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氣(qi)敏材料(liao)真空(kong)探針臺主要(yao)應用于(yu)半導體(ti)行業(ye)、光電行業(ye)、集成電路(lu)以及(ji)封裝的(de)測試。廣泛(fan)應用于(yu)復雜、高(gao)速(su)器件的(de)精密(mi)電氣(qi)測量的(de)研(yan)發，旨在確(que)保(bao)質(zhi)量及(ji)可(ke)靠性，并縮減研(yan)發時間和(he)器件制造工藝的(de)成本(ben)

真(zhen)空手(shou)(shou)動多功能(neng)微(wei)型探(tan)針(zhen)臺腔體設計有進氣口和抽真(zhen)空接口其真(zhen)空度(du)用(yong)機械泵(beng)可達＜5Pa分子(zi)泵(beng)可達＜-3Pa。真(zhen)空信(xin)號連(lian)接處使用(yong)高級真(zhen)空電極信(xin)號接頭(tou)，保(bao)證氣密(mi)性及抗干(gan)擾性能(neng)。使用(yong)時將(jiang)需將(jiang)待檢(jian)測的器件(jian)方在加(jia)熱臺面，探(tan)針(zhen)尖處由3軸(zhou)可移動探(tan)針(zhen)手(shou)(shou)動調節(jie)移動至被(bei)測試(shi)器件(jian)的引腳處，外部信(xin)號線連(lian)接測試(shi)儀器來(lai)測試(shi)電學(xue)信(xin)號

多功能手動探針臺(tai)(tai)精巧型真空腔(qiang)體(ti)(ti)測(ce)試(shi)腔(qiang)主要用(yong)于氣體(ti)(ti)敏(min)感材料或其(qi)他對環境敏(min)感性材料中的電(dian)信號測(ce)試(shi)。測(ce)試(shi)腔(qiang)體(ti)(ti)內部裝有(you)不銹鋼(gang)加熱(re)承載(zai)臺(tai)(tai)，臺(tai)(tai)面(mian)為φ30，臺(tai)(tai)面(mian)高可升溫到高400℃。臺(tai)(tai)面(mian)四周裝有(you)微型3軸可移動鎢鋼(gang)探針，特別適合微小未封裝的叉指電(dian)極(ji)等(deng)傳感器測(ce)試(shi)。

高精度(du)控制(zhi)(zhi)測試(shi)真空探針臺半導(dao)體(ti)制(zhi)(zhi)冷器具有無噪聲、無振動、不需制(zhi)(zhi)冷劑、體(ti)積小、重量輕等特點，且工(gong)(gong)作可靠，操作簡(jian)便，易于進(jin)行冷量調節。但它(ta)的(de)(de)制(zhi)(zhi)冷系數(shu)較小，電(dian)耗量相(xiang)對較大，故它(ta)主要用(yong)于耗冷量小和占地(di)空間小的(de)(de)場(chang)合，如電(dian)子設備(bei)和無線電(dian)通(tong)信設備(bei)中某些元(yuan)件的(de)(de)冷卻(que)；有的(de)(de)也(ye)用(yong)于家(jia)用(yong)冰箱，但不經濟。 半導(dao)體(ti)制(zhi)(zhi)冷片是一個熱傳遞的(de)(de)工(gong)(gong)具。

真空手動腔(qiang)(qiang)體(ti)(ti)(ti)電(dian)學測(ce)(ce)(ce)試探針臺(tai)經濟型真空腔(qiang)(qiang)體(ti)(ti)(ti)電(dian)學測(ce)(ce)(ce)試探針臺(tai)主要(yao)用(yong)于(yu)氣(qi)體(ti)(ti)(ti)敏感材(cai)料或其他對(dui)環境敏感性材(cai)料中的電(dian)信號測(ce)(ce)(ce)試。測(ce)(ce)(ce)試腔(qiang)(qiang)體(ti)(ti)(ti)內部(bu)裝有不銹鋼加熱承載臺(tai)，臺(tai)面為50x50mm，臺(tai)面可升溫到350℃。