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當前位置:首頁產品中心材料樣品處理小型濺射儀KT-1650PVD鄭(zheng)科探(tan) 實驗室小型(xing)濺射儀

鄭科探 實驗室小型濺射儀

產品簡介

KT-Z1650PVD是一款鄭科(ke)探 實驗室小型(xing)濺射(she)儀功(gong)率(lv)可(ke)控(kong)磁控(kong)濺射(she)儀,儀器雖(sui)小功(gong)能齊(qi)全,配(pei)備(bei)有(you)電壓(ya) 電流反饋,樣(yang)品(pin)臺旋轉,樣(yang)品(pin)高(gao)度調節,及電動擋(dang)板功(gong)能。通(tong)過定時調節預濺射(she)功(gong)率(lv)及薄(bo)(bo)膜(mo)沉(chen)積(ji)(ji)功(gong)率(lv),可(ke)對大部分(fen)金屬(shu)進行(xing)均(jun)勻物(wu)理沉(chen)積(ji)(ji),真空腔室為透明石英玻璃減少樣(yang)品(pin)污染,樣(yang)品(pin)臺可(ke)旋轉以獲得(de)更均(jun)勻的薄(bo)(bo)膜(mo),可(ke)制(zhi)備(bei)各種金屬(shu)薄(bo)(bo)膜(mo)。

產品型號:KT-1650PVD
更新時間:2024-03-27
廠商性質:生產廠家
訪問量:1102
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品牌鄭科探應用領域電子

KT-Z1650PVD是一款鄭科探 實驗室小型濺射儀功(gong)率可控(kong)(kong)磁控(kong)(kong)濺射儀(yi),儀(yi)器雖小功(gong)能(neng)齊全(quan),配備(bei)有電(dian)壓 電(dian)流反饋,樣品(pin)臺(tai)(tai)旋(xuan)轉,樣品(pin)高度調(diao)節(jie)(jie),及電(dian)動擋(dang)板功(gong)能(neng)。通過定(ding)時調(diao)節(jie)(jie)預(yu)濺射功(gong)率及薄(bo)膜(mo)沉(chen)(chen)積(ji)功(gong)率,可對大(da)部分(fen)金(jin)屬進行均(jun)勻(yun)(yun)物理沉(chen)(chen)積(ji),真空(kong)腔室為透(tou)明石英玻璃減少樣品(pin)污染(ran),樣品(pin)臺(tai)(tai)可旋(xuan)轉以獲得更均(jun)勻(yun)(yun)的薄(bo)膜(mo),可制備(bei)各(ge)種金(jin)屬薄(bo)膜(mo)。

鄭科探(tan) 實驗室(shi)小型濺射儀詳細介紹(shao);

控制方(fang)式(shi)

7寸(cun)人機界面 手(shou)動 自動模式切換(huan)控(kong)制

濺射(she)電源

直(zhi)流濺射(she)電源

鍍膜功能(neng)

0-999秒5段可(ke)變換功率及擋板位和(he)樣品速度程(cheng)序

功(gong)率

≤1000W

輸出電(dian)壓電(dian)流

電(dian)壓≤1000V  電(dian)流≤1A

極限真(zhen)空(kong)

機械泵 ≤5Pa(5分鐘)   分子泵≤5*10^-3Pa

濺射(she)真空

≤30Pa

擋板(ban)類型

電控

真空(kong)腔室

石英+不銹鋼腔體(ti)φ160mm x 170mm

樣(yang)品臺

可旋轉(zhuan)φ62  (可安裝φ50基底)

樣品臺轉速

8轉/分(fen)鐘

樣品濺(jian)射源調節距離(li)

40-105mm

真空(kong)測量(liang)

皮拉尼真空計(已安(an)裝 測量范圍(wei)10E5Pa  1E-1Pa)

預留(liu)真空接口

KF25抽(chou)氣(qi)口  ;  KF16放氣(qi)口   6mm卡套(tao)進(jin)氣(qi)口



















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