產品中心
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產品簡介
持久(jiu)(jiu)型小型濺(jian)射(she)(she)(she)(she)儀，石(shi)英玻璃(li)腔體(ti)，濺(jian)射(she)(she)(she)(she)距(ju)離可(ke)調節，外(wai)接水冷機可(ke)持久(jiu)(jiu)濺(jian)射(she)(she)(she)(she)，觸摸屏(ping)控制，濺(jian)射(she)(she)(she)(she)時間工藝記憶儲存。
| 品牌 | 鄭科探 | 濺射氣體 | 根據需求通氣 |
|---|---|---|---|
| 樣品臺尺寸 | 50mm | 控制方式 | 觸摸屏智能控制 |
| 樣品倉尺寸 | φ160x160mm | 靶材尺寸 | 50mm |
| 靶材材質 | 金 鉑 銅 銀 等 | 價格區間 | 面議 |
| 產地類別 | 國產 | 應用領域 | 綜合 |
持久型小型濺射儀
一(yi)般的濺(jian)射法可(ke)被用(yong)于(yu)制(zhi)備金屬、半導體(ti)(ti)、絕緣體(ti)(ti)等多材料(liao)，且具有(you)設備簡單、易于(yu)控制(zhi)、鍍膜面(mian)積大和附著力(li)強等優(you)點，
磁控濺射(she)(she)(she)法(fa)更是實現了高速、低溫、低損(sun)傷。因(yin)為是在(zai)(zai)低氣壓(ya)下進行高速濺射(she)(she)(she)，必須(xu)有效地(di)提(ti)高氣體的(de)離化率。磁控濺射(she)(she)(she)通過在(zai)(zai)靶陰極表面引入(ru)磁場(chang)，利用磁場(chang)對帶電(dian)粒(li)子的(de)約束來提(ti)高等離子體密度(du)以增加濺射(she)(she)(she)率。
需(xu)要鍍膜的樣品
1、電子(zi)束(shu)敏感的樣品:
主要(yao)包括(kuo)生物樣品，塑料樣品等(deng)。SEM中(zhong)的電子(zi)束(shu)具有較高能量，在與(yu)樣品(pin)的相互作(zuo)用過程(cheng)中(zhong)，它(ta)以熱(re)的形式將(jiang)部(bu)分能量傳遞給樣品(pin)。如果樣品(pin)是對電子(zi)束(shu)敏感的材料，那這種相互作(zuo)用會破壞(huai)部(bu)分甚至整個(ge)樣品(pin)結構(gou)。這種情況下，用一種非電子(zi)束(shu)敏感材料制(zhi)備的表(biao)面鍍層就可以起(qi)到保(bao)護層的作(zuo)用，防(fang)止此類損傷；
2、非導電的樣品:
由(you)于樣品不導電，其表 面帶有“電(dian)子(zi)陷阱"， 這種表面上的電(dian)子積累 被(bei)稱為“充電"。為了 消除荷電效應(ying)，可(ke)在樣 品表面鍍一層金屬導電 層，鍍層作(zuo)為(wei)一(yi)個導電 通道，將充電電子(zi)從材 料表面轉移走，消除荷(he) 電效(xiao)應。在(zai)掃(sao)描電鏡成 像時(shi)，濺射材料增(zeng)加信 噪比，從而獲得更好的成像質量。
持久型小型濺射儀廠家供應技術參數；
控(kong)制方式 | 7寸人(ren)機界面 手動(dong) 自動(dong)模式(shi)切換控制 |
濺射電源 | 直流濺射電源 |
鍍(du)膜(mo)功能(neng) | 0-999秒(miao)5段可變換功率及(ji)擋板位和(he)樣(yang)品速度程序(xu) |
功(gong)率 | ≤1000W |
輸出電(dian)壓(ya)電(dian)流 | 電壓(ya)≤1000V 電流≤1A |
真空 | 機械泵 ≤5Pa（5分(fen)鐘） 分(fen)子泵≤5*10^-3Pa |
濺(jian)射真(zhen)空(kong) | ≤30Pa |
擋(dang)板類型 | 電控(kong) |
真空腔室 | 石英(ying)+不銹鋼腔體φ160mm x 170mm |
樣(yang)品臺 | 可旋轉φ62 （可安裝(zhuang)φ50基底(di)） |
樣(yang)品臺轉速 | 8轉(zhuan)/分鐘 |
樣品(pin)濺射源調節(jie)距(ju)離 | 40-105mm |
真空測(ce)量 | 皮拉尼真(zhen)空計（已安裝 測量范圍(wei)10E5Pa 1E-1Pa） |
預留真(zhen)空接口(kou) | KF25抽氣(qi)口 ;KF16放(fang)氣(qi)口 6mm卡(ka)套進氣(qi)口 |
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