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產品簡介
小(xiao)型離子濺射儀KT-Z1650PVD是一(yi)款小(xiao)型臺(tai)式濺射功(gong)率(lv)可控磁(ci)控濺射儀，儀器雖小(xiao)功(gong)能(neng)(neng)齊全，配備有電壓(ya) 電流反饋,樣(yang)品臺(tai)旋轉，樣(yang)品高度調節，及電動擋(dang)板功(gong)能(neng)(neng)。
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相關文章(zhang)| 品牌 | 鄭科探 | 應用領域 | 電子 |
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鄭科探小型離子濺射儀KT-Z1650PVD是一款小型臺式濺射功率(lv)可控(kong)磁控(kong)濺射儀，儀器(qi)雖小功能齊全(quan)，配備有電(dian)壓 電(dian)流(liu)反饋(kui),樣(yang)(yang)品臺旋轉，樣(yang)(yang)品高度調節，及(ji)電(dian)動擋板功能。
小型離子濺射儀通(tong)過定時(shi)調節預(yu)濺射功率及薄(bo)(bo)(bo)膜沉(chen)積功率，可(ke)對大部分金屬(shu)進行均勻(yun)物(wu)理沉(chen)積，真空腔室(shi)為(wei)透明(ming)石英玻璃減少樣品(pin)污染，樣品(pin)臺可(ke)旋轉以獲得更均勻(yun)的薄(bo)(bo)(bo)膜，可(ke)制(zhi)備各(ge)種(zhong)金屬(shu)薄(bo)(bo)(bo)膜。
控制方式 | 7寸人(ren)機界面 手動 自動模式(shi)切換控制 |
濺(jian)射電源 | 直流(liu)濺射電源 |
鍍膜功能 | 0-999秒5段(duan)可變換功率及擋板位和樣品(pin)速度程序 |
最大功率 | ≤1000W |
最大輸出電(dian)壓(ya)電(dian)流 | 電壓(ya)≤1000V 電流≤1A |
極限真空 | 機(ji)械泵 ≤5Pa（5分鐘） 分子(zi)泵≤5*10^-3Pa |
濺射真空 | ≤10Pa |
擋(dang)板類(lei)型(xing) | 電(dian)控 |
真空腔室 | 石(shi)英+不銹鋼(gang)腔(qiang)體φ160mm x 170mm |
樣(yang)品臺(tai) | 可旋(xuan)轉φ62 （最大可安裝φ50基底） |
樣品臺轉速(su) | 8轉(zhuan)/分(fen)鐘 |
樣品濺射源調節距離 | 40-105mm |
真空測量(liang) | 皮拉(la)尼(ni)真空計（已安裝 測量范圍10E5Pa 1E-1Pa） |
預留真空接口(kou) | KF25抽氣口 KF16放氣口(kou) 6mm卡(ka)套進氣口(kou) |
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