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產品簡介
小型離子濺射(she)(she)儀 鄭州 科探KT-Z1650PVD在(zai)磁(ci)控濺射(she)(she)中，由于(yu)運(yun)動(dong)電子在(zai)磁(ci)場中受到洛侖茲(zi)力，它(ta)們的(de)運(yun)動(dong)軌跡會發生彎曲甚(shen)至產生螺旋運(yun)動(dong)，其運(yun)動(dong)路(lu)徑變長，因而增(zeng)加了與工(gong)作(zuo)(zuo)氣體分子碰(peng)撞的(de)次數(shu)，使等離子體密(mi)度(du)增(zeng)大，從而磁(ci)控濺射(she)(she)速率得到很大的(de)提高，而且可以(yi)在(zai)較低的(de)濺射(she)(she)電壓(ya)和(he)氣壓(ya)下工(gong)作(zuo)(zuo)。
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相關(guan)文章| 品牌 | 鄭科探 | 濺射氣體 | 根據需求氣體 |
|---|---|---|---|
| 樣品臺尺寸 | φ50mm | 控制方式 | 觸摸屏智能控制 |
| 樣品倉尺寸 | φ160x160mm | 靶材尺寸 | 50mm |
| 靶材材質 | 金 鉑 銅 銀 | 價格區間 | 1-5萬 |
| 產地類別 | 國產 | 應用領域 | 化工,電子 |
小型離子濺射儀 鄭州 科探KT-Z1650PVD
離子濺射儀(yi)功能：
一個更加廣泛的選擇由于全自動直流離子濺射儀在制樣過程中被提供給了掃描電鏡用戶，從而為掃描電子顯微鏡所需的涂層要求的適用提供了支持。在結構設計及人機界面方面簡單智能，對人性更加的注重。一個低成本的解決方案由于離子濺射儀對SEM樣品常規適用黃金濺射被提供了，與此同時能夠利用對金、鉑、銥、銀、銅等不同的靶材的更換來使得更細顆粒的涂層達到。與此同時，利用智能的人機界面對儀器的控制更加的方便、簡單以及精確，與此同時，能夠對鍍層厚度進行估算，對真空實時顯，濺射電流對濺射時間進行設定，對靶材的剩余情況進行計算。
離子濺射儀在掃描電鏡（SEM）的樣品噴金方便為專用的儀器，樣品的導電性及導熱性可以非常有效的提供，使恒沉積速率得到確保，使等離子體對樣品的熱影響和離子轟擊損傷減少，使掃描電鏡觀測結果得到了較為顯著的提高。
產品特點(dian)：
• 彩色觸摸屏：數據輸入簡單快速
• 通過觸摸(mo)屏中直觀檢測(ce)數據和曲線；歷史頁面可(ke)顯示歷史涂層信息。
• 可控鍍膜速率，可得(de)到更(geng)精(jing)細的晶粒結構
• 可手動或(huo)(huo)自動，根據時間或(huo)(huo)根據厚(hou)度進行濺射
• 樣(yang)品(pin)臺(tai)(tai)更(geng)換簡(jian)單：標準旋轉(zhuan)樣(yang)品(pin)臺(tai)(tai)或選用(yong)行星式旋轉(zhuan)樣(yang)品(pin)臺(tai)(tai)。標準樣(yang)品(pin)臺(tai)(tai)高度(du)可(ke)調、可(ke)傾斜、可(ke)旋轉(zhuan)；行星式旋轉(zhuan)樣(yang)品(pin)臺(tai)(tai)為多孔樣(yang)品(pin)帶(dai)來好(hao)的噴金效果。
小型離子濺射儀 鄭州 科探KT-Z1650PVD廠家供應技術參數；
控制方式 | 7寸(cun)人機(ji)界面 手動(dong) 自動(dong)模(mo)式切換控制 |
濺射(she)電源(yuan) | 直流濺射電源 |
鍍(du)膜功能 | 0-999秒5段可(ke)變換(huan)功率(lv)及擋板位和(he)樣品速(su)度程序 |
功率 | ≤1000W |
輸出電(dian)(dian)壓電(dian)(dian)流 | 電(dian)壓≤1000V 電(dian)流≤1A |
真(zhen)空(kong) | 機(ji)械泵 ≤5Pa（5分鐘） 分子泵≤5*10^-3Pa |
濺射真空 | ≤30Pa |
擋板類型 | 電控(kong) |
真空腔室 | 石(shi)英+不銹(xiu)鋼腔(qiang)體φ160mm x 170mm |
樣品臺 | 可旋轉φ62 （可安裝(zhuang)φ50基底(di)） |
樣品臺轉速 | 8轉/分(fen)鐘 |
樣(yang)品濺射源調節距離 | 40-105mm |
真空測量(liang) | 皮(pi)拉尼(ni)真(zhen)空計（已安裝 測(ce)量范圍10E5Pa 1E-1Pa） |
預留真空接口 | KF25抽氣(qi)口(kou)(kou) KF16放氣(qi)口(kou)(kou) 6mm卡套(tao)進氣(qi)口(kou)(kou) |
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