*10^-3Pa |
濺射真空 | ≤30Pa |
擋板(ban)類(lei)型 | 電控 |
真空腔室 | 石英+不銹鋼腔體φ160mm x 170mm |
樣(yang)品臺 | 可旋(xuan)轉φ62 （可安裝(zhuang)φ50基底） |
樣品臺轉速 | 8轉/分(fen)鐘 |
樣品(pin)濺射源(yuan)調節(jie)距(ju)離(li) | 40-105mm |
真空(kong)測(ce)量 | 皮拉尼真空(kong)計（已(yi)安裝 測量(liang)范圍10E5Pa 1E-1Pa） |
預留真空(kong)接口 | KF25抽氣(qi)口 KF16放氣(qi)口 6mm卡(ka)套進氣(qi)口 |
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