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產品簡介
微型高溫(wen)探針臺KT-Z400MR4T，0-400℃溫(wen)控，主要用于介電(dian)(dian)(dian)、壓電(dian)(dian)(dian)、鐵電(dian)(dian)(dian)、熱釋電(dian)(dian)(dian)、光電(dian)(dian)(dian)等材(cai)料的電(dian)(dian)(dian)學(xue)性能表征和(he)測(ce)量。
| 品牌 | 鄭科探 |
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微型高溫探針臺KT-Z400MR4T
系(xi)列微型真空探針臺是一款(kuan)專門用于(yu)材(cai)料電(dian)學表征和測(ce)量的微型桌面型電(dian)學測(ce)量臺，主要用于(yu)介電(dian)、壓電(dian)、鐵電(dian)、熱釋(shi)電(dian)、光電(dian)等材(cai)料的電(dian)學性能(neng)表征和測(ce) 量，還可以在真(zhen)空、氣氛環(huan)境下對材(cai)料進行電學(xue)(xue)測量評估(gu)，是實驗(yan)室測量薄膜材(cai)料電學(xue)(xue)性(xing)能工(gong)具(ju)，廣泛用于(yu)高校、科研、航(hang)天航(hang)空、軍工(gong)院所等領域。
主(zhu)要應(ying)用(yong)于半導體行業(ye)、光(guang)電行業(ye)、集成電路(lu)以及封裝的測試。探(tan)針(zhen)臺(tai)從操作上來區分有(you)：手動(dong)，半自動(dong)，全(quan)自動(dong)從功能上來區分有(you)：溫(wen)控探(tan)針(zhen)臺(tai)，真空探(tan)針(zhen)臺(tai)(低(di)溫(wen)探(tan)針臺)，RF探針(zhen)臺，LCD平板探(tan)針(zhen)(zhen)臺(tai)，霍爾(er)效(xiao)應探(tan)針(zhen)(zhen)臺(tai)，表面電阻(zu)率探(tan)針(zhen)(zhen)臺(tai)。普遍應用于復雜(za)、高速器件(jian)的(de)(de)精密電氣測(ce)量(liang)的(de)(de)研發，旨在確保(bao)質量(liang)及(ji)可(ke)靠性，并縮減研發時間和器件(jian)制造工(gong)藝的(de)(de)成本。自(zi)動探(tan)針(zhen)(zhen)測(ce)試臺(tai)在功能及(ji)組成上(shang)大同小異，即主要由x-y向(xiang)工作臺，可編程承(cheng)片臺、探卡/探卡支架、打點(dian)器、探邊器、操作手柄等組成(cheng)
為了減(jian)少泵組的振動，我們還專門為用戶設計了隔振器，很大程度地衰減泵組工作時產生的(de)(de)振動，以確保系統(tong)的(de)(de)穩定，減少探針的(de)(de)漂移(yi)。
微型高溫探針臺KT-Z400MR4T參數
真空(kong)腔體(ti) | ||
類型 | 高溫(wen)型室溫(wen)到350℃ | 高低溫型 室溫到(dao)350℃ 室溫到(dao)-196℃ |
腔體材質 | 304不銹鋼(gang) 6061鋁合金 可選(xuan) | |
腔體內尺寸 | 127mmX57mmX20mm | |
腔體外尺寸(cun) | 150mmX80mmX32mm | |
腔體(ti)重量 | 不(bu)銹鋼材質 約1.5KG 鋁(lv)合金材質 約0.5KG | |
腔(qiang)體上視(shi)窗(chuang)尺寸 | Φ42mm（可選配凹視窗(chuang)用于減少(shao)窗(chuang)口和(he)樣品之間(jian)距(ju)離） | |
腔體抽氣口 | KF16法蘭（其(qi)余接口(kou)規格(ge)可轉接） | |
腔體(ti)真空測(ce)量口 | KF16法蘭（其(qi)余接(jie)口規格(ge)可(ke)轉(zhuan)接(jie)） | |
腔體進氣口 | 6mm快擰 或 6mm快(kuai)插 | |
腔體冷卻方(fang)式 | 腔體水冷(leng)+上蓋氣冷 | |
腔(qiang)體水冷(leng)接口(kou) | ||
腔(qiang)體正壓 | ≤0.05MPa | |
腔(qiang)體真空度 | 機械泵≤5Pa （5分(fen)鐘） 分子泵≤5E-3Pa（30分鐘） | |
樣品臺 | ||
樣品(pin)臺材質(zhi) | 不銹鋼 銀銅合金 純銀塊(kuai) | 銀銅合(he)金(jin) 純銀(yin)塊(kuai) |
樣品臺尺寸 | 26x26mm | |
樣品(pin)臺加熱方式 | 電阻加(jia)熱(re) | 電阻加熱 液氮(dan)制冷 |
樣品臺(tai)-視窗 距離 | 11mm（可選配(pei)凹視(shi)窗用于減少窗口和樣(yang)品之間距離到6mm） | |
樣(yang)品臺測溫傳感(gan)器 | PT100型(xing)熱電(dian)阻(zu) | |
樣品臺溫(wen)度 | 室溫到400℃ | 室溫到(dao)400℃ 室(shi)溫到-196℃ |
樣品臺測(ce)溫誤差(cha) | ±0.5℃ | |
樣品臺升溫(wen)速率 | 高溫100℃/min 最大值 低溫(wen)7℃/min | |
溫控儀(yi) | ||
溫度顯示 | 7寸人機(ji)界面 | |
溫控(kong)類(lei)型(xing) | 標(biao)準PID溫控 +自整(zheng)定 | |
溫度分辨率 | 0.1℃ | |
溫控精度 | ±0.5℃ | |
溫度信號輸入類型(xing) | PT100 （可選K S B型(xing)熱電(dian)偶） | |
溫(wen)控輸出 | 直流線(xian)性電源加熱(re) | 直流線性電(dian)源加熱+液(ye)氮流速(su)控制器 |
輔助(zhu)功能 | 溫度數據采集并(bing)導出 實時溫度曲線+歷史溫度曲線 可擴展真空(kong)讀數接口 | |
溫控器尺寸 | 32cmX170cmX380cm | |
溫控器重量 | 約(yue)5.6KG | |
探(tan)針 | ||
電信號接頭 | 配線(xian)轉接 BNC接頭 BNC三同(tong)軸接頭 SMA 接(jie)頭 香蕉插頭 線(xian)長1.2米 | |
電學性能 | 絕緣電(dian)阻 ≥4000MΩ 介質耐壓 ≤200V 電流噪聲 ≤10pA | |
探針(zhen)數量 | 4探(tan)針(zhen)（可(ke)擴展5探針） | |
探(tan)針材質 | 鍍金鎢針 （其他材質(zhi)可選） | |
探針尖 | 10μm | |
手動探針(zhen)移(yi)動平臺 | ||
X軸移(yi)動行程 | 20mm ±10mm（需(xu)手動推動滑臺） | |
X軸控制精(jing)度 | ≥500μm | |
R軸(zhou)移動行程(cheng) | 120° ±60°（需(xu)手動(dong)旋(xuan)轉(zhuan)探針桿(gan)） | |
R軸控制精度 | ≥500μm | |
Z軸移(yi)動行程 | 2mm ±1mm | |
Z軸控制精度 | ≤50μm（需手(shou)動螺(luo)紋調節(jie)探針桿） | |
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