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真空(kong)腔(qiang)體氣體傳(chuan)感(gan)器(qi) 加(jia)熱主要用于氣體敏感(gan)材料或其他(ta)對環(huan)境敏感(gan)性材料中的電化學信號測試。測試腔(qiang)體可擴(kuo)展模塊較多，該腔(qiang)體設(she)計(ji)有進氣口和抽真空(kong)接(jie)口和4-8芯信號真空(kong)電極及真空(kong)計(ji)接(jie)口，腔(qiang)體上部安裝有φ80石英觀察片方便觀察樣品和光學用途。

真空(kong)(kong)環境測(ce)試真空(kong)(kong)加熱腔(qiang)(qiang)主要用于氣(qi)體(ti)敏感(gan)(gan)材(cai)料(liao)或其(qi)他對環境敏感(gan)(gan)性材(cai)料(liao)中(zhong)的電化學信號測(ce)試。測(ce)試腔(qiang)(qiang)體(ti)可擴展模塊(kuai)較多，該腔(qiang)(qiang)體(ti)設計有進氣(qi)口(kou)和抽(chou)真空(kong)(kong)接(jie)口(kou)和4-8芯信號真空(kong)(kong)電極及(ji)真空(kong)(kong)計接(jie)口(kou)，腔(qiang)(qiang)體(ti)上部安裝有φ80石英觀察(cha)片方便觀察(cha)樣品和光學用途。

不銹(xiu)鋼(gang)加熱真(zhen)空腔體(ti)主要用(yong)于(yu)氣體(ti)敏感材料或其(qi)他對環境敏感性材料中的電信號測試。測試腔體(ti)內(nei)部裝有不銹(xiu)鋼(gang)加熱承(cheng)載臺，臺面(mian)為50x50mm，臺面(mian)可升溫到350℃。

方型真(zhen)空(kong)加熱(re)腔主要用于(yu)氣體(ti)敏感材(cai)料或(huo)其他(ta)對(dui)環境敏感性材(cai)料中的電(dian)信號測(ce)試(shi)(shi)。測(ce)試(shi)(shi)腔體(ti)內部裝有不銹(xiu)鋼加熱(re)承載臺，臺面為(wei)φ100mm，臺面可(ke)升溫到(dao)350℃。該腔體(ti)設計有進氣口和抽真(zhen)空(kong)接口和2-4芯信號真(zhen)空(kong)電(dian)極(ji)，多可(ke)選(xuan)用6芯電(dian)極(ji)。使用時將需檢測(ce)的器(qi)件(jian)固定在(zai)加熱(re)臺上，由內部探針行將樣品電(dian)極(ji)引入腔體(ti)的信號線(xian)連接到(dao)外部測(ce)試(shi)(shi)儀器(qi)，外部信號線(xian)連接測(ce)試(shi)(shi)儀器(qi)來(lai)測(ce)試(shi)(shi)電(dian)子信號。

氣敏材料(liao)測(ce)試(shi)真空加熱腔體(ti)主要應用(yong)于半導體(ti)行(xing)業、光電行(xing)業、集成電路(lu)以及(ji)封裝的(de)(de)測(ce)試(shi)。廣泛應用(yong)于復雜(za)、高速(su)器件的(de)(de)精(jing)密電氣測(ce)量的(de)(de)研(yan)發，旨在確保質量及(ji)可靠性，并縮減研(yan)發時間和器件制造(zao)工藝的(de)(de)成本(ben)