類型

高溫型室溫到350℃

高低溫型 室溫(wen)到350℃  室溫到-196℃

腔體(ti)(ti)材質

304不銹鋼 6061鋁(lv)合金 可選

腔體內尺寸

127mmX57mmX20mm

腔體(ti)外(wai)尺寸

150mmX80mmX32mm

腔體重量

不銹鋼(gang)材質 約1.5KG     鋁(lv)合(he)金材(cai)質 約0.5KG

腔(qiang)體上視窗尺寸

Φ42mm（可選配凹視(shi)窗(chuang)用于減少(shao)窗(chuang)口和樣品之(zhi)間距離）

腔體抽氣口(kou)

KF16法蘭（其余接(jie)口規格可轉(zhuan)接(jie)）

腔體真空測量口

KF16法蘭(lan)（其余接(jie)口規格(ge)可轉(zhuan)接(jie)）

腔體進氣口

6mm快(kuai)擰(ning) 或 6mm快(kuai)插(cha)

腔體冷(leng)卻方(fang)式

腔體水冷+上(shang)蓋氣冷(leng)

腔體水冷接口

腔(qiang)體正壓

≤0.05MPa

腔體真空度

機(ji)械泵(beng)≤5Pa （5分鐘）  分子泵≤5E-3Pa（30分鐘）

樣(yang)品臺

樣品(pin)臺材質

不銹鋼 銀(yin)銅合金 純銀(yin)塊

銀(yin)銅合金 純銀塊

樣品臺尺寸

26x26mm

樣品臺加熱方式

電阻加熱

電阻加熱 液氮制冷

樣品臺-視窗 距離

11mm（可選配凹(ao)視窗用于減少窗口和樣品之間距(ju)離到6mm）

樣(yang)品臺測溫傳感(gan)器

PT100型(xing)熱(re)電阻

樣品臺溫(wen)度

室溫(wen)到400℃

室溫到400℃  室(shi)溫(wen)到-196℃

樣品臺測溫誤差

±0.5℃

樣品(pin)臺(tai)升溫速率(lv)

高溫100℃/min  低溫7℃/min

溫(wen)控儀(yi)

溫(wen)度顯示

7寸人機界面

溫控類型(xing)

標(biao)準PID溫控 +自整定

溫度分辨率

0.1℃

溫(wen)控(kong)精度

±0.5℃

溫度信號輸入類型

PT100 （可選K  S  B型熱電(dian)偶）

溫(wen)控輸(shu)出

直流線性電源(yuan)加(jia)熱

直流線性(xing)電源加熱+液(ye)氮流速控(kong)制器

輔助功能

溫(wen)度數(shu)據采集并(bing)導(dao)出 實時(shi)溫度曲(qu)線+歷(li)史(shi)溫度曲線(xian) 可(ke)擴展(zhan)真空讀(du)數接口(kou)

溫控器尺寸

32cmX170cmX380cm

溫控(kong)器重量(liang)

約5.6KG

探針

電信號接頭(tou)

配線(xian)轉接 BNC接頭   BNC三同軸接頭  SMA 接頭 香蕉插頭 線長1.2米

電學性能

絕緣電阻(zu) ≥4000MΩ     介(jie)質(zhi)耐壓 ≤200V    電流噪聲 ≤10pA

探針(zhen)數量

4探(tan)針（可擴展5探針）

探針材(cai)質

鍍金鎢針 （其他材質(zhi)可選）

探針尖

10μm

手動(dong)探針(zhen)移動(dong)平(ping)臺

X軸移動行(xing)程

20mm    ±10mm（需手動(dong)(dong)推動(dong)(dong)滑臺）

X軸控制精(jing)度

≥500μm

R軸移動行(xing)程

120°    ±60°（需手(shou)動旋轉探針桿）

R軸控制精度

≥500μm

Z軸移(yi)動行程

2mm    ±1mm

Z軸控制精(jing)度

≤50μm（需(xu)手動(dong)螺紋調節探針(zhen)桿）