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產品簡介
水冷型(xing)濺射儀(yi)，KT-Z1650PVD，桌面式小(xiao)型(xing)濺射儀(yi)，內配自動(dong)電動(dong)擋板，可(ke)保護樣品或清洗靶材。
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相關文章(zhang)| 品牌 | 鄭科探 | 濺射氣體 | 根據需求通氣 |
|---|---|---|---|
| 樣品臺尺寸 | 50mm | 控制方式 | 觸摸屏智能控制 |
| 樣品倉尺寸 | φ160x160mm | 靶材尺寸 | 50mm |
| 靶材材質 | 金 鉑 銅 銀 等 | 價格區間 | 面議 |
| 產地類別 | 國產 | 應用領域 | 綜合 |
水冷型濺射儀，KT-Z1650PVD，是一(yi)種緊湊(cou)型(xing)全自(zi)動濺(jian)射鍍膜機，使(shi)用(yong)非常簡單。由于*的插件概念，該設(she)備(bei)很容(rong)易配置濺(jian)射或蒸發，只需更換(huan)工(gong)藝頭(tou)。涂層前后可進(jin)行(xing)等(deng)離子處理。模塊化設(she)計使(shi)得避免金屬和碳(tan)沉積之(zhi)間的交叉污染變得容(rong)易。
高度(du)調節和傾斜。它可(ke)以安裝(zhuang)一個(ge)可(ke)選的(de)變速旋轉階段(duan)(duan)或旋轉行星階段(duan)(duan)，每個(ge)選擇持(chi)有不同的(de)樣(yang)本和存根類(lei)型。在所有樣(yang)品階段(duan)(duan)，膜厚監測都作為標(biao)準。.
•高性能濺射(she)、碳涂層和(he)等離子(zi)處理
•獲(huo)得(de)的(de)碳(tan)線軸–最多50個碳(tan)涂層，無需用戶干預
•*的即插即用濺射和碳涂層模塊
•真空性能和快速泵送時(shi)間
水冷型濺射儀，技術參數；
控(kong)制(zhi)方式 | 7寸人機(ji)界面 手(shou)動 自(zi)動模(mo)式切換控制 |
濺射電源 | 直流濺射電源 |
鍍膜功能(neng) | 0-999秒5段可(ke)變(bian)換功(gong)率及擋(dang)板位和樣品速度(du)程序 |
功率 | ≤1000W |
輸出電(dian)壓電(dian)流(liu) | 電壓≤1000V 電流≤1A |
真空 | 機械泵 ≤5Pa（5分(fen)鐘） 分(fen)子泵≤5*10^-3Pa |
濺射真空 | ≤30Pa |
擋板(ban)類型 | 電(dian)控 |
真(zhen)空腔室 | 石英(ying)+不銹鋼腔體φ160mm x 170mm |
樣品(pin)臺(tai) | 可旋轉φ62 （可安裝(zhuang)φ50基(ji)底） |
樣品(pin)臺轉速(su) | 8轉(zhuan)/分鐘 |
樣品濺(jian)射源調節距離(li) | 40-105mm |
真空測量 | 皮拉尼(ni)真空計（已安(an)裝 測(ce)量范(fan)圍10E5Pa 1E-1Pa） |
預(yu)留真空接(jie)口 | KF25抽氣(qi)口 KF16放氣(qi)口 6mm卡套進氣(qi)口 |
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