小型離子濺射儀鍍膜儀  

離子濺(jian)射儀在掃描電(dian)鏡中(zhong)應用十分廣泛，通過向樣(yang)(yang)(yang)品(pin)表(biao)面(mian)噴鍍金、鉑、鈀及混(hun)合靶(ba)材等金屬消(xiao)除不導電(dian)樣(yang)(yang)(yang)品(pin)的荷電(dian)現象，并提高觀測(ce)效率，另外可以使用噴碳(tan)附件對樣(yang)(yang)(yang)品(pin)進行蒸(zheng)碳(tan)，實(shi)現不導電(dian)樣(yang)(yang)(yang)品(pin)的能譜儀元(yuan)素定(ding)性和半定(ding)量分析。

在(zai)磁控濺(jian)射中，由于運動電子在(zai)磁場中受到洛侖茲力，它們的運動軌(gui)跡(ji)會(hui)發(fa)生彎曲甚至產
生螺(luo)旋運(yun)動(dong)，其運(yun)動(dong)路(lu)徑變(bian)長(chang)，因而(er)(er)(er)增加了與工(gong)作氣(qi)體(ti)(ti)分(fen)子(zi)碰(peng)撞(zhuang)的(de)(de)次(ci)數(shu)，使等離子(zi)體(ti)(ti)密度增大，從(cong)而(er)(er)(er)磁控濺射速(su)率得到(dao)很(hen)大的(de)(de)提高，而(er)(er)(er)且可以在較(jiao)低的(de)(de)濺射電壓和氣(qi)壓下(xia)工(gong)作。同(tong)時，經過(guo)多次(ci)碰(peng)撞(zhuang)而(er)(er)(er)喪失能量的(de)(de)電子(zi)到(dao)達陽極時，已變(bian)成低能電子(zi)，從(cong)而(er)(er)(er)不(bu)會使基片過(guo)熱。

銀靶材離子濺射儀KT-Z1650PVD鍍膜客戶反饋圖：

小型離子濺射儀鍍膜儀KT-Z1650PVD廠家供應技術參數；