1. 自我診斷技術

　　自我診斷技術是在不停機或(huo)基(ji)本不拆機的情況下，通過各種檢測(ce)分析來(lai)判斷設備狀態是否(fou)正(zheng)常(chang)，異常(chang)或(huo)故障的原(yuan)因、部位、程(cheng)度以及(ji)壽(shou)命的預測(ce)。

　　自我診斷技(ji)術的(de)(de)主(zhu)要作用是(shi)獲得(de)設備(bei)的(de)(de)結果狀(zhuang)態(tai)信(xin)(xin)(xin)息(xi)，即根據設備(bei)在各種(zhong)工(gong)況下，表(biao)現(xian)出(chu)來的(de)(de)精(jing)度超差，零(ling)點漂移，內漏等所有狀(zhuang)態(tai)信(xin)(xin)(xin)息(xi)的(de)(de)綜(zong)合分(fen)析來識(shi)(shi)別(bie)產品的(de)(de)狀(zhuang)態(tai)、異(yi)(yi)常(chang)類型和(he)(he)異(yi)(yi)常(chang)的(de)(de)嚴重程(cheng)度，其本質是(shi)一(yi)個(ge)包含信(xin)(xin)(xin)號采集、信(xin)(xin)(xin)息(xi)提取(qu)、信(xin)(xin)(xin)息(xi)綜(zong)合、故障識(shi)(shi)別(bie)和(he)(he)信(xin)(xin)(xin)息(xi)利用的(de)(de)過程(cheng)。自我診斷的(de)(de)目標是(shi)確保產品在功(gong)能、精(jing)度、效(xiao)率和(he)(he)可靠性方面均能穩定(ding)運行

2. 自我診斷技術在氣體質量流量控制器中的應用

　　半導體設備對(dui)(dui)氣(qi)體質(zhi)量(liang)流(liu)(liu)量(liang)控制(zhi)器的要求重(zhong)要的一(yi)點就是高精(jing)度(du)(du)(du)，傳統的氣(qi)體質(zhi)量(liang)流(liu)(liu)量(liang)控制(zhi)器在使用一(yi)段時(shi)間后，由于環境溫度(du)(du)(du)、氣(qi)體污染等原因，有可能(neng)出現精(jing)度(du)(du)(du)超差的現象(xiang)，但由于檢測條件的限(xian)制(zhi)，用戶無(wu)法(fa)對(dui)(dui)氣(qi)體質(zhi)量(liang)流(liu)(liu)量(liang)控制(zhi)器的精(jing)度(du)(du)(du)進行(xing)檢驗。因此需要研究一(yi)種自我診斷技術，通過(guo)該技術，用戶可以隨時(shi)對(dui)(dui)氣(qi)體質(zhi)量(liang)流(liu)(liu)量(liang)控制(zhi)器的精(jing)度(du)(du)(du)進行(xing)檢驗。

　　增加氣(qi)(qi)體(ti)質(zhi)量流(liu)量控制器的自我診(zhen)斷功能，需要通過初(chu)級流(liu)量測量原理獲得流(liu)量。若Qm為氣(qi)(qi)體(ti)的質(zhi)量流(liu)量，可(ke)以根(gen)據(ju)壓力(li)、溫度與氣(qi)(qi)體(ti)流(liu)量變化(hua)方程建立壓力(li)隨時間(jian)的變化(hua)曲線,如圖2所示(shi)：

　通過(guo)(guo)該圖可(ke)以建立氣體質(zhi)(zhi)量(liang)(liang)流量(liang)(liang)控制(zhi)器的(de)(de)(de)精度對應表，進(jin)行(xing)自我診(zhen)斷過(guo)(guo)程中，與該表格信(xin)息(xi)進(jin)行(xing)對比，可(ke)通過(guo)(guo)兩條曲線的(de)(de)(de)相似度判定，系統(tong)的(de)(de)(de)精度是否(fou)在要(yao)求范圍內。自我診(zhen)斷技(ji)術大(da)大(da)提(ti)高了氣體質(zhi)(zhi)量(liang)(liang)流量(liang)(liang)控制(zhi)系統(tong)的(de)(de)(de)可(ke)靠性(xing)，完善了系統(tong)功(gong)能。

3 自我診斷技術優勢

　　采(cai)用自(zi)我診斷技術(shu)的(de)(de)(de)智(zhi)能(neng)分析，質量(liang)流量(liang)控制器能(neng)夠做出智(zhi)能(neng)化的(de)(de)(de)檢(jian)測，對(dui)該設備可(ke)能(neng)出現(xian)的(de)(de)(de)故障進行(xing)預測，在(zai)預測的(de)(de)(de)基礎(chu)之上，自(zi)動予以消除或者做出報警反映，這一過程對(dui)于產(chan)品本身使(shi)用中的(de)(de)(de)維(wei)(wei)(wei)護而言，能(neng)夠取得(de)更(geng)好(hao)的(de)(de)(de)經濟效益，不但工作(zuo)人員(yuan)(yuan)的(de)(de)(de)工作(zuo)量(liang)可(ke)以得(de)到有(you)(you)效的(de)(de)(de)降低(di)，自(zi)診結果也能(neng)夠得(de)到很全面(mian)地提供，維(wei)(wei)(wei)護人員(yuan)(yuan)還可(ke)以對(dui)應的(de)(de)(de)進行(xing)更(geng)加(jia)完善、有(you)(you)效的(de)(de)(de)維(wei)(wei)(wei)護方案制定，維(wei)(wei)(wei)修保養地開(kai)展(zhan)和(he)實(shi)施就(jiu)會更(geng)加(jia)的(de)(de)(de)理