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Product Center小型真空高(gao)低(di)(di)溫探針臺,高(gao)低(di)(di)溫真空探針臺,高(gao)溫400℃低(di)(di)溫-196℃,10微米探針尖,移(yi)動滑塊精度≤0.01mm
品牌 | 鄭科探 |
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小型真空高低溫探針臺,高低溫(wen)真空探針臺,高溫(wen)400℃低溫(wen)-196℃,10微(wei)米探針尖(jian),移動滑塊精度≤0.01mm
高(gao)低溫(wen)真空探針(zhen)臺,能夠(gou)為測試(shi)樣品提供高(gao)真空和(he)(he)極(ji)(ji) . 端(duan)高(gao)溫(wen)/低溫(wen)的測試(shi)環境,非常適合各種半導體材料、芯片和(he)(he)電(dian)子元(yuan)器件(jian)的無損測試(shi),應(ying)用方(fang)向(xiang)有:真空&極(ji)(ji) . 端(duan)溫度條件(jian)下的芯片/MEMS/NEMS測(ce)(ce)試(shi)(shi)(shi);寬(kuan)溫區材料或器件(jian)的IV/CV特(te)性(xing)測(ce)(ce)試(shi)(shi)(shi);LD/LED/PD測(ce)(ce)試(shi)(shi)(shi);光譜(pu)特(te)性(xing)測(ce)(ce)試(shi)(shi)(shi);霍爾效(xiao)應測(ce)(ce)量;可變磁場(chang)環(huan)境中電磁輸(shu)運(yun)特(te)性(xing)測(ce)(ce)試(shi)(shi)(shi);微波射頻(pin)測(ce)(ce)試(shi)(shi)(shi);瞬(shun)態光電流響(xiang)應測(ce)(ce)試(shi)(shi)(shi);拉曼-瞬(shun)態熒光壽(shou)命成像(xiang);電-光效(xiao)應測(ce)(ce)試(shi)(shi)(shi);超導測(ce)(ce)試(shi)(shi)(shi)試(shi)(shi)(shi)驗等。
產品特點
◆高真(zhen)空(kong)度,真(zhen)空(kong)度優于(yu)1×10-3 Pa
◆高精(jing)度(du)溫控(kong)系統,自動(dong)冷(leng)媒流量控(kong)制,-196℃到400℃溫度(du)區間內精(jing)確(que)控(kong)制樣品(pin)臺溫度(du)
◆防輻(fu)射屏設計,保(bao)證樣品溫度均(jun)勻
◆兼容高倍率金相顯微鏡
◆采用液氮或氦氣壓縮機制(zhi)冷
小型真空高低溫探針臺參數
真空腔體 | |
類型(xing) | 加(jia)熱(re)型350℃ 或者加熱制(zhi)冷型 室溫到350℃ 室溫(wen)到-190℃ |
腔(qiang)體材質 | 304不銹鋼 |
腔體內(nei)尺寸 | φ90x40mm |
腔(qiang)體上視窗(chuang)尺(chi)寸 | Φ42mm(選(xuan)配凹視(shi)窗Φ22mm) |
腔體(ti)抽氣(qi)口 | KF16 |
腔體進(jin)氣口 | 公制3mm 6mm氣(qi)管(guan)接(jie)頭 英制1/8mm 1/4mm 氣管接頭可選 |
腔體出氣口 | 公制(zhi)3mm 6mm氣管接頭(tou) 英制1/8mm 1/4mm 氣(qi)管接頭可(ke)選 |
腔體正壓 | ≤0.05MPa |
腔體(ti)真空度 | 機械泵≤5Pa (5分(fen)鐘) 分子泵(beng)≤5E-3Pa(30分(fen)鐘) |
樣品臺 | |
樣品臺(tai)材質 | 304不(bu)銹鋼(gang) |
樣品臺(tai)尺寸 | 26X26mm |
樣品臺-視窗 距離(li) | 30mm(可選(xuan)凹視(shi)窗間距15mm) |
樣品臺測溫傳感器 | A 級(ji)PT100鉑電(dian)阻 |
樣品臺溫度 | 室溫到(dao)350℃(可(ke)選高低溫樣品(pin)臺 高溫350℃低溫-190℃) |
樣品(pin)臺測(ce)溫誤差 | ±0.2℃ |
樣品臺變溫速率(lv) | 高溫10℃/min 低溫5℃/min 最(zui)大值(zhi) |
溫(wen)控(kong)儀 | |
溫度(du)顯示(shi) | 7寸人機界面 |
溫控類型 | 標(biao)準PID溫控 +自整定(可選30段編程控溫) |
溫度分辨率 | 0.1℃ |
溫控精度(du) | ±0.5℃ |
溫度信(xin)號輸(shu)入類(lei)型 | PT100熱電阻 (可選 K S B型熱電偶) |
溫控輸出(chu) | 直(zhi)流線性(xing)電源加熱(re)(液氮流量線性(xing)控制液氮制冷) |
輔助功(gong)能 | 溫度數據采集并(bing)導出 實(shi)時溫度曲線+歷史(shi)溫(wen)度曲線(xian) |
探針 | |
電(dian)信號接頭(tou) | 配線轉接(jie) BNC接頭(tou) BNC三同軸接頭 SMA 接(jie)頭 香蕉(jiao)插(cha)頭 線長1.2米 |
電學性能 | 絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質耐壓 ≤200V 電流噪聲(sheng) ≤10pA |
探針數(shu)量(liang) | 4探針(zhen)(可(ke)定做6探(tan)針) |
探針材(cai)質 | 鍍(du)金鎢針 |
探針尖 | 10μm |
探針移(yi)動(dong)平臺 | |
X軸移(yi)動行程 | 12mm ±6mm |
X軸控制精度 | ≤5μm |
Y軸移動行程 | 12mm ±6mm |
Y軸(zhou)控制精度 | ≤5μm |
Z軸移動行程 | 12mm ±6mm |
Z軸控制精度 | ≤5μm |
數(shu)碼(ma)顯微鏡 | |
顯微鏡類別 | 物鏡(jing)放大+電子放大(da) |
顯微鏡放大倍數 | 100倍 |
顯微鏡工作(zuo)間距 | 50-150mm |
相(xiang)機分辨率 | 1080P 60幀 |
相機信號輸(shu)出 | HDMI輸出+USB輸出 |
LED可調光(guang)源 | LED光源 |
顯示(shi)屏 | 5寸 屏幕一體機 |