類型

高(gao)溫型(xing)室溫到(dao)350℃

高(gao)低溫型 室溫到350℃  室溫到-196℃

腔體(ti)材質

304不銹鋼 6061鋁合金 可選

腔體(ti)內尺寸

127mmX57mmX20mm

腔體(ti)外尺寸

150mmX80mmX32mm

腔(qiang)體重量

不銹鋼材質(zhi) 約1.5KG     鋁(lv)合金材質 約0.5KG

腔體(ti)上視窗(chuang)尺(chi)寸

Φ42mm（可選配凹視窗(chuang)用于減(jian)少窗(chuang)口和樣品之間距離）

腔體抽(chou)氣口

KF16法(fa)蘭（其余接口規格可轉接）

腔體(ti)真空測量(liang)口

KF16法蘭（其余(yu)接(jie)(jie)口規格可轉接(jie)(jie)）

腔(qiang)體(ti)進氣(qi)口

6mm快擰 或 6mm快插

腔體冷卻方式

腔體水冷+上(shang)蓋氣冷

腔(qiang)體(ti)水冷接口

腔體正壓

≤0.05MPa

腔體(ti)真空度

機械泵≤5Pa （5分鐘）  分子泵(beng)≤5E-3Pa（30分鐘(zhong)）

樣品臺

樣品臺(tai)材質

不(bu)銹(xiu)鋼 銀(yin)銅(tong)合金 純銀塊(kuai)

銀(yin)銅(tong)合金 純銀塊

樣(yang)品臺(tai)尺寸

26x26mm

樣(yang)品臺加熱(re)方式(shi)

電阻加熱

電(dian)阻(zu)加熱 液氮(dan)制冷(leng)

樣品臺-視窗 距離(li)

11mm（可選配凹視(shi)窗用(yong)于減(jian)少窗口和樣品之間距離到(dao)6mm）

樣(yang)品臺測(ce)溫傳感(gan)器(qi)

PT100型熱(re)電阻(zu)

樣品臺溫(wen)度

室溫到400℃

室溫到(dao)400℃  室溫到-196℃

樣品(pin)臺測溫誤差(cha)

±0.5℃

樣品(pin)臺升溫速率(lv)

高溫100℃/min 最大值   低溫7℃/min

溫控儀

溫(wen)度顯(xian)示

7寸(cun)人機界(jie)面

溫控(kong)類型

標準PID溫控(kong) +自整定(ding)

溫度分辨(bian)率

0.1℃

溫控精度

±0.5℃

溫度信(xin)號輸(shu)入(ru)類型(xing)

PT100 （可(ke)選K  S  B型(xing)熱電偶）

溫控(kong)輸出

直流線性電源加(jia)熱

直(zhi)流線性(xing)電源(yuan)加熱+液氮流速控(kong)制器

輔助功能

溫度數據采集并導出 實時(shi)溫度(du)曲(qu)線+歷史溫度曲線 可(ke)擴展(zhan)真空(kong)讀數接口

溫控器(qi)尺寸

32cmX170cmX380cm

溫控(kong)器重量

約5.6KG

探針(zhen)

電信號接(jie)頭

配線轉接(jie) BNC接頭(tou)   BNC三(san)同軸接頭(tou)  SMA 接頭 香蕉插頭 線長1.2米

電學性能

絕緣電阻 ≥4000MΩ     介質耐(nai)壓 ≤200V    電(dian)流噪聲 ≤10pA

探(tan)針數量

4探針(zhen)（可擴展5探針）

探針材(cai)質(zhi)

鍍金(jin)鎢針 （其他材質可選）

探針尖(jian)

10μm

手(shou)動探針移(yi)動平臺

X軸移(yi)動(dong)行程

20mm    ±10mm（需手動推動滑臺）

X軸(zhou)控制精度

≥500μm

R軸移動行程

120°    ±60°（需手動旋轉(zhuan)探針桿）

R軸控制(zhi)精(jing)度(du)

≥500μm

Z軸(zhou)移(yi)動(dong)行(xing)程

2mm    ±1mm

Z軸控制精度

≤50μm（需(xu)手動螺紋調節探針桿(gan)）