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產品簡介
KT-1650PVD小型濺射儀(yi) 是一(yi)款小型臺式濺射功率(lv)可(ke)控磁控濺射儀(yi)，儀(yi)器雖小功能(neng)(neng)齊全(quan)，配備有電(dian)壓 電(dian)流反(fan)饋(kui),樣品臺旋轉，樣品高度調(diao)節(jie)，及電(dian)動擋板功能(neng)(neng)。通(tong)過(guo)定時(shi)調(diao)節(jie)預濺射功率(lv)及薄膜沉(chen)積功率(lv)，可(ke)對大部分金(jin)屬(shu)(shu)進行(xing)均勻物理(li)沉(chen)積，真空腔室為透明石英(ying)玻璃減少樣品污染(ran)，樣品臺可(ke)旋轉以獲得(de)更均勻的薄膜，可(ke)制(zhi)備各(ge)種金(jin)屬(shu)(shu)薄膜。
| 品牌 | 鄭科探 | 應用領域 | 電子 |
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KT-1650PVD小型濺射儀 是一款小型臺(tai)式濺(jian)射(she)功(gong)(gong)(gong)率可控磁(ci)控濺(jian)射(she)儀，儀器雖(sui)小功(gong)(gong)(gong)能(neng)齊全，配備(bei)(bei)有電(dian)壓 電(dian)流反饋,樣(yang)品臺(tai)旋(xuan)轉，樣(yang)品高(gao)度調節，及電(dian)動(dong)擋板功(gong)(gong)(gong)能(neng)。通過定(ding)時調節預濺(jian)射(she)功(gong)(gong)(gong)率及薄(bo)膜沉積功(gong)(gong)(gong)率，可對大部分金屬(shu)進行均(jun)勻物理沉積，真空(kong)腔室為(wei)透明石(shi)英玻(bo)璃減少樣(yang)品污(wu)染，樣(yang)品臺(tai)可旋(xuan)轉以獲(huo)得更均(jun)勻的薄(bo)膜，可制(zhi)備(bei)(bei)各種金屬(shu)薄(bo)膜。
KT-1650PVD小型濺射儀技術參數
控制方式(shi) | 7寸人(ren)機界面 手動 自動模式切換控制 |
濺射電源 | 直流濺射電源 |
鍍膜功能 | 0-999秒5段可變換功率及(ji)擋板位(wei)和樣品(pin)速度程序 |
功率 | ≤1000W |
輸出電壓電流 | 電壓≤1000V 電流≤1A |
真空 | 機械泵 ≤5Pa（5分鐘） 分子泵≤5*10^-3Pa |
濺射真空 | ≤30Pa |
擋板類型 | 電控 |
真(zhen)空腔室 | 石英+不銹鋼腔體φ160mm x 170mm |
樣品臺(tai) | 可旋轉(zhuan)φ62 （可安(an)裝φ50基底） |
樣(yang)品(pin)臺轉(zhuan)速 | 8轉/分(fen)鐘 |
樣品濺(jian)射源調節距離 | 40-105mm |
真空測(ce)量(liang) | 皮拉尼真空計（已安裝 測量范圍10E5Pa 1E-1Pa） |
預留真空(kong)接口 | KF25抽(chou)氣口 KF16放(fang)氣口 6mm卡套進氣口 |
公司與(yu)國內高校，科研(yan)院所有多層次的(de)(de)合(he)作關(guan)系，建有開放實驗(yan)室，相關(guan)領域(yu)的(de)(de)教授、工程師、博士參與(yu)公司產品的(de)(de)研(yan)究(jiu)和開發(fa)。我們(men)秉(bing)承(cheng)公司的(de)(de)發(fa)展(zhan)理念，依(yi)靠嚴(yan)謹的(de)(de)技術研(yan)發(fa)能力，科學合(he)理的(de)(de)生產工藝(yi)，精(jing)益求精(jing)的(de)(de)制造要求，全心(xin)全意做(zuo)好產品質量和服務工作，科探儀器(qi)時刻(ke)懷著一顆真誠的(de)(de)心(xin)期待與(yu)您的(de)(de)合(he)作。
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