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當前位置:首頁產品中心材料樣品處理小型濺射儀KT-Z1650PVD精(jing)密小型真空濺(jian)射儀(yi)器

精密小型真空濺射儀器

產品簡介

精密小型真空濺(jian)射儀器鄭(zheng)州(zhou)科(ke)探KT-Z1650PVD,能(neng)夠在(zai)非(fei)導電(dian)(dian)或(huo)導電(dian)(dian)不良的樣品(pin)上涂布金(Au),鈀(ba)(ba)(Pd),鉑(Pt)和金/鈀(ba)(ba)(Au / Pd)的薄膜。 在(zai)較短時間(jian)內即可形成具(ju)有細粒度的均勻薄膜,使樣品(pin)適用于(yu)掃描電(dian)(dian)子(zi)顯微鏡(SEM)分析(xi)。儀器結構緊(jin)湊,全自(zi)動控(kong)制,設計符合人體工程學,所得(de)結果一致(zhi),可重復性高。

產品型號:KT-Z1650PVD
更新時間:2024-03-27
廠商性質:生產廠家
訪問量:760
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品牌鄭科探產地類別國產
應用領域環保,能源,電子,冶金,航天

鄭州科探儀器設備是高質量定制物理 氣相沉積(PVD)系統的設計者和制造商,客戶服務和售后服務出色。擁有7年以上真空和薄膜沉積技術經驗。其研發團隊在學界科學家和工程師的支持下,高度積極地開發新設計以滿足客戶的特殊要求。

   鄭科探的工程團隊設計和制造的組件符合高質量標準。KT-Z1650PVD真空鍍膜機已通過分銷商銷往許多大學和研究中心,并得到了很好的參考和反饋。

儀器描述:

精密小型真空濺射儀器,能夠在非導電或導電不良的樣品上涂布金(Au),鈀(Pd),鉑(Pt)和金/鈀(Au / Pd)的薄膜。 在較短時間內即可形成具有細粒度的均勻薄膜,使樣品適用于掃描電子顯微鏡(SEM)分析。儀器結構緊湊,全自動控制,設計符合人體工程學,所得結果一致,可重復性高。


    產品特點:

    彩色觸摸屏:數據輸入簡單快速

    • 通過觸摸屏(ping)中直觀檢測數據和曲線;歷史(shi)(shi)頁面可顯示歷史(shi)(shi)涂層信息。

    • 可控鍍膜(mo)速率,可得到(dao)更精細(xi)的晶粒結構

    • 可手動或(huo)自動,根據時間或(huo)根據厚度進行濺射(she)

• 樣(yang)品臺更換簡單:標準(zhun)旋(xuan)轉(zhuan)(zhuan)樣(yang)品臺或選用行(xing)(xing)星式旋(xuan)轉(zhuan)(zhuan)樣(yang)品臺。標準(zhun)樣(yang)品臺高度(du)可(ke)調、可(ke)傾斜、可(ke)旋(xuan)轉(zhuan)(zhuan);行(xing)(xing)星式旋(xuan)轉(zhuan)(zhuan)樣(yang)品臺為(wei)多(duo)孔樣(yang)品帶(dai)來好的噴金效果。

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精密小型真空濺射儀器技術參數;

控(kong)制方式

7寸人機界面 手動(dong) 自動(dong)模式切(qie)換控制

濺(jian)射電源

直流濺射電源

鍍膜功能

0-999秒5段可(ke)變換功率(lv)及(ji)擋板(ban)位和樣品速度程序

功率

≤1000W

輸出電(dian)壓(ya)電(dian)流

電(dian)壓≤1000V  電(dian)流≤1A

真空(kong)

機械泵(beng) ≤5Pa(5分(fen)鐘)   分(fen)子泵(beng)≤5*10^-3Pa

濺射真空

≤30Pa

擋(dang)板類型(xing)

電控

真(zhen)空腔室

石英+不銹(xiu)鋼腔體φ160mm x 170mm

樣(yang)品臺

可(ke)旋轉(zhuan)φ62  (可(ke)安(an)裝φ50基底)

樣品臺轉速

8轉/分鐘

樣(yang)品濺(jian)射源(yuan)調節距離(li)

40-105mm

真空測(ce)量

皮拉尼真(zhen)空計(已(yi)安裝 測量范圍10E5Pa  1E-1Pa)

預留真(zhen)空接口

KF25抽氣(qi)(qi)口(kou)    KF16放氣(qi)(qi)口(kou)   6mm卡(ka)套進氣(qi)(qi)口(kou)








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