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產品簡介
常(chang)高低三溫自動探針臺設備主要(yao)應用(yong)于傳感(gan)器，半導體，光電(dian)(dian)(dian)，集成電(dian)(dian)(dian)路以(yi)及(ji)封裝的(de)測試(shi)。 廣泛應用(yong)于復雜、高速器件的(de)精密電(dian)(dian)(dian)氣測量的(de)研(yan)發，旨在確保質量及(ji)可靠性，并(bing)縮減研(yan)發時間和器件制(zhi)造工藝的(de)成本。
| 品牌 | 鄭科探 |
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常高低三溫自動探針臺設備主要應用于傳感器，半導體，光電，集成電路以(yi)及封裝的測(ce)試。 廣泛應用于復雜、高速器件的精密電氣測(ce)量的研發，旨在(zai)確保質(zhi)量及可(ke)靠性，并縮減研發時間(jian)和器件制造工藝的成本。
常高低三溫自動探針臺設備該探針(zhen)臺(tai)的承載臺(tai)為60x60不銹鋼臺(tai)面(mian)(mian)，臺(tai)面(mian)(mian)最(zui)高(gao)可升溫(wen)到(dao)最(zui)高(gao)350℃。真(zhen)空腔(qiang)體設計有進氣口和抽真(zhen)空接口。探針(zhen)臂為X/Y/Z三軸移動，三個方(fang)向(xiang)均可在真(zhen)空環境下精密移位調(diao)節(jie)，其中X方(fang)向(xiang)調(diao)節(jie)范圍(wei)：0－30mm；y方(fang)向(xiang)調(diao)節(jie)范圍(wei)：0－20mm；z方(fang)向(xiang)調(diao)節(jie)范圍(wei)：0－20mm；用戶可根據需要自行(xing)調(diao)節(jie)。使用時將需檢測(ce)的器件固定(ding)在加熱臺(tai)上，再(zai)微(wei)調(diao)探針(zhen)支(zhi)架X/Y/Z 方(fang)向(xiang)行(xing)程，通過顯微(wei)鏡觀察，使探針(zhen)對準檢測(ce)點后，即可進行(xing)檢測(ce)
腔體材質 | 304不(bu)銹鋼 |
上蓋開啟 | 鉸(jiao)鏈側(ce)開 |
加熱(re)臺材質 | 304不銹鋼(gang) |
內(nei)腔體(ti)尺寸 | φ160x90mm |
觀察窗尺(chi)寸 | Φ70mm |
加熱臺尺寸 | φ60mm |
觀察窗熱臺(tai)間距(ju) | 75mm |
加熱(re)臺溫度 | 35-350℃ |
加熱臺溫控(kong)誤差 | ±1℃ |
真空度(du) | 機(ji)械泵≤10Pa 分子泵≤10-3Pa |
允許正(zheng)壓 | ≤0.1MPa |
真空抽氣口 | KF25真空法(fa)蘭 |
氣體進氣口 | 3mm-6mm卡(ka)套接頭 |
電(dian)信號(hao)接頭 | SMA轉BNC X 4 |
電學性能 | 絕緣(yuan)電阻 ≥4000MΩ 介(jie)質耐壓 ≤500V |
探針數量 | 4探針 |
探針(zhen)材質 | 鎢針(zhen) |
探針尖 | 10μm |
探針移動平臺(tai) | |
X軸移動行程 | 30mm ±15mm |
X軸控制精度 | ≤0.01mm |
Y軸(zhou)移動行程 | 13mm ±12.5mm |
Y軸控(kong)制精度 | ≤0.01mm |
Z軸(zhou)移動行程 | 13mm ±12.5mm |
Z軸控制精度 | ≤0.01mm |
電子顯微鏡 | |
顯微鏡類別 | 物鏡(jing) |
物鏡倍數 | 0.7-4.5倍 |
工作(zuo)間距 | 90mm |
相(xiang)機(ji) | sony 高清 |
像素(su) | 1920※1080像(xiang)素 |
圖像接(jie)口 | VGA |
LED可調光源 | 有(you) |
顯示屏 | 8寸(cun) |
放大倍數 | 19-135倍(bei),視場范(fan)圍15×13-2.25×1.7mm，最小(xiao)可分辨0.08mm |
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