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產品簡介
桌面(mian)高溫(wen)蒸鍍儀，通過加熱蒸發(fa)某(mou)種物質使其沉積在固體(ti)表面(mian)，稱為熱蒸發(fa)鍍膜，熱蒸發(fa)鍍膜技(ji)術(shu)是歷(li)史最悠久的(de)PVD鍍膜技(ji)術(shu)之一
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相關文章(zhang)| 品牌 | 鄭科探 | 產地類別 | 國產 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 綜合 |
桌面高溫蒸鍍儀，
分別用鎢坩堝和玻璃碳涂層坩堝蒸鍍金膜,采用EDS分析金膜表面黑色顆粒的主要成分.對比金膜表面黑色顆粒分布的密度;根據兩種坩堝蒸金膜時的物理學特征不同,研究黑色顆粒產生的機理,解釋碳玻璃涂層坩堝蒸金黑色顆粒較多的原因;并利用玻璃碳坩堝采取不同的工藝條件進行對比試驗,成功減少了金膜表面的黑色顆粒,為教學實驗、真空鍍膜工藝和集成電路生產領域蒸鍍高質量的金膜提供幫助.
原樣品沒有鍍膜 
115A 100秒 機械(xie)泵
115A 100秒 分子泵抽12分鐘 
115A 120秒 分子泵抽20分鐘
真(zhen)空(kong)度(du)越(yue)高 越(yue)不易氧化 越(yue)接近金(jin)屬本色(se)
桌(zhuo)面(mian)高溫蒸鍍儀KT-Z1650CVD
控制方(fang)式 | 7寸人機界(jie)面 手動 自動模式切換(huan)控制(zhi) |
加熱方(fang)式 | 數字式功(gong)率調整器 |
鍍膜(mo)功能 | 0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序 |
最大功率 | ≤1200W |
最(zui)大(da)輸(shu)出(chu)電壓電流 | 電壓≤12V 電流≤120A |
真空(kong)度 | 機械泵 ≤5Pa（5分鐘） 分子泵≤10^-3Pa |
擋板類(lei)型 | 電控(kong) |
真空腔(qiang)室 | 石英+不銹鋼腔體φ160mm x 160mm |
樣品臺(tai) | 可旋轉φ62 （最大可安裝φ50基底） |
樣(yang)品臺轉速(su) | 8轉/分鐘 |
樣(yang)品(pin)蒸發源調(diao)節距(ju)離 | 70-140mm |
蒸發溫(wen)度調節 | ≤1800℃ |
支持蒸發坩堝類型 | 鎢絲藍 帶坩堝鎢絲藍 鎢舟 碳繩 |
預留真空接口 | KF25抽氣口 KF16真空計接口 KF16放氣口 6mm卡套進氣口 |
可選配擴展 | 機械真空泵（可抽真空 5分鐘＜5Pa） 數顯真空計（測量范圍大氣壓到0.1Pa） 分子泵機組（可抽真空20分鐘≤5x10-3Pa） |
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