小型直流磁控濺射儀，

輕便、濺射面積(ji)大
靶(ba)材可按用戶要求加工制作

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離子(zi)濺(jian)(jian)射儀(yi)為(wei)(wei)一種有(you)著緊湊結構(gou)的(de)桌上型鍍膜系(xi)統，對于掃描電(dian)(dian)鏡成像中非(fei)導(dao)電(dian)(dian)樣(yang)(yang)品高質量鍍膜尤為(wei)(wei)適用(yong)。試(shi)樣(yang)(yang)干燥清(qing)潔(jie)為(wei)(wei)離子(zi)濺(jian)(jian)射鍍膜的(de)基本要求。在(zai)必要時，交換試(shi)樣(yang)(yang)與陰(yin)極的(de)位(wei)置(zhi)利用(yong)火花(hua)放電(dian)(dian)從而對試(shi)樣(yang)(yang)表面進行清(qing)潔(jie)，之后試(shi)樣(yang)(yang)復原，再進行濺(jian)(jian)射鍍膜。鐵、鎳、銅鉛(qian)等為(wei)(wei)離子(zi)濺(jian)(jian)射儀(yi)常用(yong)的(de)陰(yin)極材料(liao)(liao)，有(you)時電(dian)(dian)剛金(jin)、鉑(bo)、鈀、銦和其他金(jin)屬也能(neng)夠作為(wei)(wei)陰(yin)極材料(liao)(liao)，氧氣為(wei)(wei)離子(zi)濺(jian)(jian)射儀(yi)常用(yong)的(de)反應氣體

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小(xiao)型直流磁控濺射(she)儀技術參數；